電動垂直移動ステージ

Z軸移動専用の垂直移動ステージをご用意しています。電動垂直移動ステージには、1100 µmまでの高分解能移動が可能なピエゾステージ、移動範囲が4.5 mmのコンパクトなピエゾ慣性ステージ、当社の Microblock™、RollerBlock™、3軸NanoMax™ ステージとデッキ高(公称値)が同じ13 mm垂直移動ステージ、取付けプラットフォームが大きい移動量30 mmのDCサーボモーターステージ、そしてオプトメカニクスサブアセンブリの取付けに適し、50 mmのなめらかな高さ調整が可能な高荷重用ステージをご用意しています。