直角プリズム、直角を挟む2面にコーティング
![](https://www.thorlabs.co.jp/Images/GuideImages/12737_Leg_Coated_Prisms_4.jpg)
- Broadband Dielectric Coatings Available
for 400 - 750 nm or 750 - 1100 nm - Leg Dimensions from 5.0 mm to 20.0 mm
MRA20L-E02
(L = 20.0 mm)
MRA12L-E03
(L = 12.5 mm)
MRA10L-E03
(L = 10.0 mm)
MRA05L-E03
(L = 5.0 mm)
Application Idea
Our leg-coated prism mirrors can be used with a hollow roof prism mirror to create an optical delay line.
![](../../images/loading-red.gif)
Please Wait
![Right-Angle Prism Figure](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/RightAnglePrism_dwg_200.gif)
プリズムのサイズは直角を挟む辺の長さ、Lで定義されています。製品の全寸法については「仕様 」タブをご参照ください。
![Leg-Coated Prism Application](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/Leg_Coated_Prism_G1-300.gif)
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直角を挟む2面にコーティングが施されたこちらのプリズムミラーはオプティカルディレイラインの構成でご使用いただけます。
Right Angle Prism Mirror Selection Guide |
---|
Hypotenuse Coated |
Metallic Coatings (250 nm - 20 µm) |
Dielectric Coatings (400 nm - 1100 nm) |
Laser Line (532 nm and 1064 nm) |
Leg Coated |
Knife-Edge, Metallic and Dielectric Coatings (250 nm - 20 µm) |
Dielectric Coatings (400 nm - 1100 nm) |
特長
- 直角を挟む2面に誘電体ミラーコーティングが施された直角プリズム
- Ravg > 99%で、400~750 nmまたは750~1100 nmの2種類の広帯域誘電体コーティング
- 直角を挟む面の長さ:5.0 mm~20.0 mm
こちらの直角プリズムは、直角を挟む2面(脚面)に誘電体コーティングを施しており、開口部は各面で面積の70%以上を占めます。なお、開口は2つの面の間の縁は含まれておりません。こちらのプリズムミラーはN-BK7ガラス製で、400~750 nmまたは750~1100 nmの誘電体コーティング付きでご用意しております。2つのコーティングの反射率の詳細については「仕様」ならびに「グラフ」タブをご覧ください。
こちらのプリズムミラーはオプティカルディレイラインで、光学系の光路長の延長にご使用いただけます。左の図のように2つの対向伝搬する光を入射時に対して直交させ、平行な出射光にすることができます。 直交に分岐させるビーム、あるいは2つの入射光を直交させ合波する用途については当社のナイフエッジ直角プリズムのページをご覧ください。
プリズムの斜辺は研磨してありますが、コーティング工程で使用する接着層があるため、ミラーをレトロリフレクタとしてお使いいただくことはお勧めできません。レトロリフレクタを使用する用途向けには直角プリズムでコーティング無しのPS911K、あるいは当社のマウント付きならびにマウント無しレトロリフレクタをお勧めいたします。当社では斜面にコーティングが施された直角プリズムミラーもご用意しております。
![Prism Schematic](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/RightAnglePrism_Dwg-315.gif)
直角プリズム寸法
Common Specifications | |
---|---|
Substrate Material | N-BK7a |
Dimensional Tolerance | ±0.1 mm |
Surfaces Flatness | λ/10 @ 633 nm (Peak to Valley) |
Surfaces Quality | 10-5 Scratch-Dig |
Clear Aperture | > 70% of Face Length and Width |
45°-45°-90° Prism Angular Tolerance | ±3 arcmin |
Item # | La | Xa | Reflectance (Click for Graph) |
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Broadband Dielectric Coating: 400 nm - 750 nm | |||
MRA12L-E02 | 12.5 mm | 17.7 mm | Ravg > 99% (400 nm - 750 nm) |
MRA20L-E02 | 20.0 mm | 28.3 mm | |
Broadband Dielectric Coating: 750 nm - 1100 nm | |||
MRA05L-E03 | 5.0 mm | 7.1 mm | Ravg > 99% (750 nm - 1100 nm) |
MRA10L-E03 | 10.0 mm | 14.1 mm | |
MRA12L-E03 | 12.5 mm | 17.7 mm |
![Prism Schematic](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/Leg_Coated_Surfaces_D1-315.gif)
直角プリズムの図
下図は、当社の典型的なコーティングである400 nm~750 nm(-E02誘電体コーティング)、750 nm~1100 nm(-E03誘電体コーティング)の反射特性を示しています。グラフの網掛け部分は、このコーティングの反射率が非常に高いスペクトル範囲を示しています。ロット毎にバラツキがあるため、実際には、この推奨スペクトル範囲よりも広い範囲で高い反射率を示します。これらのデータについて疑問点がありましたら当社にお問い合わせください。これらの2種類の誘電体コーティングのスペクトル範囲をまたぐようなミラーが必要な場合には、 金属コーティングミラーをご検討ください。
400 nm~750 nm(-E02コーティング)
750 nm~1100 nm(-E03コーティング)
Damage Threshold Specifications | ||
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Coating Designation (Item # Suffix) | Type | Damage Threshold |
-E02 | Pulsed | 0.25 J/cm2 (532 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.803 mm) |
CWa,b | 550 W/cm (532 nm, Ø1.000 mm) | |
-E03 | Pulsed | 0.205 J/cm2 (800 nm, 99 fs, 1 kHz, Ø0.166 mm) 1 J/cm2 (810 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.133 mm) 0.5 J/cm2 (1064 nm, 10 ns, 10 Hz, Ø0.433 mm) |
CWa,b | 10 kW/cm (1070 nm, Ø0.971 mm) |
当社の広帯域誘電体ミラーの損傷閾値
右の仕様は当社の広帯域誘電体ミラーの測定値です。損傷閾値の仕様はコーティングの仕様が同じであればミラーのサイズや形状にかかわらず同じです。
レーザによる損傷閾値について
このチュートリアルでは、レーザ損傷閾値がどのように測定され、使用する用途に適切な光学素子の決定にその値をどのようにご利用いただけるかを総括しています。お客様のアプリケーションにおいて、光学素子を選択する際、光学素子のレーザによる損傷閾値(Laser Induced Damage Threshold :LIDT)を知ることが重要です。光学素子のLIDTはお客様が使用するレーザの種類に大きく依存します。連続(CW)レーザは、通常、吸収(コーティングまたは基板における)によって発生する熱によって損傷を引き起こします。一方、パルスレーザは熱的損傷が起こる前に、光学素子の格子構造から電子が引き剥がされることによって損傷を受けます。ここで示すガイドラインは、室温で新品の光学素子を前提としています(つまり、スクラッチ&ディグ仕様内、表面の汚染がないなど)。光学素子の表面に塵などの粒子が付くと、低い閾値で損傷を受ける可能性があります。そのため、光学素子の表面をきれいで埃のない状態に保つことをお勧めします。光学素子のクリーニングについては「光学素子クリーニングチュートリアル」をご参照ください。
テスト方法
当社のLIDTテストは、ISO/DIS 11254およびISO 21254に準拠しています。
初めに、低パワー/エネルギのビームを光学素子に入射します。その光学素子の10ヶ所に1回ずつ、設定した時間(CW)またはパルス数(決められたprf)、レーザを照射します。レーザを照射した後、倍率約100倍の顕微鏡を用いた検査で確認し、すべての確認できる損傷を調べます。特定のパワー/エネルギで損傷のあった場所の数を記録します。次に、そのパワー/エネルギを増やすか減らすかして、光学素子にさらに10ヶ所レーザを照射します。このプロセスを損傷が観測されるまで繰返します。損傷閾値は、光学素子が損傷に耐える、損傷が起こらない最大のパワー/エネルギになります。1つのミラーBB1-E02の試験結果は以下のようなヒストグラムになります。
![LIDT metallic mirror](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/LIDT_mirror1.jpg)
上の写真はアルミニウムをコーティングしたミラーでLIDTテストを終えたものです。このテストは、損傷を受ける前のレーザのエネルギは0.43 J/cm2 (1064 nm、10 ns pulse、 10 Hz、Ø1.000 mm)でした。
![LIDT BB1-E02](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/LIDT_ExposureHistogram.gif)
Example Test Data | |||
---|---|---|---|
Fluence | # of Tested Locations | Locations with Damage | Locations Without Damage |
1.50 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
1.75 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
2.00 J/cm2 | 10 | 0 | 10 |
2.25 J/cm2 | 10 | 1 | 9 |
3.00 J/cm2 | 10 | 1 | 9 |
5.00 J/cm2 | 10 | 9 | 1 |
試験結果によれば、ミラーの損傷閾値は 2.00 J/cm2 (532 nm、10 ns pulse、10 Hz、 Ø0.803 mm)でした。尚、汚れや汚染によって光学素子の損傷閾値は大幅に低減されるため、こちらの試験はクリーンな光学素子で行っています。また、特定のロットのコーティングに対してのみ試験を行った結果ではありますが、当社の損傷閾値の仕様は様々な因子を考慮して、実測した値よりも低めに設定されており、全てのコーティングロットに対して適用されています。
CWレーザと長パルスレーザ
光学素子がCWレーザによって損傷を受けるのは、通常バルク材料がレーザのエネルギを吸収することによって引き起こされる溶解、あるいはAR(反射防止)コーティングのダメージによるものです[1]。1 µsを超える長いパルスレーザについてLIDTを論じる時は、CWレーザと同様に扱うことができます。
パルス長が1 nsと1 µs の間のときは、損傷は吸収、もしくは絶縁破壊のどちらかで発生していると考えることができます(CWとパルスのLIDT両方を調べなければなりません)。吸収は光学素子の固有特性によるものか、表面の不均一性によるものかのどちらかによって起こります。従って、LIDTは製造元の仕様以上の表面の質を有する光学素子にのみ有効です。多くの光学素子は、ハイパワーCWレーザで扱うことができる一方、アクロマティック複レンズのような接合レンズやNDフィルタのような高吸収光学素子は低いCWレーザ損傷閾値になる傾向にあります。このような低い損傷閾値は接着剤や金属コーティングにおける吸収や散乱によるものです。
線形パワー密度におけるLIDTに対するパルス長とスポットサイズ。長パルス~CWでは線形パワー密度はスポットサイズにかかわらず一定です。 このグラフの出典は[1]です。
![Intensity Distribution](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/BeamDist_sm.gif)
繰返し周波数(prf)の高いパルスレーザは、光学素子に熱的損傷も引き起こします。この場合は吸収や熱拡散率のような因子が深く関係しており、残念ながらprfの高いレーザが熱的影響によって光学素子に損傷を引き起こす場合の信頼性のあるLIDTを求める方法は確立されておりません。prfの大きいビームでは、平均出力およびピークパワーの両方を等しいCW出力と比較する必要があります。また、非常に透過率の高い材料では、prfが上昇してもLIDTの減少は皆無かそれに近くなります。
ある光学素子の固有のCWレーザの損傷閾値を使う場合には、以下のことを知る必要があります。
- レーザの波長
- ビーム径(1/e2)
- ビームのおおよその強度プロファイル(ガウシアン型など)
- レーザのパワー密度(トータルパワーをビームの強度が1/e2の範囲の面積で割ったもの)
ビームのパワー密度はW/cmの単位で計算します。この条件下では、出力密度はスポットサイズとは無関係になります。つまり、スポットサイズの変化に合わせてLIDTを計算し直す必要がありません(右グラフ参照)。平均線形パワー密度は、下の計算式で算出できます。
ここでは、ビーム強度プロファイルは一定であると仮定しています。次に、ビームがホットスポット、または他の不均一な強度プロファイルの場合を考慮して、おおよその最大パワー密度を計算する必要があります。ご参考までに、ガウシアンビームのときはビームの強度が1/e2の2倍のパワー密度を有します(右下図参照)。
次に、光学素子のLIDTの仕様の最大パワー密度を比較しましょう。損傷閾値の測定波長が光学素子に使用する波長と異なっている場合には、その損傷閾値は適宜補正が必要です。おおよその目安として参考にできるのは、損傷閾値は波長に対して比例関係であるということです。短い波長で使う場合、損傷閾値は低下します(つまり、1310 nmで10 W/cmのLIDTならば、655 nmでは5 W/cmと見積もります)。
この目安は一般的な傾向ですが、LIDTと波長の関係を定量的に示すものではありません。例えば、CW用途では、損傷はコーティングや基板の吸収によってより大きく変化し、必ずしも一般的な傾向通りとはなりません。上記の傾向はLIDT値の目安として参考にしていただけますが、LIDTの仕様波長と異なる場合には当社までお問い合わせください。パワー密度が光学素子の補正済みLIDTよりも小さい場合、この光学素子は目的の用途にご使用いただけます。
当社のウェブ上の損傷閾値の仕様と我々が行った実際の実験の値の間にはある程度の差があります。これはロット間の違いによって発生する誤差を許容するためです。ご要求に応じて、当社は個別の情報やテスト結果の証明書を発行することもできます。損傷解析は、類似した光学素子を用いて行います(お客様の光学素子には損傷は与えません)。試験の費用や所要時間などの詳細は、当社までお問い合わせください。
パルスレーザ
先に述べたように、通常、パルスレーザはCWレーザとは異なるタイプの損傷を光学素子に引き起こします。パルスレーザは損傷を与えるほど光学素子を加熱しませんが、光学素子から電子をひきはがします。残念ながら、お客様のレーザに対して光学素子のLIDTの仕様を照らし合わせることは非常に困難です。パルスレーザのパルス幅に起因する光学素子の損傷には、複数の形態があります。以下の表中のハイライトされた列は当社の仕様のLIDT値が当てはまるパルス幅に対する概要です。
パルス幅が10-9 sより短いパルスについては、当社の仕様のLIDT値と比較することは困難です。この超短パルスでは、多光子アバランシェ電離などのさまざまなメカニクスが損傷機構の主流になります[2]。対照的に、パルス幅が10-7 sと10-4 sの間のパルスは絶縁破壊、または熱的影響により光学素子の損傷を引き起こすと考えられます。これは、光学素子がお客様の用途に適しているかどうかを決定するために、レーザービームに対してCWとパルス両方による損傷閾値を参照しなくてはならないということです。
Pulse Duration | t < 10-9 s | 10-9 < t < 10-7 s | 10-7 < t < 10-4 s | t > 10-4 s |
---|---|---|---|---|
Damage Mechanism | Avalanche Ionization | Dielectric Breakdown | Dielectric Breakdown or Thermal | Thermal |
Relevant Damage Specification | No Comparison (See Above) | Pulsed | Pulsed and CW | CW |
お客様のパルスレーザに対してLIDTを比較する際は、以下のことを確認いただくことが重要です。
エネルギ密度におけるLIDTに対するパルス長&スポットサイズ。短パルスでは、エネルギ密度はスポットサイズにかかわらず一定です。このグラフの出典は[1]です。
- レーザの波長
- ビームのエネルギ密度(トータルエネルギをビームの強度が1/e2の範囲の面積で割ったもの)
- レーザのパルス幅
- パルスの繰返周波数(prf)
- 実際に使用するビーム径(1/e2 )
- ビームのおおよその強度プロファイル(ガウシアン型など)
ビームのエネルギ密度はJ/cm2の単位で計算します。右のグラフは、短パルス光源には、エネルギ密度が適した測定量であることを示しています。この条件下では、エネルギ密度はスポットサイズとは無関係になります。つまり、スポットサイズの変化に合わせてLIDTを計算し直す必要がありません。ここでは、ビーム強度プロファイルは一定であると仮定しています。ここで、ビームがホットスポット、または他の不均一な強度プロファイルの場合を考慮して、おおよその最大パワー密度を計算する必要があります。ご参考までに、ガウシアンビームのときは一般にビームの強度が1/e2のときの2倍のパワー密度を有します。
次に、光学素子のLIDTの仕様と最大エネルギ密度を比較しましょう。損傷閾値の測定波長が光学素子に使用する波長と異なっている場合には、その損傷閾値は適宜補正が必要です[3]。経験則から、損傷閾値は波長に対して以下のような平方根の関係であるということです。短い波長で使う場合、損傷閾値は低下します(例えば、1064 nmで 1 J/cm2のLIDTならば、532 nmでは0.7 J/cm2と計算されます)。
波長を補正したエネルギ密度を得ました。これを以下のステップで使用します。
ビーム径は損傷閾値を比較する時にも重要です。LIDTがJ/cm2の単位で表される場合、スポットサイズとは無関係になりますが、ビームサイズが大きい場合、LIDTの不一致を引き起こす原因でもある不具合が、より明らかになる傾向があります[4]。ここで示されているデータでは、LIDTの測定には<1 mmのビーム径が用いられています。ビーム径が5 mmよりも大きい場合、前述のようにビームのサイズが大きいほど不具合の影響が大きくなるため、LIDT (J/cm2)はビーム径とは無関係にはなりません。
次に、パルス幅について補正します。パルス幅が長くなるほど、より大きなエネルギに光学素子は耐えることができます。パルス幅が1~100 nsの場合の近似式は以下のようになります。
お客様のレーザのパルス幅をもとに、光学素子の補正されたLIDTを計算するのにこの計算式を使います。お客様の最大エネルギ密度が、この補正したエネルギ密度よりも小さい場合、その光学素子はお客様の用途でご使用いただけます。ご注意いただきたい点は、10-9 s と10-7 sの間のパルスにのみこの計算が使えることです。パルス幅が10-7 sと10-4 sの間の場合には、CWのLIDTも調べなければなりません。
当社のウェブ上の損傷閾値の仕様と我々が行った実際の実験の値の間にはある程度の差があります。これはロット間の違いによって発生する誤差を許容するためです。ご要求に応じて、当社では個別のテスト情報やテスト結果の証明書を発行することも可能です。詳細は、当社までお問い合わせください。
[1] R. M. Wood, Optics and Laser Tech. 29, 517 (1997).
[2] Roger M. Wood, Laser-Induced Damage of Optical Materials (Institute of Physics Publishing, Philadelphia, PA, 2003).
[3] C. W. Carr et al., Phys. Rev. Lett. 91, 127402 (2003).
[4] N. Bloembergen, Appl. Opt. 12, 661 (1973).
Posted Comments: | |
Aaron Riede
 (posted 2019-11-13 03:09:48.053) Hi Thorlabs! Do you offer these leg-coated right angle prism mirrors also with metallic coating?
Best Aaron YLohia
 (posted 2019-11-13 10:58:41.0) Hello Aaron, thank you for contacting Thorlabs. Custom optics can be requested by emailing techsupport@thorlabs.com. We currently do not offer versions of these with metallic coatings. We do, however, offer metal-coated knife-edge right angle prism mirrors that can be used for the same applications here : https://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=6760 |
![Back to Top Back to Top](https://www.thorlabs.co.jp/images/arrow_Vert.gif)
![Limited Stock Icon](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/Limited_Stock_Icons_LF-50.png)
こちらの製品は在庫がなくなり次第、販売終了となり代替品はございません。こちらの製品をライン生産でお使いの場合は当社 までお問い合わせください。
- コーティング付き面の寸法が5.0 mm、10.0 mm、12.5 mmのサイズをご用意
- 平均反射率: >99% (750~1100 nm)
こちらの広帯域誘電体コーティング付き直角プリズムは、垂直入射あるいは45°反射向けです。仕様の波長範囲750~1100 nmにおいてS偏光ならびにP偏光の両方で性能を発揮します。こちらのミラーの典型的な性能について詳細は「グラフ」タブをご覧ください。各直角プリズムミラーの仕様の詳細については「仕様」タブをご参照ください。