ビデオ測定システム、マルチセンサー

High-Speed, Non-Contact 3-Axis Coordinate Measurement
Superior Stability and Accuracy from Granite Base and Gantry
Multisensor: Video, Touch, and Laser Sensors
High-Accuracy Air or Mechanical Bearings

VSA463

Video Measurement System
305 mm x 305 mm x 200 mm Range
Shown with Coaxial Light and Touch Probe

VSA713

Video Measurement System
711 mm x 610 mm x 200 mm Range
Shown with Adjustable Quadrant Light

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概要
ベースシステム
ビデオ構成
アクセサリ
仕様
Feedback

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Thorlabs' Multisensor Video Systems are customized to meet the demanding needs of your application. If you do not see a product or specification that you require or you are looking for assistance selecting a system, please use the Contact Me button below and to the left. Our Measurement Systems Team is happy to help and can provide system recommendations based on your needs.

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検査用としての活用例

回路基板
電子機器
半導体
PC部品
製造
ソーラーパネル
ガスケット
プレス加工
医療機器

特長

5種類のXYZ測定範囲：
- 305 mm x 305 mm x 200 mm (リニアモータ)
- 305 mm x 460 mm x 200 mm (リニアまたはサーボモータ)
- 610 mm x 711 mm x 200 mm (リニアまたはサーボモータ)
- 760 mm x 965 mm x 200 mm (リニアモータ)
- 915 mm x 1270 mm x 200 mm (リニアモータ)
すべてのシステムはCNCおよび手動による操作が可能
高コントラストイメージング用の高解像度ビデオセンサ
マルチセンサ計測用のレーザおよびタッチプローブ
表面およびエッジ部分を強調するためのLEDを複数の種類から選択可能
安定性に優れた花崗岩(グラナイト)のベースにより高い精度と再現性を実現
人間工学に基づいた床設置型のワークステーションによりシンプルで優れた操作性を実現
高度で多機能な計測制御ソフトウェアMetLogix^®aM3

ビデオ測定システムVideoMic^®の特長、オプション、アクセサリの概要がご覧いただけます。

独自の座標測定機(CMM、三次元測定機)の構築

ベースシステムを選択(必須。詳細は「ベースシステム」タブ参照)
ビデオシステムを選択(必須。詳細は「ビデオ構成」タブ参照)
- カメラ、ズームレンズ、照明、ソフトウェア
追加のセンサおよびアクセサリを選択(オプション。詳細は「アクセサリ」タブ参照)
- タッチプローブ、レーザーセンサ、プラテンガラス、ソフトウェア、CPUのアップグレード

ビデオ測定システムVideoMic^®は、高速で非接触の3軸座標測定(三次元計測)を高精度で行うことができます。これらのマルチセンサ測定機では、初回製品、製品サンプル、あるいは製造工程全体で重要な寸法を簡単に確認することができます。このシステムの広い視野と高解像度センサを活用した自動検査プロトコルにより、大量の部品の連続検査や同時検査を簡単に実行できます。公差レポートとエクスポートユーティリティを使用すると、閾値を設定して製造工程を適宜修正したり、必要に応じて製造工程を中断して廃棄品を最小限に抑えたりすることができます。全世界で1000以上のシステムが使用されています。各システムは長寿命で、完全なモジュール式になっており、品質保証や生産設備の要件に合わせて簡単に拡張できます。

ベースシステムは7種類あり、すべて花崗岩製で、軸分離されたベースとガントリで構成されています。詳細については「ベースシステム」タブをご覧ください。VSAで始まる型番の製品は、エアーベアリング付きのバランス型非接触磁気リニアモータを使用して各移動軸の位置決めをし、VSMで始まる型番の製品は、ブラシレスサーボ駆動のグランドボールねじを使用して各移動軸の位置決めをします。 3つのモータの軸とそれぞれに対応するエンコーダは花崗岩の構造体に直接結合されており、非常に正確で安定性があり、環境の影響を受けにくいシステムになっています。

ベースシステムをお選びいただいた後は、当社のCCDカメラ、ズームレンズ、照明などの幅広いラインナップから用途に合わせてビデオシステムをカスタマイズできます。詳細については、「ビデオ構成」タブをご覧ください。システムの汎用性や機能性を向上させるためのアクセサリも、オプションとして多数ご用意しています。それにはRenishaw®^bタッチプローブ、レーザーセンサ、ヒンジ付き空圧式プラテンガラス、タッチパネル式モニタ、統計処理用コントロールソフトウェア、インポート/エクスポートユーティリティなどが含まれます。オプション品の詳細については「アクセサリ」タブをご覧ください。

ベースシステムの選択やカスタマイズ、その他のオプションについては当社までご相談ください。

MetLogixはMetLogix社の登録商標です。
RenishawはRenishaw社の登録商標です。

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Our base systems can be customized to meet the needs of your application. If you would like a custom system, e.g. longer travel range, or would like to discuss our options, please contact me. Our team can provide system recommendations based on your needs.

Base System Options^a
Base System Item #	VSA303	VSA463	VSM463	VSA713	VSM713	VSA963	VSA1273
Stage Bearings	Air	Air	Mechanical	Air	Mechanical	Air	Air
Stage Motors	Linear	Linear	Servo	Linear	Servo	Linear	Linear
XY Measuring Range	305 mm x 305 mm (12" x 12")	460 mm x 305 mm (18" x 12")		711 mm x 610 mm (28" x 24")		965 mm x 760 mm (38" x 30")	1270 mm x 915 mm (50" x 36")
Z Measuring Range	200 mm (8")
Typical Unit Dimensions

詳細については「仕様」タブをご参照ください。

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フードを取り外したビデオCMMシステムVSA713
(写真には、以下のビデオシステムオプションおよびアクセサリのサブセットが表示されています：倍率12Xのズームレンズシステム、倍率0.67Xのエクステンションチューブ、1.3 MPカメラ、電動式4分割照明、リング照明、プロファイル照明、ソフトウェアIK500、空圧式プラテンガラス)

ベースシステムの特長

このCMMのベースシステムは軸分離構造のガントリ型になっており、Y軸(ステージ)は移動軸XおよびZ(イメージングシステムおよび照明)を支持する花崗岩製のブリッジの下に広がっています。花崗岩は品質管理や計測に係る部門で一般に使用されますが、この材料を当社のビデオCMMシステムのような長距離移動ステージなどに使用すると、多くのメリットが得られます。花崗岩は熱膨張係数が小さいため周囲の温度変化の影響を受けにくく、また特に長い部材の場合に経時的に生じる反りも小さいという性質があります。さらに、理想に近い2次元のフラットな平面を作ることができます。

様々な用途に対応するために、大小様々なフォーマットのシステムをご用意しています。最小フォーマットのXY測定範囲は305 mm x 305 mmで、少量または小さな部品を検査する施設に適しています。これに対して最大フォーマットのXY測定範囲は1270 mm x 915 mmで、大小の部品を大量に、かつ高スループットで検査する施設に適しています。

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VSAシリーズの非接触型磁気トラック(上側)と金製の0.10 µmエンコーダ(下側)

花崗岩の構造体に結合された移動ステージおよびエンコーダ
各モータの回転軸とそれらに対応するエンコーダは花崗岩の構造体に直接結合されており、X軸とZ軸はガントリ上に、Y軸はベース上に組み込まれています。この配置により、閉ループ型制御システム全体で機械部品が少なくなるためシステムの剛性が増し、ベースから離れたY軸ステージの作動距離と、ガントリから離れたカメラシステムの作動距離が短くなります。作動距離が短くなることでコンパクトになり、それによりアッベ誤差が減少して位置決め性能が向上します。

各軸は軸外力の影響を低減するため、中央で駆動されています。これにより摩耗が減少し、各軸のモータの全体的な機能が向上します。エアーベアリングを使用すると、花崗岩ベースの中心のガイドが、エアーベアリングで浮いたY軸ステージの下に見えます(右の写真参照)。このタイプのベアリングを使用する場合、ステージが適切に中央で駆動されるように、このガイドを横にオフセットする必要があります。

モータおよびベアリングのオプション
VSAで始まる型番のベースは、エアーベアリング付きのバランス型非接触磁気リニアモータを使用して各移動軸の位置決めをし、VSMで始まる型番のベースは、ブラシレスサーボ駆動のグランドボールねじを使用して各移動軸の位置決めをします。どちらのタイプのベースも正確、迅速かつ静かにステージの位置決めをします。

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VSAシリーズのシステムには摩擦のないエアーベアリングがついているため、摩耗せず、潤滑剤が不要です。清浄な空気または窒素の加圧供給源が必要です。

エアーベアリングは摩耗せず、潤滑剤も不要で、使用中における微粒子の飛散もないため、長期的なメンテナンスは容易になります。エアーベアリングは、埃、ごみ、デブリ、その他の液体などがある可能性のある、清浄でない環境での使用はお勧めいたしません。また、清浄な空気または窒素の加圧供給源も必要です。メカニカルベアリングとレールには定期的に潤滑剤を使用することをお勧めします。

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コントロールパネルには、制御用のジョイスティックとトラックボールが付属します。トラックボールを使用すると、細かい正確な動きの感触を得ることができます。

人間工学に基づいて設計されたワークステーション
各VideoMic™ システムには回転の可能な、または使用者の身長に合わせて高さ調節の可能なワークステーションが付属します。ワークステーションには、21.5インチLCDモニタ、キーボード、マウス、制御パネルが付いています。制御パネル(左の写真参照)には、ステージとカメラを手動で位置決めするためのジョイスティックとトラックボール、緊急停止スイッチ、システム全体をON/OFFするための電源ボタン、ジョイスティックまたはトラックボールの動作を設定するための3つのボタンが2セット、データを選択するためのEnter/Okボタンが付いています。

ジョイスティックおよびトラックボール
ジョイスティックおよびトラックボールを使用して、ステージやガントリに取り付けられたカメラシステムの動きをいつでも制御できます。いつどちらを使用するかは使用者によりますが、トラックボールは操作とそのシステム応答との間の信号遅延を最小化するように設計されているため、ハイレベルでの精密な操作を行うことができます。ジョイスティックは2軸または3軸の調整用に設定できます。3軸ジョイスティックに設定した場合、ハンドルを左または右に回転させるとカメラアセンブリのZ軸上での位置を変えることができます。

制御ボタン
ジョイスティックとトラックボールの下には、同じ3つのコントロールボタンのセットがあります。左から右に、Z軸トグルボタン、軸ロックボタン、精密位置調整トグルボタンとなっています。ボタンがアクティブになるとボタン下のライトが緑色に点灯します。Z軸トグルボタンはジョイスティックとトラックボールの機能をX/Y軸動作からZ軸動作に切り替えます。3軸ジョイスティックに設定されている場合は、トラックボールに対してのみ影響します。軸ロックボタンを使用すると、各単一軸上での直線移動を切り替えることができます。精密位置調整トグルボタンは、ジョイスティックとトラックボールの動作感度を低下させ、システムの精密位置調整を補助します。EnterおよびOKボタンを使用するとソフトウェア制御に素早くアクセスでき、データポイント(測定位置)を素早く選択して検査プロトコルを作成することができます。

緊急停止ボタン
装置全体の電源をOFFにします。緊急時にのみご使用ください。

ビデオシステムのカスタマイズ

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ビデオCMMシステムのカスタマイズには、面照明やプロファイル照明、カメラ、ズームレンズシステム、計測用ソフトウェアパッケージなどが必要です。システムのカスタマイズ用オプションについては、以下のセクションをクリックするとご覧いただけます。

金属プレス加工品の検査に使用されている当社のビデオシステム。プレス加工品の表面を電動式4分割ライトで照明しています。

照明のオプション

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各照明が取付けられた
VideoMic CMM

LED照明のオプション

リングライト：面照明用
同軸ライト：反射光の少ない面照明用
4分割ライト：暗視野照明用、および照射角可変な照明用
リアライト：プロファイル照明用

ビデオ測定システムVideoMic™は、リングライト、同軸ライト、4分割ライト、リアライトなどの面照明やプロファイル照明を組み合わせてカスタマイズすることができます。LEDベースの照明の寿命は10,000時間以上と長くなっています。すべての照明は、検査ルーチンの一部として、ソフトウェアを介して手動またはプログラムで制御できます。ソフトウェアで照明を手動調整する場合は、一度に1台ずつ調整します。ビデオシステムに取り付けられた各照明は、左の写真を拡大してご覧いただけます。照明オプションの選択についてのご相談や、その他のご質問がありましたら当社までご連絡ください。

面照明
面照明には、リング型、同軸型および4分割型の照明器具が含まれます。リングライトにはLEDが40個付いており、ズームレンズの端に取り付けます。検査対象部分の表面を照明するのに適しています。軸上照明は、反射率の高い面のイメージングや影の除去に適しています。当社では、倍率6.5倍または12倍のズームレンズの側面に取り付けられる同軸ライトをご用意しています。これには同軸入射の可能なズームレンズが必要となります。

当社の4分割ライトでは、92 mmの内径部分に96個のLEDが付いています。これにより面に対して浅い角度で光を照射することができ、グレアを抑制できます。この4分割ライトは、右の写真のように、ズームレンズシステムに沿って取り付けます。位置は固定とすることもできますし、カメラやレンズシステムとは独立にZ軸に沿って電動移動させることも可能です。

プロファイル照明
当社のプロファイル照明はステージ上のガラスの下に設置されますが、X軸に接続されているためカメラと一緒に移動します。プロファイル照明の明るさは計測用ソフトウェアで直接調整できます。この照明は、エッジ検出、貫通穴の検出、透明な媒体の観察など、当社のビデオシステムがサポートする多数の機能を実行するうえで必要になります。

Lighting Options	Ring	Coaxial	Quadrant	Profile
Lighting Style	Top	Top	Top	Bottom
Angle of Incidence (AOI)	Off-Axis, High AOI	On-Axis	Off-Axis, Low AOI	N/A, Profile Light
Translation^a	N/A	N/A	Optional Z-Axis	N/A
LED Control	Manual or Programmatic Software Control
Applications	Near Coaxial Illumination Near Uniform Illumination Reduce Shadow Effects Surface Feature Analysis	Reduce Reflections Shadow-Free Image Highly Reflective Objects Surface Feature Analysis	Dark Field Illumination Edge Illumination Directionalized Illumination Surface Feature Analysis	Profile Lighting Tapped Holes and Bores Etching and Engravings Transparent Media
Light Source	LED
Color	White, 5500 K
Lifetime	>10 000 hr

カメラ(ガントリのXZ軸)およびステージの動きとは独立した追加の機能

カメラオプション

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*フルサイズ画像はこちらをクリックしてご覧ください。
10 kΩ抵抗とダイオードを表面実装した回路基板の画像。リングライトの反射照明光、カラーカメラ、および低倍率の対物レンズを使用しています。

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1.3メガピクセルカメラ

カメラオプション

1/3インチ光学フォーマットの1.3メガピクセルCCDカラーカメラ
2/3インチ光学フォーマットの5メガピクセルCCDカラーカメラ

当社ではビデオCMM用として1.3メガピクセルおよび5メガピクセルのCCDカメラをご用意しています。1.3メガピクセルカメラには、1/3インチ光学フォーマットの高品質なセンサICX424AQが搭載されており、その最大スピードは40 fpsです。ビデオステージに固定された大量の製品を素早くイメージングすることができます。5メガピクセルカメラには、2536 x 2068ピクセルの高解像度を有する2/3インチ光学フォーマットセンサICX625AQが搭載されており、小さな物体の詳細な検査に適しています。1.3メガピクセルカメラと比較すると、5メガピクセルカメラの動作速度は15 fpsと低速になりますが、視野は広くなります。

当社の1.3および5メガピクセルカメラの仕様は下表をご覧ください。また表の右側のグラフは、各カメラの可視スペクトル域における感度を示しています。

用途に適したカメラの選択に関するご相談は、当社までお問い合わせください。

*右の回路基板のフルサイズ画像はThorCam、ImageJ、またはその他のサイエンティフィックイメージング用ソフトウェアでご覧ください。一般的なイメージビュワーではこれらのイメージは正しく表示されない場合があります。

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付属のIRフィルタを取り付けた5メガピクセルカメラの感度特性

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付属のIRフィルタを取り付けた1.3メガピクセルカメラの感度特性

Camera Options	1.3 MP	5 MP
Sensor Type	Interline SXGA Progressive Color CCD: ICX424AQ	Interline QSXGA Progressive Color CCD: ICX625AQ
Pixels (H x V)	1348 x 976	2536 x 2068
Active Pixels (H x V)	1280 x 966	2448 x 2058
Imaging Area (H x V)	4.8 mm x 3.6 mm	8.4 mm x 7.1 mm
Pixel Size	3.75 µm x 3.75 µm	3.45 µm x 3.45 µm
Optical Format	1/3"	2/3"
Frame Rate	40 fps	15 fps
Filter	IR Cut-On Filter
Video Output Format	Digital 8, 10, or 12 bit Raw Data or RGB 8 bit

ズームレンズシステムのオプション

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上の透過率は補助レンズやエクステンションチューブを付けていない状態での値です。ARコーティングにより可視スペクトル(およそ400～700 nm)における反射率は最小限に抑えらています。

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倍率12Xズームレンズおよび倍率0.67X補助レンズを使用した電動式ズームレンズシステム

ズームレンズシステムのオプション

倍率12Xの光学ズームレンズシステム
- 倍率0.25～2.0Xの補助レンズ
- 倍率0.5～3.3Xのエクステンションチューブ
倍率6.5Xの光学ズームレンズシステム
- 倍率0.25～2.0Xの補助レンズ
- 倍率0.5～5Xのエクステンションチューブ
各レンズには同軸ライト入射用ポートの取り付けが可能

ズームレンズシステムは、ズームレンズ、補助レンズ、エクステンションチューブの3つのモジュールで構成されています。ズームレンズは、ベースとなる6.5Xまたは12Xの倍率を有します。補助レンズはズームレンズ筐体の端に取り付けて、ベースの倍率を増大または減少させます。エクステンションチューブは、それらの倍率の変化にかかわらず、カメラの位置を像面に一致させます。

各モジュールは下表の最初の3列に記載されています。システムの倍率や視野などの仕様については、お選びいただいたモジュールの行の右側の欄をご覧ください。視野はご使用になるカメラのフォーマットに依存しますのでご注意ください。

システムの最も一般的なオプションは緑色でハイライト表示されています。テレセントリックズームレンズをお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

同軸ライトの入射用ポート付きズームレンズ
側面に同軸ライト入射用ポートが取付けられた倍率12Xおよび6.5Xのシステムの仕様は、以下の表の仕様と同じです。ただし、光は追加されたビームスプリッタを通過しなければならないため、透過率はわずかに低下する場合があります。また、倍率0.25X、0.5Xおよび0.75Xの補助レンズはこのタイプのズームレンズには対応しておりません。内部の同軸光は円形のエリアに照射されますが、その直径は倍率12Xのズームレンズで14 mm、倍率6.5Xのズームレンズで11 mmです。この範囲よりも視野が大きい場合は四隅が暗くなります。

12X Zoom Lens System Specifications

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View^a (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size^b (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
12X	0.25X^c	0.5X	0.07 - 0.87	1/3": 85.71 - 6.89	2.33 - 5.8	341	66.66 - 13.34	20.00 - 0.80
		0.67X	0.10 - 1.17	2/3": 72.00 - 9.35^d 1/3": 61.73 - 5.10	3.33 - 7.80
		1.00X	0.15 - 1.75	2/3": 75.88 - 6.28 1/3": 41.38 - 3.42	5.00 - 11.67
		1.33X	0.19 - 2.33	2/3": 57.89 - 4.72 1/3": 31.57 - 2.57	6.33 - 15.54
		2.0X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	9.67 - 23.34
		3.3X	0.48 - 5.78	2/3": 22.99 - 1.90 1/3": 12.54 - 1.04	16.59 - 40.53
	0.50X^c	0.5X	0.14 - 1.75	1/3": 42.85 - 3.42	2.59 - 5.82	165	37.04 - 6.66	6.17 - 0.19
		0.67X	0.19 - 2.35	2/3": 36.0 - 4.68^d 1/3": 30.87 - 2.55	3.60 - 7.68
		1.00X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	5.38 - 11.45
		1.33X	0.39 - 4.66	2/3": 18.96 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	7.22 - 15.51
		2.0X	0.58 - 7.00	2/3": 18.97 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	10.74 - 22.89
		3.3X	0.96 - 11.55	2/3": 11.50 - 0.95 1/3": 6.27 - 0.52	16.64 - 50.60
	0.75X^c	0.5X	0.22 - 2.62	1/3": 27.27 - 2.29	2.61 - 5.81	108	23.80 - 4.44	2.55 - 0.09
		0.67X	0.29 - 3.52	2/3": 24.3 - 3.12^d 1/3": 20.58 - 1.70	3.45 - 7.73
		1.00X	0.44 - 5.25	2/3": 25.30 - 2.09 1/3": 13.79 - 1.14	5.24 - 11.52
		1.33X	0.58 - 6.98	2/3": 18.96- 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	6.90 - 15.49
		2.0X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	10.35 - 23.05
		3.3X	1.44 - 17.33	2/3": 7.67 - 0.63 1/3": 4.18 - 0.35	16.62 - 46.34
	None (1.0X)	0.5X	0.29 - 3.49	1/3": 20.69 - 1.72	2.68 - 5.82	86	18.52 - 3.34	1.39 - 0.05
		0.67X	0.39 - 4.69	2/3": 18.20 - 2.34^d 1/3": 15.44 - 1.28	3.42 - 7.74
		1.00X	0.58 - 7.00	2/3": 18.79 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	5.09 - 11.55
		1.33X	0.77 - 9.31	2/3": 14.28 - 1.18 1/3": 7.79 - 0.64	7.13 - 5.54
		2.0X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	10.17 - 23.10
		3.3X	1.91 - 23.10	2/3": 5.75 - 0.48 1/3": 3.13 - 0.26	16.60 - 40.54
	1.5X	0.5X	0.43 - 5.23	1/3": 13.95 - 1.14	2.65 - 5.85	50	12.34 - 2.24	0.64 - 0.02
		0.67X	0.58 - 7.04	2/3": 12.20 - 1.55^d 1/3": 10.29 - 0.85	3.45 - 7.78
		1.00X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	5.18 - 11.60
		1.33X	1.16 - 14.00	2/3": 9.48 - 0.78 1/3": 5.17 - 0.44	7.15 - 15.68
		2.0X	1.74 - 21.00	2/3": 6.33 - 0.52 1/3": 3.45 - 0.29	10.74 - 23.34
		3.3X	2.87 - 34.65	2/3": 3.83 - 0.323 1/3": 2.09 - 0.17	16.62 - 40.77
	2.0X	0.5X	0.58 - 6.98	1/3": 10.34 - 0.85	2.61 - 5.79	37	9.00 - 1.66	0.35 - 0.01
		0.67X	0.78 - 9.38	2/3": 9.10 - 1.17^d 1/3": 7.72 - 0.64	3.42 - 7.79
		1.00X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	5.09 - 11.62
		1.33X	1.54 - 18.60	2/3": 7.14 - 0.59 1/3": 3.89 - 0.32	6.93 - 15.43
		2.0X	2.32 - 28.00	2/3": 4.75 - 0.40 1/3": 2.59 - 0.22	10.17 - 23.24
		3.3X	3.83 - 46.20	2/3": 2.88 - 0.24 1/3": 1.57 - 0.13	16.56 - 36.04
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ(MPS)は、最小図形寸法が2つのピクセルにオーバーラップすることを許容するサイズで、MPS=1/2 x (最小図形寸法 x システム倍率)で与えられます。これらは同軸ライトの光入射用ポート付きズームレンズには対応していません。ケラレは、0.9Xより小さいズーム設定で生じます。

6.5X Zoom Lens System Specifications

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
6.5X	0.25X	0.5X	0.09 - 0.56	2/3": 91.40 - 19.52 1/3": 68.64 - 10.64	2.50 - 5.19	300	55.56 - 18.52	13.89 - 1.54
		0.67X	0.12 - 0.75	2/3": 93.62 - 14.66 1/3": 51.12 - 8.04	3.33 - 6.95
		1.00X	0.18 - 1.13	2/3": 62.84 - 9.76 1/3": 34.52 - 9.76	5.00 - 10.46
		1.33X	0.23 - 1.51	2/3": 47.25 - 7.34 1/3": 25.80 - 4.0	6.65 - 13.91
		2.0X	0.35 - 2.25	2/3": 31.42 - 4.88 1/3": 17.16 - 2.66	15.29 - 28.93
		3.3X	0.58 - 3.71	2/3": 19.04 - 2.96 1/3": 10.40 - 1.61	16.59 - 40.53
		5.0X	0.88 - 5.62	2/3": 12.56 - 1.96 1/3": 6.88 - 1.08	24.45 - 52.04
	0.50X	0.5X	0.18 - 1.13	2/3": 45.70 - 9.76 1/3": 34.32 - 5.32	2.73 - 5.38	175	30.30 - 9.52	4.13 - 0.41
		0.67X	0.23 - 1.50	2/3": 46.81 - 7.33 1/3": 25.56 - 4.00	3.48 - 7.14
		1.00X	0.35 - 2.25	2/3": 31.43 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	5.30 - 10.71
		1.33X	0.47 - 3.03	2/3": 23.63 - 3.68 1/3": 12.90 - 2.01	7.05 - 14.24
		2.0X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	10.61 - 21.42
		3.3X	1.16 - 7.43	2/3": 9.52 - 1.48 1/3": 5.20 - 0.81	15.44 - 39.08
		5.0X	1.75 - 11.25	2/3": 6.29 - 0.98 1/3": 3.43 - 0.53	26.51 - 53.55
	0.75X	0.5X	0.26 - 1.69	2/3": 30.50 - 6.52 1/3": 22.86 - 3.56	2.55 - 5.32	113	19.62 - 6.28	1.73 - 0.18
		0.67X	0.35 - 2.25	2/3": 31.21 - 4.89 1/3": 17.04 - 2.67	3.43 - 7.08
		1.00X	0.53 - 3.38	2/3": 20.95 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	5.20 - 10.63
		1.33X	0.70 - 4.54	2/3": 15.75 - 2.45 1/3": 8.59 - 1.34	6.92 - 14.13
		2.0X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	10.30 - 21.23
		3.3X	1.73 - 11.14	2/3": 6.35 - 0.99 1/3": 3.46 - 0.54	15.36 - 33.31
		5.0X	2.63 - 16.88	2/3": 4.19 - 0.65 1/3": 2.29 - 0.35	25.74 - 53.09
	None (1.0X)	0.5X	0.35 - 2.25	2/3": 22.90 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	2.54 - 5.28	92	14.50 - 4.70	0.95 - 0.10
		0.67X	0.47 - 3.00	2/3": 23.40 - 3.65 1/3": 12.77 - 2.01	3.41 - 7.04
		1.00X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	5.08 - 10.55
		1.33X	0.93 - 6.05	2/3": 11.81 - 1.83 1/3": 6.45 - 1.00	6.76 - 14.03
		2.0X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	10.15 - 21.11
		3.3X	2.31 - 14.85	2/3": 4.76 - 0.74 1/3": 2.60 - 0.40	15.29 - 29.11
		5.0X	3.50 - 22.50	2/3": 3.14 - 0.49 1/3": 1.72 - 0.27	25.38 - 52.76
	1.5X	0.5X	0.53 - 3.38	2/3": 15.00 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	2.60 - 5.32	51	9.80 - 3.14	0.43 - 0.04
		0.67X	0.70 - 4.50	2/3": 15.60 - 2.44 1/3": 8.52 - 1.33	3.43 - 7.09
		1.00X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	5.15 - 10.63
		1.33X	1.40 - 9.08	2/3": 7.88 - 1.22 1/3": 4.3 - 0.67	6.85 - 14.14
		2.0X	2.10 - 13.50	2/3": 5.24 - 0.81 1/3": 2.86 - 0.44	10.29 - 21.26
		3.3X	3.47 - 22.28	2/3": 3.18 - 0.49 1/3": 1.73 - 0.27	15.29 - 28.92
		5.0X	5.25 - 33.75	2/3": 2.10 - 0.33 1/3": 1.14 - 0.18	25.73 - 53.16
	2.0X	0.5X	0.70 - 4.50	2/3": 11.40 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	2.54 - 5.29	36	7.24 - 2.34	0.24 - 0.02
		0.67X	0.94 - 6.00	2/3": 11.70 - 1.83 1/3": 6.39 - 1.00	3.41 - 7.05
		1.00X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	5.08 - 10.58
		1.33X	1.86 - 12.10	2/3": 5.91 - 0.92 1/3": 3.22 - 0.50	6.76 - 14.07
		2.0X	2.80 - 18.00	2/3": 3.93 - 0.61 1/3": 2.15 - 0.33	10.15 - 21.15
		3.3X	4.62 - 29.70	2/3": 2.38 - 0.37 1/3": 1.30 - 0.14	15.30 - 28.70
		5.0X	7.00 - 45.00	2/3": 1.57 - 0.24 1/3": 0.86 - 0.13	25.38 - 52.88
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ(MPS)は、最小図形寸法が2つのピクセルにオーバーラップすることを許容するサイズで、MPS=1/2 x (最小図形寸法 x システム倍率)で与えられます。これらは同軸ライトの光入射用ポート付きズームレンズには対応していません。ケラレは、0.9Xより小さいズーム設定で生じます。

ソフトウェア

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M3ソフトウェアのGUI

計測用ソフトウェアMetLogix^® M3

動作、照明、器具などを制御するカスタムルーチンのプログラムが可能
Microsoft Windows^®環境をオンラインヘルプ付きで使用可能なため、トレーニングが容易
プログラムは、CADデータを使ったり、あるいは部品を手動で測定しながらその過程を記録したりすることで自動的に作成可能
選択的特徴量を計測するための拡張ビデオエッジ検出(VED)
測定プロセスを高速化する、線幅、円、重心、バッファなどの様々なビデオエッジ検出ツール
システムが特徴の位置と大きさを報告することで製造プロセスを最適化
デカルト座標、真位置、LMC、MMCに対する公差表示

ビデオ測定システムVideoMic^®にはは、計測用ソフトウェアとしてMetLogix^® M3ソフトウェアパッケージが付属しています。ソフトウェアはX、Yの2軸測定および精密Z軸測定をサポートしています。3次元容積測定には対応していませんのでご注意ください。ビデオエッジ検出(VED)ツールを使用すると、半径、直径、距離、角度の計測(算出)や、検査中の部品の自動アライメントが可能になります。単位変換と非線形誤差補正の機能が付いています。

一体型のモーションコントロールソフトウェアにより、自動および半自動での測定や検査ルーチン、インタラクティブなグラフィックパーツマッピングが可能です。このシステムはタッチパネル機能を最大限に活用して、学習プロセスを強化しています。このパッケージは当社の三角測量用レーザーセンサを使用する場合には必要です。

アクセサリのオプション

Exploring the Options?

Thorlabs' Multisensor Video Systems are customized to meet the demanding needs of your application. If you do not see a product or specification that you require or you are looking for assistance selecting a system, please contact me. Our Measurement Systems Team is happy to help and can provide system recommendations based on your needs.

当社のビデオ測定機は、タッチトリガープローブと非接触レーザープローブを1台の機械に装備することで機能を向上させることができます。このマルチセンサの機能によりシステムの柔軟性が高められ、システムを切り替えることなく非常に複雑な部品の精密な測定や検査が可能になります。当社のアクセサリのラインナップについては、下記の各セクションをクリックし、展開してご覧ください。

当社のビデオシステムで製品を検査する様子。Renishaw^®タッチトリガープローブを使用しています。

Renishaw^® タッチプローブのオプション

Probe Body Options
Series	TP20	TP200	SP600
Sensor Type	Kinematic	Strain Gauge	Scanning
Application	Auto or Manual CMM, Suitable for Most Applications	Auto or Manual CMM with High Accuracy	High-Speed, Contact Form Scanning and Fast Point Measurement Applications
Renishaw Stylus Range	M2 Threaded	M2 Threaded	M3 Threaded
Module Changing Racks	Manual and Motorized

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当社のビデオシステムに取り付けられたキネマティックタッチトリガープローブRenishawTP20

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LF、SFおよびMFプローブモジュール、および様々な先端形状のM2スタイラス

Renishaw^®タッチプローブのオプション

TP20シリーズの3軸キネマティックタッチトリガープローブ
TP200シリーズの3軸歪みケージタッチトリガープローブ
SP600シリーズの3軸歪みケージタッチトリガープローブ

当社のビデオ測定システムは、Renishaw社のP20およびTP200シリーズのほとんどの3軸タッチトリガープローブ、およびSP600シリーズの3軸走査プローブに対応します。これらはキットとして販売されており、事前にビデオシステムに組み込まれています。各キットにはプローブ本体、プローブモジュール、スタイラス、およびオプションの手動交換用または自動交換用のモジュールチェンジラックが含まれます。プローブアセンブリをビデオ測定システムに取り付けるときは、定位置にとどまるように構成したり、使用しない時にシステムを電動で後退させたりすることができます。

TP20シリーズ
TP20シリーズの設計は、2つのボールベアリングの間にロッドを配置した仕組みを3組、互いに約120°間隔で配置した、バネ負荷式のキネマティック構造でモデル化されます。スタイラスが部品に接触すると、内部のバネがそのわずかな力に抵抗しますが、ボールシートには変位と回転が生じます。この変位によってシステムにトリガ信号が送られ、測定を停止して信号が記録されます。

TP200シリーズ
TP200シリーズは、TP20シリーズと同様のキネマティック機構を使用してスタイラスを保持しますが、このシリーズは機械的な動作を利用してイベントをトリガすることはありません。その代わりに、1組のシリコンベースの歪ゲージがキネマティック機構の上に配置されています。これらのゲージは、任意の方向からスタイラスにかかる力を測定し、その力が設定値を超えると測定をトリガします。

SP600シリーズ
走査プローブSP600は、多彩な、あるいは複雑なコンポーネントの測定に適しています。前述のタッチトリガープローブでは選択したパスに沿って不連続のデータポイントを収集しますが、走査プローブはそれと異なり、表面全体を注意深くドラッグして大量のデータポイントを素早く取得します。走査プローブは変位に伴う信号を連続的に出力し、それを機械の位置と組み合わせて表面の位置を決定します。スタイラスの先端は、この方法を使用すると早く劣化する傾向があります。

Renishaw製プローブモジュールのラインナップと仕様については下の表をご覧ください。カスタマイズやその他のオプションについては当社にご相談ください。

TP20 Series Probe Options and Specifications^a
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	Trigger Force (N) (Stylus Length^a)		Overtravel Force (N) (Stylus Length^a)			Overtravel Displacement			Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	XY^b	Z	XY	+Z	-Z	XY (deg.)	+Z (mm)	-Z (mm)	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, +Z	±0.60 µm	±0.35 µm	0.055	0.65	0.09	1.15	N/A	±14	3.1	N/A	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)		±0.80 µm	±0.35 µm	0.08	0.75	0.2 - 0.3	3.5	N/A	±14	4	N/A
Medium Force (MF)		±1.00 µm	±0.50 µm	0.10 (25 mm)	1.9 (25 mm)	0.2 - 0.4 (25 mm)	7 (25 mm)	N/A	±14	3.7	N/A
Extended Force (EF)		±2.00 µm	±0.65 µm	0.10 (50 mm)	3.2 (50 mm)	0.2 - 0.5 (50 mm)	10 (50 mm)	N/A	±14	2.4	N/A
6 Way (6W)	±X, ±Y, ±Z	±1.50 µm	±1.00 µm	0.14	1.60	0.25	2.5	9	±14	4.5	1.5

括弧内に特に記載がない場合は、長さ10 mmのスタイラスを使用して480 mm/分の速度で測定しています。
Low Force Direction

TP200 Series Probe Options and Specifications
Module	Sense Direction	Unidirectional Repeatability		XY Form Measurement Deviation		XYZ Form Measurement Deviation		Trigger Force (N)		Overtravel Force^a (N)		Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	XY^b	Z	XY	Z	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, ±Z	±0.40 µm	±0.50 µm	±0.80 µm	±0.90 µm	±1 µm	±1.4 µm	0.02	0.07	0.1 - 0.15	1.6	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)										0.2 - 0.4	4.9
Extended Overtravel (EO)										0.2 - 0.4	4.9

At a displacement of 0.50 mm.
Low Force Direction

SP600 Series Scanning Probe Options and Specifications
Module	Sense Direction	Measurement Range	Overtravel Range	Resolution	Spring Rate	Damping
SP600	±X, ±Y, ±Z	±1 mm^a	X, Y and -Z Protected by Kinematic Joint.	0.1 µm - 1 µm	120 gmf/mm in X, Y, Z (Nominal)	20% in X,Y,Z (Typical)

In all axes and orientations with a 50 mm long, 4.6 g stylus.

レーザーセンサのオプション

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三角測量用のレーザを用いて、当社の光学マウントの前面プレートの平面度を測定

レーザーセンサのオプション

コノスコープホログラフィーレーザーセンサ
三角測量方式のレーザ変位センサ

当社ではコノスコープホログラフィーレーザーセンサ(CHS)と三角測量方式レーザ変位センサ(TDS)の2種類のレーザーセンサをご提供しています。これらのセンサを用いると、距離、表面形状、2次元プロファイルおよび厚さの測定を高精度で行うことができます。

コノスコープにおけるレーザ光は、反射光(信号光)の光軸に沿って入射されます。これらが同一線上にあることにより、角度の大きな止まり穴や表面を測定するのには適していますが、一方でスタンドオフ距離(ターゲットからの距離)を短くする必要があります。また、単に表面欠陥の特徴を調べるなど、CHSから得られる高精度の測定値を必要としない用途にもご使用いただけます。これに対し、TDSは内蔵のCCDディテクタを用いてターゲットから反射した光を測定し、ターゲットの位置を測定します。この集光は同一線上では行われず、ビームの入射方向と集光光学系との間には一定の角度があります。この設計の場合は、センサのスタンドオフ距離を大きくすることができます。

CHSでは、出力ポートに交換可能な対物レンズを使用しますが、これでセンサの測定範囲が決定されます。一般的な2つの対物レンズを以下の表に掲載しています。用途に応じた他のオプションもございます。TDSでは対物レンズを使用しませんが、直接的な測定範囲をもとに選択します。システムの選択やその他のオプションについては当社にご相談ください。

Triangulation Displacement Sensor Specifications
Measuring Range		25 mm	50 mm
Measuring Range Spread	Start (SMR)	25 mm	35 mm
	Mid (MMR)	27.5 mm	60 mm
	End (EMR)	50 mm	85 mm
Linearity^b		≤ ±0.08%	≤ ±0.08%
Repeatability at Measuring Rate		1 µm	2 µm
Measuring Rate		2 kHz
Spot Diameter (±10%)	SMR	100 x 140 µm	90 x 120 µm
	MMR	120 x 130 µm	230 x 240 µm
	EMR	390 x 500 µm	630 x 820 µm
	Minimum	55 x 50 µm	70 x 65 µm
Laser Power		＜1 mW
Laser Color		Red (670 nm)
Laser Safety Class		Class 2 in Accordance with DIN EN 60825-1 : 2008-05

上記以外の測定範囲にも対応可能ですので、ご要望の際は当社にご相談ください。
リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。

Conoscopic Holography Sensor Specifications
Included Objective Effective Focal Length^a	25 mm	50 mm
Measuring Range	1.8 mm	8 mm
Standoff^b	14 mm	44 mm
Linearity^c	±0.17%	±0.08%
Repeatability	0.06 µm	0.10 µm
X Laser Spot Size	27 µm	37 µm
Angular Coverage	150°	170°
Measurement Frequency	≤3000 Hz
Color	Red
Laser Safety Class	Class 2, IEC 60825-1:2007^d
Compatible Software	IK500

対物レンズは交換可能です。交換用の対物レンズもご用意していますので、ご要望の際は当社にご相談ください。
プローブから検査対象物の測定範囲の中心までの距離
リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。
31CFR 1040.10および1040.11 Class II - FDAに準拠

固定具のオプション

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回転固定具
当社のY軸プラットフォームに取り付けられた回転ステージ。検査対象部品の測定時に部品を回転させます。

固定具のオプション

透明なCMMビジョンプレート
アルミニウム製CMMブレッドボード
空圧式プラテンガラス

当社では、ビデオ座標測定機(CMM、3次元測定機)を使用して検査する際に、対象物を固定するための様々な選択肢をご用意しています。固定とは、CMMで走査する前に、測定対象物の位置をしっかり安定させることを意味します。そうすることで、生産ラインの多数の製品に対して、再現性の高い、正確で高速な走査を行い、検査を進めることができます。

回転ステージ型固定具
当社の回転ステージは、測定中に検査対象部品を回転させます。これにより、シャフト、ネジ、ギア、その他の円筒形部品を測定する際、別の側面から測定するために部品を再固定する必要がありません。VSAまたはVSMビデオシステムのY軸ステージに取り付けて使用します。/p>

当社のブレッドボードに取り付け可能な電動回転マウント・ステージも豊富に取り揃えております。それらを用いることで、検査対象物の回転および位置決めを迅速かつ正確に繰り返すことが可能な、電動のモジュール式固定システムを容易に作ることができます。

CMMブレッドボード
当社のアルミニウム製ブレッドボード1/4"-20タップ穴が12.7 mm間隔で配置されており、モジュール式固定具を取り付けて検査する部品を保持できるようになっています(右上の写真参照)。ボードの四辺のブランク部分(幅25.4 mm)には、タップ穴の位置に合わせて英数字のラベルが書かれています。これにより、行、列、および取付け穴の位置が識別できます。また、非磁性で、耐摩耗性や耐久性に優れた硬質アルマイト加工が施されており、タッチプローブによる計測、光学アセンブリの試作、実験、小型のサブシステムの取り付けなどを行うときに、コンポーネントを固定するためのプラットフォームとなります。

空圧式プラテンガラスを開けて校正用ターゲットを取り外す様子

空圧式プラテンガラス
空圧式のヒンジ付きプラテンガラスはすべてのステージに追加することができ、これで厚さ5.1 mmまでの小さな対象物や回路基板を固定できます。モデルによって、プラテンはソフトウェアルーチンの一部として自動的に開くようにも、またはガラスパネルを手動で持ち上げるようにも構成することができます。電動式4分割ライトを使用する場合、プラテンを上げるたびに4分割ライトを移動するようにシステムをプログラムし、不要な衝突を防ぐようにすることができます。

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空圧式プラテンガラス
空圧式プラテンガラスの閉じた状態と開いた状態

対物レンズのオプション

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倍率1Xの対物レンズTL1X-SAPと付属のケース

作動距離の長い対物レンズ

倍率：1X、5X、10X、20X、50X
240 nm～656 nmで使用可能な様々なオプションをご用意
明視野観察に適しています。

当社では、倍率が1X、5X、10X、20X、50Xのアポクロマート対物レンズをご用意しています。焦点距離200 mmのチューブレンズ用に設計されており、可視(VIS)域でフラットな焦点面が得られ、色収差も補正されています。作動距離が長いためレンズ面と物体との間に広いスペースが確保でき、マシンビジョン用として適しています。倍率1Xの対物レンズTL1X-SAPには、後方反射を最小限に抑えるために、取り外し可能な波長板も付いています。

各対物レンズには分類、倍率、開口数、「0」(カバーガラス無しで試料をイメージングする設計であることを示す)、表記された倍率が得られるチューブレンズの焦点距離が刻印されています。対物レンズの発送時に付属していた容器を紛失や破損した場合、対物レンズ用ケース(型番OC2M26 and OC24)を交換品としてお求めいただくことができます。

こちらの対物レンズの特性に関するチュートリアルを含む詳細な情報についてはこちらの製品紹介ページをご覧ください。

Item #	Wavelength Range	M^a	WD	EFL	NA	EA	Typical Transmission	OFN	PFL	AR Coating Reflectance
LMUL-10X-UVB	240 - 360 nm	10X	20.0 mm	20 mm	0.25	10.0 mm	Raw Data	24	95.0 mm	＜1.5% per surface (240 - 360 nm)
LMUL-20X-UVB		20X	15.3 mm	10 mm	0.36	7.2 mm	Raw Data
LMUL-50X-UVB		50X	12.0 mm	4 mm	0.42	3.4 mm	Raw Data
TL1X-SAP^b	420 - 700 nm	1X	8.0 mm	200 mm	0.03	23.4 mm	Raw Data	22	95.0 mm	R_avg < 0.5% per Surface @ 0° AOI (420 - 700 nm)
MY5X-802	436 - 656 nm	5X	34.0 mm	40 mm	0.14	11.2 mm		24	95 mm	Not Available
MY10X-803		10X	34.0 mm	20 mm	0.28	11.2 mm
MY20X-804		20X	20.0 mm	10 mm	0.42	8.4 mm
MY50X-805		50X	13.0 mm	4 mm	0.55	4.4 mm

焦点距離200 mmのチューブレンズを使用した時
こちらの仕様は付属の波長板を取り付けた状態での値です。

M = 倍率
WD = 作動距離
EFL = 有効焦点距離

PFL = 同焦点距離
NA = 開口数
OFN = 光学視野数

ソフトウェアとハードウェアのアップグレード

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モニタはシステムの制御ユニットまたはフードの上に設置できます。計測用ソフトウェアパッケージM3を選択すると、タッチパネル式のモニタをご使用いただけます。

ソフトウェアとハードウェアのアップグレード

インポート/エクスポート用のソフトウェアユーティリティ
EXCEL^®^aをベースにした統計的工程管理用ソフトウェアパッケージ
タッチパネル式のモニタおよび(または)フード付きモニタ
カラープリンタおよびプリンタ用シェルフ

当社ではオプションとして、付属のLCDモニタおよびソフトウェアのアップグレードを行っております。詳細については当社までお問い合わせください。

インポート/エクスポート用のソフトウェアユーティリティ
Tこれらのファイル変換ユーティリティは、CAD、アートワーク、ドリルファイル、ルートファイルなど、さまざまな種類のファイルをインポートおよびエクスポートするために使用されます。

統計的工程管理(SPC)用ソフトウェアパッケージ
SPCプログラムには、プロセスの動作、内部システムエラー、および生産上の問題点を管理するためのツールと手順が含まれています。これはEXCELをベースにしたパッケージで、すべてのビデオシステムに追加することができます。

モニタのオプションおよびシステムの設置
ベースシステムには標準的な21.5インチのLCDモニタが付属します。モニタはオペレータ制御パッドの上のワークステーションに、またはシステムのフードに取り付けることができます(右写真参照)。ご要望により、フードにのみ取り付けることができます。モニタは、タッチスクリーン付きや、30インチ(対角)にアップグレードすることもできます。ただし、タッチ機能は計測用ソフトウェアM3使用時のみご利用いただけます。

カラープリンタおよびプリンタ用シェルフ
カラープリンタを使用して、ビデオ画像や測定レポートを物理的に記録保管することができます。プリンタ用シェルフは、ワークステーション後方のビデオシステムの側面に取り付けることができます。

EXCELはMicrosoft社の登録商標です。

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当社の7種類のベースシステム、ビデオシステム、アクセサリの仕様を以下に示します。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

当社のOptekビデオシステムのカスタマイズについては、「ビデオ構成」および「アクセサリ」の各タブをご覧いただくか、右のボックス内のContact Usボタンから当社までお問い合わせください。

ベースシステム

当社のビデオCMMのベースシステムには5種類のサイズがございます。VSM463、VSM713を除くすべての製品には、標準でエアベアリングとリニアモータが装備されています。VSM463、VSM713にはボールベアリングとサーボモータが装備されています。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

VideoMic^® Video Inspection Systems Specifications
Base System Item #^a		VSA303	VSA463	VSM463	VSA713	VSM713	VSA963	VSA1273
XYZ Control
Stage Bearings		Air	Air	Mechanical	Air	Mechanical	Air	Air
Stage Motors		Linear	Linear	Servo	Linear	Servo	Linear	Linear
Measurement (Travel) Range	X-Y	305 mm x 305 mm (12" x 12")	460 mm x 305 mm (18" x 12")		711 mm x 610 mm (28" x 24")		965 mm x 760 mm (38" x 30")	1270 mm x 915 mm (50" x 36")
Measurement (Travel) Range	Z	200 mm (8")
Accuracy^b	X-Y (E2)	(1.5 + 5L/1000) µm		(2.5 + 5L/1000) µm	(1.5 + 5L/1000) µm	(2.5 + 5L/1000) µm	(1.5 + 5L/1000) µm
Accuracy^b	Z (E1)	(1.5 + 5L/1000) µm
Velocity	X-Y	≤760 mm/s
Velocity	Z	150 mm/s
Repeatability	Z	±3 µm (±0.00012") at High Magnification
Granite	Flatness	≤0.005 mm (Over Any 700 mm Area)
	Roughness	Ra0.4 (Equivalent to RMS16)
	Waviness	≤0.001 mm / 100 mm x 100 mm
Unit Dimensions
Footprint	Width	870 mm (34")	1020 mm (40")		1270 mm (50")		1520 mm (60")	2140 mm (85")
Footprint	Depth	1020 mm (40")	1020 mm (40")		1630 mm (64")		1880 mm (74")	2350 mm (93")
Total Height		1730 mm (68")	1730 mm (68")		1730 mm (68")		1860 mm (73")	1800 mm (71")
Approximate System Weight (Crated / Uncrated)		885 kg (1950 lbs) / 590 kg (1300 lbs)	1043 kg (2300 lbs) / 726 kg (1600 lbs)		1630 kg (3600 lbs) / 1225 kg (2700 lbs)		2041 kg (4500 lbs) / 1588 kg (3500 lbs)	2994 kg (6600 lbs) / 2450 kg (5400 lbs)
Approximate Footprint Overhang^c	Control Station	up to 635 mm (25")
Approximate Footprint Overhang^c	Printer Tray	up to 280 mm (11")
Top Clearance		Allow for Approximately 1220 mm (48") for Servicing
Rear Clearance		Allow for Approximately 610 mm (24") for Servicing
Typical Unit Dimensions
General
Operating Temperature	Range	20 ± 0.5 °C (67° - 69 °F)
Operating Temperature	Rate	0.25 °C/hr (0.5 °F/hr)
Relative Humidity (Non-Condensing)		30% - 80%
Line Voltage		115 / 230 VAC, 50 / 60 Hz, Single Phase, 1.0 kW
Air Supply (Air Bearings Only)	Velocity	85 L/m (3 CFM) Dry Air		-	85 L/m (3 CFM) Dry Air	-	85 L/m (3 CFM) Dry Air
Air Supply (Air Bearings Only)	Pressure	7 - 8.25 Bar (100 - 120 PSI)			7 - 8.25 Bar (100 - 120 PSI)		7 - 8.25 Bar (100 - 120 PSI)

ベースシステムの型番はサイズ、測定範囲、ベアリング/モータのタイプを示しています。オプションの拡大光学系、カメラ、および照明は用途に合わせてカスタマイズできます。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。
Lは点から点への移動距離または対角移動距離です。これらの式は、認証済みのアーティファクト、2 µm以下のピクセル値、均等に分散された負荷、および標準測定面を用いて、20°Cの環境に置かれた熱安定性に優れたシステムで測定するときに適用されます。
制御ステーションには、モニタ、キーボード、マウス、制御パッドが含まれます。これらはユニット前面に付いています。プリンター用トレイはオプションのアクセサリで、ユニット背面に取り付けられます。

CCDカメラ

当社の1.3 および5メガピクセルカメラの仕様は下表をご覧ください。また右のグラフは、各カメラの可視スペクトル域における感度の波長依存性を示しています。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

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付属のIRフィルタを取り付けた5メガピクセルカメラの感度特性

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付属のIRフィルタを取り付けた1.3メガピクセルカメラの感度特性

Camera Specifications
Resolution	1.3 MP	5 MP
Sensor Type	Interline SXGA Progressive Color CCD: ICX424AQ	Interline QSXGA Progressive Color CCD: ICX625AQ
Pixels (H x V)	1348 x 976	2536 x 2068
Active Pixels (H x V)	1280 x 966	2448 x 2058
Imaging Area (H x V)	4.8 mm x 3.6 mm	8.4 mm x 7.1 mm
Pixel Size	3.75 µm x 3.75 µm	3.45 µm x 3.45 µm
Optical Format	1/3"	2/3"
Frame Rate	40 fps	15 fps
Filter	IR Cut-On Filter
Video Output Format	Digital 8, 10, or 12 bit Raw Data or RGB 8 bit

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上の透過率は補助レンズやエクステンションチューブを付けていない状態での値です。ARコーティングにより可視スペクトル域(およそ400～700 nm)における反射率は最小限に抑えられています。

ズームレンズ

ズームレンズシステムは、ズームレンズ、補助レンズ、エクステンションチューブの3つのモジュールで構成されています。各モジュールは下表の最初の3列に記載されています。3つのモジュールを組み合わせたシステム全体の倍率や視野などの仕様については、お選びいただいたモジュールの行の右側の欄をご覧ください。視野はご使用になるカメラのフォーマットに依存しますのでご注意ください。

最も一般的に選択されるシステムは緑色でハイライト表示されています。テレセントリックズームレンズをお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

同軸ライトの光入射用ポート付きズームレンズ
側面に同軸ライトの光入射用ポートが取付けられた倍率12Xおよび6.5Xのシステムの仕様は、以下の表の仕様と同じです。ただし、光は追加されたビームスプリッタを通過しなければならないため、透過率はわずかに低下する場合があります。また、倍率0.25X、0.5Xおよび0.75Xの補助レンズは、このタイプのズームレンズには対応しておりません。内部の同軸光は円形のエリアに照射されますが、その直径は倍率12Xのズームレンズで14 mm、倍率6.5Xのズームレンズで11 mmです。この範囲よりも視野が大きい場合は4隅が暗くなります。

12X Zoom Lens System Specifications

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View^a (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size^b (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
12X	0.25X^c	0.5X	0.07 - 0.87	1/3": 85.71 - 6.89	2.33 - 5.8	341	66.66- 13.34	20.00 - 0.80
		0.67X	0.10 - 1.17	2/3": 72.00 - 9.35^d 1/3": 61.73 - 5.10	3.33 - 7.80
		1.00X	0.15 - 1.75	2/3": 75.88 - 6.28 1/3": 41.38 - 3.42	5.00 - 11.67
		1.33X	0.19 - 2.33	2/3": 57.89 - 4.72 1/3": 31.57 - 2.57	6.33 - 15.54
		2.0X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	9.67 - 23.34
		3.3X	0.48 - 5.78	2/3": 22.99 - 1.90 1/3": 12.54 - 1.04	16.59 - 40.53
	0.50X^c	0.5X	0.14 - 1.75	1/3": 42.85 - 3.42	2.59 - 5.82	165	37.04 - 6.66	6.17 - 0.19
		0.67X	0.19 - 2.35	2/3": 36.0 - 4.68^d 1/3": 30.87 - 2.55	3.60 - 7.68
		1.00X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	5.38 - 11.45
		1.33X	0.39 - 4.66	2/3": 18.96 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	7.22 - 15.51
		2.0X	0.58 - 7.00	2/3": 18.97 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	10.74 - 22.89
		3.3X	0.96 - 11.55	2/3": 11.50 - 0.95 1/3": 6.27 - 0.52	16.64 - 50.60
	0.75X^c	0.5X	0.22 - 2.62	1/3": 27.27 - 2.29	2.61 - 5.81	108	23.80 - 4.44	2.55 - 0.09
		0.67X	0.29 - 3.52	2/3": 24.3 - 3.12^d 1/3": 20.58 - 1.70	3.45 - 7.73
		1.00X	0.44 - 5.25	2/3": 25.30 - 2.09 1/3": 13.79 - 1.14	5.24 - 11.52
		1.33X	0.58 - 6.98	2/3": 18.96- 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	6.90 - 15.49
		2.0X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	10.35 - 23.05
		3.3X	1.44 - 17.33	2/3": 7.67 - 0.63 1/3": 4.18 - 0.35	16.62 - 46.34
	None (1.0X)	0.5X	0.29 - 3.49	1/3": 20.69 - 1.72	2.68 - 5.82	86	18.52 - 3.34	1.39 - 0.05
		0.67X	0.39 - 4.69	2/3": 18.20 - 2.34^d 1/3": 15.44 - 1.28	3.42 - 7.74
		1.00X	0.58 - 7.00	2/3": 18.79 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	5.09 - 11.55
		1.33X	0.77 - 9.31	2/3": 14.28 - 1.18 1/3": 7.79 - 0.64	7.13 - 5.54
		2.0X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	10.17 - 23.10
		3.3X	1.91 - 23.10	2/3": 5.75 - 0.48 1/3": 3.13 - 0.26	16.60 - 40.54
	1.5X	0.5X	0.43 - 5.23	1/3": 13.95 - 1.14	2.65 - 5.85	50	12.34 - 2.24	0.64 - 0.02
		0.67X	0.58 - 7.04	2/3": 12.20 - 1.55^d 1/3": 10.29 - 0.85	3.45 - 7.78
		1.00X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	5.18 - 11.60
		1.33X	1.16 - 14.00	2/3": 9.48 - 0.78 1/3": 5.17 - 0.44	7.15 - 15.68
		2.0X	1.74 - 21.00	2/3": 6.33 - 0.52 1/3": 3.45 - 0.29	10.74 - 23.34
		3.3X	2.87 - 34.65	2/3": 3.83 - 0.323 1/3": 2.09 - 0.17	16.62 - 40.77
	2.0X	0.5X	0.58 - 6.98	1/3": 10.34 - 0.85	2.61 - 5.79	37	9.00 - 1.66	0.35 - 0.01
		0.67X	0.78 - 9.38	2/3": 9.10 - 1.17^d 1/3": 7.72 - 0.64	3.42 - 7.79
		1.00X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	5.09 - 11.62
		1.33X	1.54 - 18.60	2/3": 7.14 - 0.59 1/3": 3.89 - 0.32	6.93 - 15.43
		2.0X	2.32 - 28.00	2/3": 4.75 - 0.40 1/3": 2.59 - 0.22	10.17 - 23.24
		3.3X	3.83 - 46.20	2/3": 2.88 - 0.24 1/3": 1.57 - 0.13	16.56 - 36.04
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ（MPS）は、最小図形寸法が2つのピクセルにオーバーラップすることを許容するサイズで、MPS=1/2 x (最小図形寸法 x システム倍率)で与えられます。これらは同軸ライトの光入射用ポート付きズームレンズには対応していません。ケラレは、0.9Xより小さいズーム設定で生じます。

6.5X Zoom Lens System Specifications

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
6.5X	0.25X	0.5X	0.09 - 0.56	2/3": 91.40 - 19.52 1/3": 68.64 - 10.64	2.50 - 5.19	300	55.56 - 18.52	13.89 - 1.54
		0.67X	0.12 - 0.75	2/3": 93.62 - 14.66 1/3": 51.12 - 8.04	3.33 - 6.95
		1.00X	0.18 - 1.13	2/3": 62.84 - 9.76 1/3": 34.52 - 9.76	5.00 - 10.46
		1.33X	0.23 - 1.51	2/3": 47.25 - 7.34 1/3": 25.80 - 4.0	6.65 - 13.91
		2.0X	0.35 - 2.25	2/3": 31.42 - 4.88 1/3": 17.16 - 2.66	15.29 - 28.93
		3.3X	0.58 - 3.71	2/3": 19.04 - 2.96 1/3": 10.40 - 1.61	16.59 - 40.53
		5.0X	0.88 - 5.62	2/3": 12.56 - 1.96 1/3": 6.88 - 1.08	24.45 - 52.04
	0.50X	0.5X	0.18 - 1.13	2/3": 45.70 - 9.76 1/3": 34.32 - 5.32	2.73 - 5.38	175	30.30 - 9.52	4.13 - 0.41
		0.67X	0.23 - 1.50	2/3": 46.81 - 7.33 1/3": 25.56 - 4.00	3.48 - 7.14
		1.00X	0.35 - 2.25	2/3": 31.43 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	5.30 - 10.71
		1.33X	0.47 - 3.03	2/3": 23.63 - 3.68 1/3": 12.90 - 2.01	7.05 - 14.24
		2.0X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	10.61 - 21.42
		3.3X	1.16 - 7.43	2/3": 9.52 - 1.48 1/3": 5.20 - 0.81	15.44 - 39.08
		5.0X	1.75 - 11.25	2/3": 6.29 - 0.98 1/3": 3.43 - 0.53	26.51 - 53.55
	0.75X	0.5X	0.26 - 1.69	2/3": 30.50 - 6.52 1/3": 22.86 - 3.56	2.55 - 5.32	113	19.62 - 6.28	1.73 - 0.18
		0.67X	0.35 - 2.25	2/3": 31.21 - 4.89 1/3": 17.04 - 2.67	3.43 - 7.08
		1.00X	0.53 - 3.38	2/3": 20.95 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	5.20 - 10.63
		1.33X	0.70 - 4.54	2/3": 15.75 - 2.45 1/3": 8.59 - 1.34	6.92 - 14.13
		2.0X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	10.30 - 21.23
		3.3X	1.73 - 11.14	2/3": 6.35 - 0.99 1/3": 3.46 - 0.54	15.36 - 33.31
		5.0X	2.63 - 16.88	2/3": 4.19 - 0.65 1/3": 2.29 - 0.35	25.74 - 53.09
	None (1.0X)	0.5X	0.35 - 2.25	2/3": 22.90 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	2.54 - 5.28	92	14.50 - 4.70	0.95 - 0.10
		0.67X	0.47 - 3.00	2/3": 23.40 - 3.65 1/3": 12.77 - 2.01	3.41 - 7.04
		1.00X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	5.08 - 10.55
		1.33X	0.93 - 6.05	2/3": 11.81 - 1.83 1/3": 6.45 - 1.00	6.76 - 14.03
		2.0X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	10.15 - 21.11
		3.3X	2.31 - 14.85	2/3": 4.76 - 0.74 1/3": 2.60 - 0.40	15.29 - 29.11
		5.0X	3.50 - 22.50	2/3": 3.14 - 0.49 1/3": 1.72 - 0.27	25.38 - 52.76
	1.5X	0.5X	0.53 - 3.38	2/3": 15.00 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	2.60 - 5.32	51	9.80 - 3.14	0.43 - 0.04
		0.67X	0.70 - 4.50	2/3": 15.60 - 2.44 1/3": 8.52 - 1.33	3.43 - 7.09
		1.00X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	5.15 - 10.63
		1.33X	1.40 - 9.08	2/3": 7.88 - 1.22 1/3": 4.3 - 0.67	6.85 - 14.14
		2.0X	2.10 - 13.50	2/3": 5.24 - 0.81 1/3": 2.86 - 0.44	10.29 - 21.26
		3.3X	3.47 - 22.28	2/3": 3.18 - 0.49 1/3": 1.73 - 0.27	15.29 - 28.92
		5.0X	5.25 - 33.75	2/3": 2.10 - 0.33 1/3": 1.14 - 0.18	25.73 - 53.16
	2.0X	0.5X	0.70 - 4.50	2/3": 11.40 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	2.54 - 5.29	36	7.24 - 2.34	0.24 - 0.02
		0.67X	0.94 - 6.00	2/3": 11.70 - 1.83 1/3": 6.39 - 1.00	3.41 - 7.05
		1.00X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	5.08 - 10.58
		1.33X	1.86 - 12.10	2/3": 5.91 - 0.92 1/3": 3.22 - 0.50	6.76 - 14.07
		2.0X	2.80 - 18.00	2/3": 3.93 - 0.61 1/3": 2.15 - 0.33	10.15 - 21.15
		3.3X	4.62 - 29.70	2/3": 2.38 - 0.37 1/3": 1.30 - 0.14	15.30 - 28.70
		5.0X	7.00 - 45.00	2/3": 1.57 - 0.24 1/3": 0.86 - 0.13	25.38 - 52.88
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ（MPS）は、最小図形寸法が2つのピクセルにオーバーラップすることを許容するサイズで、MPS=1/2 x (最小図形寸法 x システム倍率)で与えられます。これらは同軸ライトの光入射用ポート付きズームレンズには対応していません。ケラレは、0.9Xより小さいズーム設定で生じます。

対物レンズ

以下に対物レンズの仕様を示します。カスタマイズやその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。

Item #	Wavelength Range	M^a	WD	EFL	NA	EA	Typical Transmission	OFN	PFL	AR Coating Reflectance
LMUL-10X-UVB	240 - 360 nm	10X	20.0 mm	20 mm	0.25	10.0 mm	Raw Data	24	95.0 mm	< 1.5% per Surface(240 - 360 nm)
LMUL-20X-UVB		20X	15.3 mm	10 mm	0.36	7.2 mm	Raw Data
LMUL-50X-UVB		50X	12.0 mm	4 mm	0.42	3.4 mm	Raw Data
TL1X-SAP^b	420 - 700 nm	1X	8.0 mm	200 mm	0.03	23.4 mm	Raw Data	22	95.0 mm	R_avg < 0.5% per Surface @ 0° AOI (420 - 700 nm)
MY5X-802	436 - 656 nm	5X	34.0 mm	40 mm	0.14	11.2 mm		24	95 mm	Not Available
MY10X-803		10X	34.0 mm	20 mm	0.28	11.2 mm
MY20X-804		20X	20.0 mm	10 mm	0.42	8.4 mm
MY50X-805		50X	13.0 mm	4 mm	0.55	4.4 mm

焦点距離200 mmのチューブレンズを使用した時
こちらの仕様は付属の波長板を取り付けた状態での値です。

M=倍率
WD=作動距離
EFL=有効焦点距離

PFL=同焦点距離
NA=開口数
OFN =光学視野数

Probe Body Options
Series	TP20	TP200	SP600
Sensor Type	Kinematic	Strain Gauge	Scanning
Application	Auto or Manual CMM, Suitable for Most Applications	Auto or Manual CMM with High Accuracy	High-Speed, Contact Form Scanning and Fast Point Measurement Applications
Renishaw Stylus Range	M2 Threaded	M2 Threaded	M3 Threaded
Module Changing Racks	Manual and Motorized

Renishaw^®タッチプローブ

当社のビデオシステムは、Renishaw社のTP20およびTP200シリーズの多くの3軸タッチトリガープローブ、およびSP600シリーズの3軸走査プローブに対応します。これらはキットとして販売されており、あらかじめビデオシステムに組み込まれています。各キットにはプローブ本体、プローブモジュールおよびオプションの手動交換用または自動交換用のモジュールチェンジラックが含まれます。

Renishaw製プローブモジュールのラインナップと仕様については下の表をご覧ください。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

TP20 Series Probe Options and Specifications^a
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	Trigger Force (N) (Stylus Length^a)		Overtravel Force (N) (Stylus Length^a)			Overtravel Displacement			Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	XY^b	Z	XY	+Z	-Z	XY (deg.)	+Z (mm)	-Z (mm)	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, +Z	±0.60 µm	±0.35 µm	0.055	0.65	0.09	1.15	N/A	±14	3.1	N/A	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)		±0.80 µm	±0.35 µm	0.08	0.75	0.2 - 0.3	3.5	N/A	±14	4	N/A
Medium Force (MF)		±1.00 µm	±0.50 µm	0.10 (25 mm)	1.9 (25 mm)	0.2 - 0.4 (25 mm)	7 (25 mm)	N/A	±14	3.7	N/A
Extended Force (EF)		±2.00 µm	±0.65 µm	0.10 (50 mm)	3.2 (50 mm)	0.2 - 0.5 (50 mm)	10 (50 mm)	N/A	±14	2.4	N/A
6 Way (6W)	±X, ±Y, ±Z	±1.50 µm	±1.00 µm	0.14	1.60	0.25	2.5	9	±14	4.5	1.5

特に記載がない場合は、長さ10 mmのスタイラスを使用して480 mm/分の速度で測定しています。
Low Force Direction

TP200 Series Probe Options and Specifications
Module	Sense Direction	Unidirectional Repeatability		XY Form Measurement Deviation		XYZ Form Measurement Deviation		Trigger Force (N)		Overtravel Force^a (N)		Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	XY^b	Z	XY	Z	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, ±Z	±0.40 µm	±0.50 µm	±0.80 µm	±0.90 µm	±1 µm	±1.4 µm	0.02	0.07	0.1 - 0.15	1.6	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)										0.2 - 0.4	4.9
Extended Overtravel (EO)										0.2 - 0.4	4.9

At a displacement of 0.50 mm.
Low Force Direction

SP600 Series Scanning Probe Options and Specifications
Module	Sense Direction	Measurement Range	Overtravel Range	Resolution	Spring Rate	Damping
SP600	±X, ±Y, ±Z	±1 mm^a	X, Y and -Z Protected by Kinematic Joint.	0.1 µm - 1 µm	120 gmf/mm in X, Y, Z (Nominal)	20% in X,Y,Z (Typical)

In All Axes and Orientations with a 50 mm long, 4.6 g Stylus.

レーザーセンサ

コノスコープホログラフィーレーザーセンサでは、出力ポートに交換可能な対物レンズを使用しますが、これでセンサの測定範囲が決定されます。一般的な2つの対物レンズを以下の表に記載しています。用途に応じた他のオプションもございます。三角測量方式レーザ変位センサでは対物レンズを使用せず、測定範囲をもとに選択されます。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。最も一般的に選択されるオプションは緑色でハイライト表示されています。

Triangulation Displacement Sensor Specifications
Measuring Range		25 mm	50 mm
Measuring Range Spread	Start (SMR)	25 mm	35 mm
	Mid (MMR)	27.5 mm	60 mm
	End (EMR)	50 mm	85 mm
Linearity^b		≤ ±0.08%	≤ ±0.08%
Repeatability at Measuring Rate		1 µm	2 µm
Measuring Rate		2 kHz
Spot Diameter (±10%)	SMR	100 x 140 µm	90 x 120 µm
	MMR	120 x 130 µm	230 x 240 µm
	EMR	390 x 500 µm	630 x 820 µm
	Minimum	55 x 50 µm	70 x 65 µm
Laser Power		< 1 mW
Laser Color		Red (670 nm)
Laser Safety Class		Class 2 in Accordance with DIN EN 60825-1 : 2008-05

上記以外の測定範囲にも対応可能ですので、ご要望の際は当社までお問い合わせください。
リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。

Conoscopic Holography Sensor Specifications
Included Objective Effective Focal Length^a	25 mm	50 mm
Measuring Range	1.8 mm	8 mm
Standoff	14 mm	44 mm
Linearity^b	±0.17%	±0.08%
Repeatability	0.06 µm	0.10 µm
X Laser Spot Size	27 µm	37 µm
Angular Coverage	150°	170°
Measurement Frequency	≤3000 Hz
Color	Red
Laser Safety Class	Class 2, IEC 60825-1:2007^c
Compatible Software	IK500

対物レンズは交換可能です。交換用の対物レンズもご用意していますので、ご要望の際は当社お問い合わせください。
リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。
31CFR 1040.10および1040.11 Class II - FDAに準拠

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ビデオ測定システム、マルチセンサー

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