電動アクチュエーター、DCサーボ(移動量12 mm)&ステッピングモーター(移動量13 mm)
- High-Precision Piezo Inertia Actuators
- Motorized Micrometer-Head Steppers
- Precision DC Servo Motor Actuators
- High-Load Precision Stepper Motor Actuators
ZST213
13 mm Travel
Stepper Motor Actuator
Z912V
12 mm Travel
DC Motor Actuator
ZFS13
13 mm Travel, Compact
Stepper Motor Actuator
PIA13VF
13 mm Travel
Piezo Inertia Actuator, Vacuum-Compatible
Please Wait
特長
- 小型で双極のステッピングモーターアクチュエータ:
- ZFS13: 収納時長さ89.5 mm
- ZFS13B: 収納時長さ85.5 mm
- 後部のつまみネジによる手動調整が可能
- アクチュエータ先端は非回転式
- 1/4"-80ネジ(ZFS13)、または3/8インチ(9.525 mm)取付けブロック(ZFS13B)付きのミラーマウントならびに移動ステージに対応
- 移動量6 mmならびに25 mmのタイプもご用意しております。
当社のアクチュエータZFS13ならびにZFS13Bは、完全収納時の長さがそれぞれ89.5 mm、85.5 mmのコンパクトで流線型のパッケージ内で、滑らかで精密な線形移動制御を実現します。 コンパクトな設計によってアクチュエータの端からオプトメカニクス部品までの距離が縮まり、質量の中心が上記のZSTシリーズのアクチュエータよりも接触点に近い位置になります。
小径で2相双極のステッピングモータ駆動により、これらのアクチュエータは最高速度2.0 mm/sで作動します。 アクチュエータ先端の接触点を非回転式にしたため、摩耗や摩擦が低減され、動作の滑らかさが改善されています。 アクチュエータに電源が供給されない場合、後部のつまみネジを使用して手動調整が可能です。 電源供給中につまみネジを回転させるとアクチュエータのモータが破損する恐れがありますのでご注意ください。
アクチュエータZFS13には、1/4"-80ネジ付きバレルがあり、1/4"-80ネジ付きステージ用の手動式ミラーマウントに取り付けることができます。一方、アクチュエータZFS13Bには、3/8インチ(9.525 mm)バレルがあり、幅広い移動ステージや回転ステージに取り付けることができます。 取り付ける際には、既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、ZFSシリーズのアクチュエータをねじ込んでください。
これらのアクチュエータにはステッピングモータが内蔵されており、最大荷重40 Nを移動させる十分なトルクを有しています。 移動範囲全体に渡り非常に小さいステップサイズを可能にしており、また、低いバックラッシュ(<15 µm)ならびに高分解能を有しております。 減速比400:9のギアヘッド設計によりアクチュエータを49,152マイクロステップ/回転の性能を持つステッピングモータードライバKST201と組み合わせると、理論的な移動量は1マイクロステップ毎に0.46 nmとなります(詳細については「計算」タブをご覧ください)。
Item # | ZFS13 | ZFS13B |
---|---|---|
Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (9.525 mm) Smooth |
Travel | 13 mm (0.51") | |
Backlasha | < 15.0 µm | |
Bidirectional Repeatability | < 5.0 µm | |
Home Location Accuracy | < 5.0 µm | |
Maximum Load Capacity | 40 N (8.99 lb) | |
Velocity | 2.0 mm/s (Max) | |
Acceleration | 10 mm/s2 (Max) | |
Gearbox Ratio | 400:9 (Approx. 44:1) | |
Limit Switches | Hall Effect Sensor | |
Lead Screw Pitch | 1.0 mm | |
Motor Type | 2-Phase Stepper | |
Microsteps per Revolution of the Motorb | 24 Full Steps, 2048 Microsteps per Full Step 49 152 Microsteps per Revolution | |
Calculated Minimum Incremental Motionc | 0.46 nm | |
Operating Temperature | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) | |
Dimensions (W x H) | 35.0 mm x 19.0 mm (0.38" x 0.75") | |
Length when Fully Retracted | 89.5 mm (3.52") | 85.5 mm (3.36") |
Cable Length | 0.6 m (2 ft) | |
Connector | HDDB15 | |
Required Controller | KST201 |
ホール効果リミットスイッチは、ユニットのオーバードライブを防ぎ、5.0 μm未満の確度でホーミングが可能です。 ZFSシリーズのアクチュエータには、当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンDサブコネクタ付きの0.6 m長のケーブルが付属します(「ピン配列」タブをご覧ください)。1 m長の延長ケーブル (PAA614)も別売りでご用意しております。
ZFS13Bには、高い公差の標準的な3/8インチ(9.525 mm)バレルがあり、当社の移動ステージMT1/Mをはじめとする多数の移動ステージや回転ステージに取り付けることができます。 ZFS13は、特に1/4"-80ネジ付き移動ステージならびにミラーマウント用の手動アジャスタの代用品として設計されています。 取り付ける際には、既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、ZFSシリーズのアクチュエータをねじ込んでください。 下の写真では、ステージMT1(/M)の手動アジャスタの代わりに電動アクチュエータZFS13Bが取り付けられています。
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手動アジャスタの代わりにアクチュエータZFS13Bを取付けたステージMT1/M
マイクロステップ毎の線形変位量の計算方法
ZFSシリーズモータの各製品の移動量は24フルステップ/回転で、ドライバKST201で駆動した場合では、移動量は2048マイクロステップ/フルステップ、よってモータ1回転の移動量は49,152マイクロステップとなります。 モータの出力軸のギア比は400:9となっています。 これは1.0 mmピッチの送りネジを1回転させるためにモータを44.445回転させる必要があることを意味しています。 最終的に送りネジを1.0 mm移動させるときを想定します。
マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量:
マイクロステップ数 x ギア比= 49,152 x 44.445 = 2184560.64
マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量は、
1.0 mm / 2184560.64 = 0.46 x 10-6 mm = 0.46 nm
となります。
ピン配列
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
コネクタのピン配列
Pin | Description | Pin | Description |
---|---|---|---|
1 | Limit Ground | 8 | Reserved for Future Use |
2 | CCW Limit Switch | 9 | Reserved for Future Use |
3 | CW Limit Switch | 10 | Vcc (+5 VDC) |
4 | Motor Phase B - | 11 | Reserved for Future Use |
5 | Motor Phase B + | 12 | Reserved for Future Use |
6 | Motor Phase A - | 13 | Reserved for Future Use |
7 | Motor Phase A + | 14 | Reserved for Future Use |
- | - | 15 | Ground |
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
Posted Comments: | |
user
 (posted 2024-09-26 12:01:22.587) Hi, is there a way to mount the PIA13 piezo inertia actuator to the MBT616D/M 3-Axis MicroBlock stage in place of one of its original actuators? I would be interested to motorize the vertical movement of the MicroBlock. dnewnham
 (posted 2024-10-04 11:08:23.0) Thank you for your inquiry, we do not recommend removing the drivers from the MBT616D/M stage so I would not recommend attempting to mount PIA13's to the MBT616D/M stage however I will reach out to you directly to discuss possible alternatives. chengyun hong
 (posted 2022-08-05 20:38:59.843) hello
we have the ZFS13B and the KST 101 in our lab, and we fixed this on the mirror mount to control the beam position in the 50X microscope.
We tried to use the jogging mode and change the beam position in ~0.5 um scale in OM but we find one problem that the jogging is not always working both for kinesis and APT software. It will stop for the first three clicks and after the fourth click, it will move. how can we fix this problem? I think the resolution of the stepper motor is much better than our demand. And I also want to ask how can we make more precise control of the stepper motor. what kinds of parameters we should change to make each step size the same? thank you so much! DJayasuriya
 (posted 2022-08-09 08:41:43.0) Thank you for your inquiry. We have got in touch with you directly to resolve your issue chengyun hong
 (posted 2022-05-20 18:01:39.78) Dear
I am chengyun Hong in SKKU. Korea Ji-Hee Kim lab.
In our lab we have ZFS13 and I tried to use the KST 101 to control it. And I downloaded the kinesis software but i faced the problem in rectify the ZFS13 in the kinesis software and can not change the defalt setting, which is HS ZST6. when i tried to add the custome setting, all step motter are locked and when i click hte ZFS13, and click creat, it will automatically change back to HS ZST6. Could you please tell us how to connect the ZFS13 with kinesis software? thank you so much! DJayasuriya
 (posted 2022-05-20 10:17:44.0) Thank you for your feedback. We have reached out to you directly to resolve your issue. DJayasuriya
 (posted 2022-05-20 10:17:44.0) Thank you for your feedback. We have reached out to you directly to resolve your issue. Chengyun Hong
 (posted 2022-04-06 14:09:15.0) Hello
I am chengyun hong from the Sungkyunkwan University, Korea.
We have two ZFS13 motorized mirror mount in our lab and now want to use it on the vertical mirror mount(1 inch mirror) to control the beam under OM.
But did not find any suitable vertical mirror mount for it. I think vertical mirror mount which can fix with 1/4"-80 Threaded Bushings is good to use the ZFS13, can we customize it?
Thank you so much DJayasuriya
 (posted 2022-04-08 09:26:26.0) Thank you for your inquiry. We have got in touch with you directly to discuss your application and set up. |
特長
- アクチュエータ先端は非回転式
- 双極のステッピングモーターアクチュエータ、長さ:123.0 mm
- 2つの取付けオプション: 滑らかなØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル、または1/4"-80ネジ付きバレル
- 1/4"-80ネジ、またはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付けブロック付きのミラーマウントならびに移動ステージに対応
- 移動量6 mmならびに25 mmのタイプもご用意しております。
当社のZSTシリーズのアクチュエータは、123.0 mm長のパッケージ内で滑らかで精密な線形移動制御を実現します。 小径で2相双極のステッピングモータ駆動により、このアクチュエータは最高速度2.0 mm/sで作動します。 アクチュエータ先端の接触点を非回転式にしたため、摩耗や摩擦が低減され、動作の滑らかさが改善されています。
これらのアクチュエータにはステッピングモータが内蔵されており、最大荷重40 Nを移動させる十分なトルクを有しています。 移動範囲全体に渡り非常に小さいステップサイズを可能にしており、また、低いバックラッシュ(<15 µm)ならびに高分解能を有しております。 減速比41:1のギアヘッド設計により、アクチュエータを3072マイクロステップ/回転の性能を持つステッピングモータードライバKST201と組み合わせると、理論的な移動量は1マイクロステップ毎に0.5 nmとなります(詳細については「計算」タブをご覧ください)。
アクチュエータZST213には、1/4"-80ネジ付きバレルがあり、1/4"-80ネジ付きステージ用の手動式ミラーマウントに取り付けることができます。一方、アクチュエータZT213Bには、Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルがあり、当社の移動ステージMT1/Mをはじめとする幅広い移動ステージや回転ステージに取り付けることができます。 取り付ける際には、既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、ZSTシリーズのアクチュエータをねじ込んでください。
Item # | ZST213 | ZST213B |
---|---|---|
Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (9.525 mm) Smooth |
Travel | 13 mm (0.51") | |
Backlasha | < 15 µm | |
Bidirectional Repeatability | < 5.0 µm | |
Home Location Accuracy | < 5.0 µm | |
Maximum Load Capacity | 40 N (8.99 lb) | |
Velocity | 2.0 mm/s (Max) | |
Acceleration | 10 mm/s2 (Max) | |
Gearbox Ratio | 29 791 : 729 (Approx. 41:1) | |
Limit Switches | Hall Effect Sensor | |
Lead Screw Pitch | 1.0 mm | |
Motor Type | 2-Phase Stepper | |
Microsteps per Revolution of the Motorb | 24 Full Steps, 2048 Microsteps per Full Step 49 152 Microsteps per Revolution | |
Calculated Minimum Incremental Motion | 0.5 nm | |
Operating Temperature | 5 to 40 °C (41 to 104 °F) | |
Cable Length | 0.6 m (2 ft) | |
Connector | HDDB15 | |
Required Controller | KST201 |
ホール効果リミットスイッチは、ユニットのオーバードライブを防ぎ、5.0 μm未満の確度でホーミングが可能です。 ZSTシリーズのアクチュエータには、当社のステッピングモーターコントローラKST201に対応する15ピンDサブコネクタ付きの0.6 m長のケーブルが付属します。1 m長の延長ケーブル (PAA614)も別売りでご用意しております。
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手動アジャスタの代わりに3つのアクチュエータZST213Bを取り付けた3軸ステージRB13(/M)
マイクロステップ毎の線形変位量の計算方法
ZST200シリーズモータの各製品の移動量は24フルステップ/回転で、ドライバKST201で駆動した場合では、移動量は2048マイクロステップ/フルステップとなります。 よって、モータ1回転の移動量は49,152マイクロステップとなります。 モータの出力軸のギア比は40.866:1となっています。 これは1.0 mmピッチの送りネジを1回転させるためにモータを40.866回転させる必要があることを意味しています。 最終的に送りネジを1.0 mm移動させるときを想定します。 マイクロステップ毎のアクチュエータの線形変位量は以下の式を用います。
マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量:
マイクロステップ数 x ギア比= 49,152 x 40.866 = 2,008,645.63
マイクロステップ毎の送りネジの線形変位量は、
1.0 mm / 2,008,645.63 = 0.49 x 10-6 mm = 0.5 nm
となります。
ピン配列
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
コネクタのピン配列
Pin | Description | Pin | Description |
---|---|---|---|
1 | Limit Ground | 8 | Reserved for Future Use |
2 | CCW Limit Switch | 9 | Reserved for Future Use |
3 | CW Limit Switch | 10 | Vcc (+5 VDC) |
4 | Motor Phase B - | 11 | Reserved for Future Use |
5 | Motor Phase B + | 12 | Reserved for Future Use |
6 | Motor Phase A - | 13 | Reserved for Future Use |
7 | Motor Phase A + | 14 | Reserved for Future Use |
- | - | 15 | Ground |
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
Posted Comments: | |
fwilliams
 (posted 2017-09-28 13:19:31.24) One last thing: I am running 32-bit APT User for use in a 64-bit environment. It's possible that Thorlabs has not updated this version of APT User to include the firmware updates for KST101's. All I can say is that my version (v3.21.1) only includes firmware v1.0.2 for the KST101.
At any rate, there is nothing more I can do here to alleviate the problem. As it is, the hardware fails to perform according to its own published specifications and is therefore unusable by me, at least in its current state. fwilliams
 (posted 2017-09-28 08:02:29.833) Sorry, I should've included the fact that I am already using the most-recent version of APT User (v3.21.1). Nonetheless, when I flash the firmware to the KST101, the firmware utility reports that the firmware revision level is v1.0.2, NOT v1.0.6. tfrisch
 (posted 2017-10-02 07:19:46.0) Hello, we will reach out to you through your open ticket to discuss this. fwilliams
 (posted 2017-09-26 15:30:53.1) FOLLOWUP: Using the firmware-update utility found in the APT User program folder, I determined that my KST101's are running firmware v1.0.2. However, in the APT User change log, the latest firmware for the KST101 is listed as v1.06, which includes the description: "Fixed bug to respond correctly when MoveStop commands are completed." It seems that I need this firmware update - how can I obtain it? bwood
 (posted 2017-09-28 08:10:31.0) Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. You can update the firmware of your KST101 with the Firmware Update Utility which is installed with APT. It should be found next to APT on your computer. I would recommend making sure you are using the newest version of APT, when you update the firmware. fwilliams
 (posted 2017-09-26 14:32:19.267) Now that I am using the ZST213 in my new system, I find that it drifts much more than the old ZST13 did. The ZST213 is less precise, and struggles at making small jogs (unlike the older actuator, which delivers repeatable and deterministic jogs of 75 nm all day). I am able to make a direct comparison between the two actuators, because I have an older system on the same bench that is identical except for the fact that it uses ZST13's instead of the newer ZST213. If I try to make a jog of 75 nm (say) with the ZST213, I often see no movement (other than an uncorrelated random drift). If I keep sending Jog commands, all of a sudden the system will move a significant distance, slowly coming to a stop. I have tried playing with the Jog settings (velocity, accn, immediate vs. profiles stopping, etc.), but nothing seems to improve the situation. I am using KST101 cubes to control the ZST213's. Is there a firmware fix for this problem? bwood
 (posted 2017-09-28 08:20:26.0) Please find my response above. fwilliams
 (posted 2017-06-28 11:08:39.82) Never mind - I figured out my problem. I had the wrong setting for the lead-screw pitch. I was using 0.5 mm (the pitch of the now-obsolete ZST13B) instead of the correct value of 1.0 mm for the ZST213B.
When I said in my earlier post that I use APT User, I actually run it from within a Matlab program that calls APT User. I developed this program with the old ZST13B. I'm now setting up a new system using this Matlab program, and had neglected to update the settings for the newer actuator.
Sorry about the confusion. tfrisch
 (posted 2017-07-01 11:40:20.0) Hello, thank you for this followup. I'm glad you were able to find a solution, please let us know if you need anything further. fwilliams
 (posted 2017-06-27 14:48:18.903) I am running a ZST213B with a KST101 controller, using the APT User interface. I am finding that the motion is completely uncalibrated. For example, after homing to zero, entering a command to move to 6 mm (say) will cause the actuator to move the full length of travel (i.e., ~ 13 mm). The only way I can get the actuator to move an approximately correct distance is to adjust down the Gearbox Ratio to something like 19 (it should be 41).
Just so there's no question, I ran APT Config before running the actuator with APT User, making sure to choose the proper stage designation ["ZST213(B)"] when I associated the stage with the controller's serial number.
Is there a way to get the actuator/controller to behave correctly? tfrisch
 (posted 2017-07-01 11:40:26.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. I see you were able to find a solution above. Please let us know if you need anything further. redwgn67
 (posted 2015-07-10 15:07:11.147) Is there an adapter fitting to convert the 1/4"-80 Threaded Barrel to a 3/8" Smooth Barrel? I'd really like to use one of these with either a mirror mount (needs 1/4"-80 threaded) or a translation stage (needs 3/8" smooth), rather than having to buy two. besembeson
 (posted 2015-09-23 11:11:12.0) Response from Bweh at Thorlabs USA: We don't have such an adapter at this time. |
Features
- DCサーボアクチュエータ
- サブマイクロメートルの分解能
- 最大動作速度:2.6 mm/s
- 移動量12 mmの様々な手動アクチュエータと交換可能
- 1/4”-80取付けネジまたはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)取付けバレルの付いたステージやマウントに取付け可能
- リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
- 移動量6 mmおよび25 mmのタイプもご用意
Item # | Z912 | Z912B |
---|---|---|
Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (9.5 mm) Smooth |
Travel Range | 12 mm (0.47") | |
Encoder Resolutiona | 34,555 counts/mm (Linear Displacement) | |
Maximum Pushing Force | 45 N | |
Homing Repeatability | ±6 µm | |
Uncompensated Backlash | 13 µm | |
Uncompensated Bidirectional Repeatability | ±7 µm | |
Residual Backlash After Compensationb | 0.7 µm | |
Compensated Bidirectional Repeatability | ±0.7 µm | |
Travel Accuracyc | 9 µm | |
Minimum Repeatable Incremental Movement | 0.2 µm | |
Maximum Speedd | 2.6 mm/s | |
Maximum Acceleration | 4 mm/s2 | |
Maximum Phase to Phase Resistance | 33.0 Ω (Max) | |
Maximum Phase to Phase Inductance | 0.6 mH (Max) | |
Tested Lifetimee | >100,000 Cycles | |
Operating Temperature Range | 41° to 104° F (5° to 40° C) | |
Weight | 0.13 kg | |
Motor Typef | DC Servo | |
Cable Length | 485.0 mm (19.09") | |
Required Controller | KDC101 |
当社の電動アクチュエータZ912およびZ912Bは、光学的な位置決め装置と組み合わせて使用するように設計されています。 これらの製品は軽量なパッケージながら高分解能であるため、光学実験を自動化する用途に適しています。
電子機械式のリミットスイッチにより、オーバードライブの防止と正確なホーミングの位置決めが可能です。内蔵されているモータは最大速度2.6 mm/sまで動作しますが、仕様に示す制御性能を得るために最大速度を2.3 mm/s以下に制限して駆動することをお勧めします。エンコーダの精度はモータ1回転あたり512カウントで、最小分解能は約29 nmになります。詳細は「計算」タブをご覧ください。
Z912は1/4"-80の取付けネジを有するステージやミラーマウントに付いている手動アジャスタの交換用品として設計されています。一方、Z912Bは3/8インチ(9.5 mm)バレルクランプ(MTシリーズ移動ステージにおける移動量12.7 mmの手動マイクロメータなど)にお使いいただくように設計されています。取り付ける際は、単純に既存の手動アジャスタをマウントから取り外し、Z9アクチュエータをねじ込んでください(下の写真参照)。
電導アクチュエータZ912、Z912Bのほかに、当社では
DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータに適したドライバです。最新のKinesisソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101をZ9シリーズアクチュエータと組み合わせてご使用いただくには、バージョン2.2.8以上のファームウェアが必要です(バージョン1.14.40以上のKinesisソフトウェアをダウンロードしていただくと付属しています)。旧バージョンのファームウェアでもZ9シリーズを駆動できますが、その場合、アクチュエータはZ8と呼ばれます。
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ミラーマウントKS2。片方のネジアジャスタがアクチュエータZ912に替えられています。
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移動ステージMT1(/M)。ネジアジャスタがアクチュエータZ912Bに替えられています。
エンコーダーカウントごとの線形変位の計算方法
Z912およびZ912Bには、モータ1回転につき512のエンコーダーカウントがあります。モータの出力軸のギアヘッド比は67.49:1となります。これにより、1.0 mmピッチの親ネジを1回転させるためにモータを67.49回転させます。その結果、親ネジは1.0 mm前進します。
エンコーダ1回転によるアクチュエータの線形変位は、次の式で示されます。
512 x 67.49 = 34,555 親ネジ1回転につき34,555エンコーダーカウント
エンコーダ1カウントによる親ネジの線形変位は、
1.0 mm / 34,555 counts = 2.9 x 10-5 mm (29 nm)
となります。
ピン配列
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
コネクタのピン配列
Pin | Description | Pin | Description |
---|---|---|---|
1 | Ground (Limit and Vcc) | 9 | Resistive Identification |
2 | Forward Limit | 10 | +5 VDC |
3 | Reverse Limit | 11 | Encoder Channel A |
4 | Reserved for Future Use | 12 | Reserved for Future Use |
5 | Motor (-) | 13 | Encoder Channel B |
6 | Reserved for Future Use | 14 | Pin 2 Ident EEPROM |
7 | Motor (+) | 15 | Pin 1 Ident EEPROM |
8 | Reserved for Future Use |
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
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R N
 (posted 2024-08-01 10:00:57.507) I am working in device units for position (controlling Z912 with KDC101). For position, the conversion between device units and real units (mm) is clear: 34555 device units is 1.0 mm, and device units are the same as the encoder counts.
How do I convert between device units and real units for velocity and acceleration (real units: mm/s, mm/s^2)? Can you include those device unit conversions in the manual or specifications to make it easier for people to use device units? dnewnham
 (posted 2024-08-08 04:36:24.0) Thank you for your feedback. To convert device units to real units for velocity the scaling factor is 772981.3692 (mm/s) and for converting from device units to real units for acceleration the scaling factor is 263.8443072 (mm/s^2). I will reach out to you to discuss this further. Dan Popovic
 (posted 2024-07-31 14:12:52.76) We are considering controlling the 12mm Travel DC Servo Motor Actuators with a Beckhoff PLC.
Would it be possible to get full motor specs, at least the maximum/nominal voltage and current?
Thank you spolineni
 (posted 2024-08-07 09:13:38.0) Thank you for reaching out to us. I will personally contact you soon to discuss your application and provide any assistance you may need. lsandstrom
 (posted 2010-02-12 14:06:25.0) What is the minimum bend radius for the cable that is mounted on the Z8? jens
 (posted 2009-09-18 16:44:49.0) A reply from Jens at Thorlabs: the Z612BV comes with the same connector. We decided to include the connector even though customers using the product in a vacuum chamber will usually need to cut the connector of in order to connect to the feedthrough. Reason for shipping the item with the connector is that it will allow the end user to easily test the device before implementing it into the setup. The cable itself is a PTFE coated ribbon cable. In order to achieve the best possible performance in a vaccuum chamber I would suggest that we offer a custom actuator with a longer ribbon cable. With this you wont need to use any cable connectors inside the chamber. david.moore22
 (posted 2009-09-18 16:17:59.0) Does the Z612BV come with the same ribbon connector as the original Z612? Do you provide extension ribbon cables? Thank you. |
Item # | Z912V | Z912BV |
---|---|---|
Mounting Barrel | 1/4"-80 Threaded | Ø3/8" (9.5 mm) Smooth |
Travel Range | 12 mm (0.47") | |
Encoder Resolutiona | 34,555 counts/mm (Linear Displacement) | |
Maximum Pushing Force | 45 N | |
Homing Repeatability | ±6 µm | |
Uncompensated Backlash | 13 µm | |
Uncompensated Bidirectional Repeatability | ±7 µm | |
Residual Backlash After Compensationb | 0.7 µm | |
Compensated Bidirectional Repeatability | ±0.7 µm | |
Travel Accuracyc | 9 µm | |
Minimum Repeatable Incremental Movement | 0.2 µm | |
Maximum Speedd | 2.6 mm/s | |
Maximum Acceleration | 4 mm/s2 | |
Maximum Phase to Phase Resistance | 33.0 Ω (Max) | |
Maximum Phase to Phase Inductance | 0.6 mH (Max) | |
Tested Lifetimee | > 100,000 Cycles | |
Operating Temperature Range | 41 to 104 °F (5 to 40 °C) | |
Vacuum Rating | 10-6 Torr | |
Weight | 80 g | |
Motor Typef | DC Servo | |
Cable Length | 485.0 mm (19.09") | |
Required Controller | KDC101 |
特長
- DCサーボアクチュエータ
- サブマイクロメートルの分解能
- 10-6 Torrまでの真空度に対応
- 最大動作速度:2.6 mm/s
- 移動量12 mmの様々な手動アクチュエータと交換可能
- 1/4"-80取付けネジまたはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル接続部の付いたステージやマウントに取付け可能
- リミットスイッチ付き(ゼロ点とアクチュエータ保護用)
- 移動量6 mmと25 mmの製品もご用意
アクチュエータZ912VとZ912BVは、上記のアクチュエータZ912と同様の特長と仕様を有しますが、さらに10-6 Torrまでの真空圧力下でご使用いただくことができます。真空対応のサーボモータ、リン青銅製の内部カップリング機構や取付けブッシュ、高真空用グリースなどが使用されています。
これらの真空対応のアクチュエータには、IDCコネクタの付いた、長さ485.0 mmの真空対応フラットリボンケーブルが付属しています。このケーブルの導線は標準的なAWG28、ピッチは1.27 mm、絶縁体はフッ化エチレンプロピレン(FEP)です。コントローラKDC101用のコンバーターケーブルも付属していますが、真空対応ではないため、チャンバの外でのみご使用ください。
移動量の異なる製品が必要な場合は、移動量6 mmおよび25 mmのアクチュエータをご覧ください。真空対応のステージやミラーマウントをご希望の場合は、当社までご相談ください。
DCサーボコントローラKDC101は、Z9シリーズのアクチュエータを駆動するのに必要なドライバです。最新のKinesisソフトウェアはこちらからダウンロードいただけます。KDC101を真空対応アクチュエータZ9シリーズに使用するには、ファームウェアバージョンは2.2.8以降、Kinesisソフトウェアバージョンは1.14.44以降であることが必要です。
エンコーダーカウントごとの線形変位の計算方法
Z912VおよびZ912BVには、モータ1回転につき512のエンコーダーカウントがあります。モータの出力軸のギアヘッド比は67.49:1となります。これにより、1.0 mmピッチの親ネジを1回転させるためにモータを67.49回転させます。その結果親ネジは1.0 mm前進します。
エンコーダ1回転によるアクチュエータの線形変位は、次の式で示されます。
512 x 67.49 = 34,555 親ネジ1回転につき34,555エンコーダーカウント
エンコーダ1カウントによる親ネジの線形変位は、
1.0 mm / 34,555 counts = 2.9 x 10-5 mm (29 nm).
となります。
Z912VおよびZ912BVに内蔵されている真空対応のケーブル端には、メス型10ピンIDCソケットコネクタが付いています。Z912VおよびZ912BVににはこのメス型IDCソケットコネクタをDタイプオス型HD 15ピンコネクタに変換する短いコンバーターケーブルが付属しているので、推奨のコントローラKDC101にアクチュエータを容易に接続できます。このコンバーターケーブル(右の写真には終端コネクタが表示されています)は、真空対応ではありません。メス型IDCソケットとDタイプオス型HDコネクタ(メス型IDCソケットコネクタ接続時)のピン配列は下の図をご参照ください。
ピン配列
10ピン メス型 IDCソケットコネクタ
(Amphenol社製T812シリーズ、
2.54 mmピッチ)
10ピン メス型 IDCコネクタのピン配列
Pin | Description | Pin | Description |
---|---|---|---|
1 | Motor (+) | 6 | Motor (-) |
2 | Vcc | 7 | Limit Ground |
3 | Channel A | 8 | Reverse Limit |
4 | Channel B | 9 | Forward Limit |
5 | Ground | 10 | Not Connected |
ピン配列
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
オス型 HDDB15コネクタのピン配列
Pin | Description | Pin | Description |
---|---|---|---|
1 | Ground (Limit and Vcc) | 8 | Reserved For Future Use |
2 | Forward Limit | 9 | Ident Resistor |
3 | Reverse Limit | 10 | Vcc (+5 VDC) |
4 | Reserved For Future Use | 11 | Encoder Channel A |
5 | Motor (-) | 12 | Reserved for Future Use |
6 | Reserved for Future Use | 13 | Encoder Channel B |
7 | Motor (+) | 14, 15 | Reserved For Future Use |
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コネクタにコンバーターケーブルを取り付けた様子。左図は高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ、右図は10ピン オス型 IDCソケットコネクタ。
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Andrew Chew
 (posted 2024-09-16 11:42:15.06) Hi, is the IDC to D type converter cable offered separately? I might have lost one of them. Thanks. cstroud
 (posted 2024-09-19 06:05:34.0) Thanks for reaching out. I will contact you directly to discuss this further. |
専用コントローラ
KIM001またはKIM101
- KIM001:シングルチャンネル出力
- KIM101:4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
- 上面パネルによる単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
- 出力電圧:85 V~125 V
Click for Details
スペースが限られている用途向けに制御用ケーブルの角度を最大110°まで調節可能
特長
- 移動ステージに取付け可能なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
- 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
- アジャスターネジのノブで手動調整が可能
- 最大動作電圧:125 V
- 高分解能な相対位置決めが求められる用途に適切
- 移動量25 mm、50 mmのタイプもご用意
当社のピエゾ慣性アクチュエータPIA13は、コンパクトなパッケージで、ピエゾ制御でも長い移動範囲を有しており、高分解能の直線移動を可能にします。最大荷重は2.5 kgまで、最大予備荷重は25 Nまでの範囲で10 nm~30 nm の典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101やKinesis®ソフトウェアを用いて最大30%(約30 nmまで)の調整が可能です。しかし開ループであるため、ヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変化する可能性があり、また一般的に再現性もありません。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。
アクチュエータにはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いているので、Ø3/8インチの取付け用クランプが付いたすべての手動式移動ステージに取り付け可能です。1/4”-80または 3/16"-100ネジ付きのミラーマウントには移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータが対応しています。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるので、ナノメートルレベルの分解能や長期にわたるアライメントの安定性を必要とする用途に適しています。ピエゾアクチュエータを使用してアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。
Item #a | PIA13 | |||
---|---|---|---|---|
Travel | 13 mm (0.51") | |||
Step Sizeb,c | 10 - 30 nm (Typ.), ≤30 nm (Max) | |||
Step Size Adjustabilityc | Up to 30% | |||
Max Step Frequencyd | 2 kHz | |||
Backlash | None | |||
Max Active Preloade | 25 N | |||
Recommended Max Axial Load Capacityf | 2.5 kg (5.5 lbs) | |||
Speed (Continuous Stepping)b,c | 1.2 - 3.6 mm/min (Typ.) ≤3.6 mm/min (Max) | |||
Drive Screw | 1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated | |||
Motor Type | Piezoelectric Inertia | |||
Mounting Feature | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel | |||
Operating Temperature | 10 to 40 °C (50 to 104 °F) | |||
Dimensions | 2.34" x 1.24" x 0.67" (59.5 mm x 31.5 mm x 17.0 mm) | |||
Cable Length | 1.0 m (3.28') | |||
Connector | SMC, Female | |||
Required Controllerg | KIM001 or KIM101 |
長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.6 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータにおける「スリップスティック」モータの設計に関する情報は、こちらからご覧いただけます。
必要なコントローラ
ピエゾ慣性アクチュエータPIA13を駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。このドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V~125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。コントローラKIM001はシングルチャンネル出力、KIM101は4チャンネル出力です。
詳細については、製品紹介ページをご参照ください。
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hufangze
 (posted 2018-11-28 16:34:01.297) ”由于一系列因素,比如应用条件,压电迟滞,组件差异和轴向负载等,所得的步长会有变化,而且无重复性。如要消除这种变化,需要使用一个外部反馈系统。“请问贵司在此提到的外部反馈系统是什么,能否详细说明一下,不胜感激。 user
 (posted 2017-04-04 05:46:30.73) Is it possible to convert a Z812B to Z812? By means of a mounting kit maybe bhallewell
 (posted 2017-04-04 09:35:33.0) Response from Ben at Thorlabs: This is not possible. You could upgrade a Z812 to hold a 3/8" barrel with F25SSA1 however not the other way around. |
専用コントローラ
KIM001またはKIM101
- KIM001:シングルチャンネル出力
- KIM101:4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
- 上面パネルによる単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
- 出力電圧:85 V~125 V
Item #a | PIA13VF |
---|---|
Travel | 13 mm (0.51") |
Step Sizeb,c | 10 - 30 nm (Typ.), ≤30 nm (Max) |
Step Size Adjustabilityd | Up to 30% |
Max Step Frequency | 2 kHz |
Backlash | None |
Max Active Preloade | 25 N |
Recommended Max Axial Load Capacityf | 2.5 kg (5.5 lbs) |
Speed (Continuous Stepping)b,c | 1.2 - 3.6 mm/min (Typ.), ≤3.6 mm/min (Max) |
Drive Screw | 1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated |
Motor Type | Piezoelectric Inertia |
Mounting Featureg (Auxiliary) | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel (3/8"-40 Thread with Lock Nut) |
Vacuum Rating | 10-6 Torr |
Operating Temperature | 5 to 40 °C |
Max Bakeout Temperature | 130 °C |
Dimensions | 2.34" x 1.24" x 0.67" (59.5 mm x 31.5 mm x 17.0 mm) |
Mass (Including Cable) | 55 g (1.94 oz) |
Cable Length | 0.75 m (2.46 ft) Flying Lead for Vacuum, 1.0 m (3.3 ft) Cored Cable for Wiring Outside Chamber |
Connector | SMC Female |
Required Controllerh | KIM001 or KIM101 |
特長
- 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
- アジャスターネジのノブで手動調整が可能
- 10-6 Torrまで対応
- 最大動作電圧:125 V
- 移動ステージに取付け可能なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
- 高分解能な相対位置決めが求められる用途に適切
- 移動量25 mm、50 mmのタイプもご用意
当社の真空対応ピエゾ慣性アクチュエータPIA13VFは10-6まで使用可能で、またコンパクトな真空対応パッケージながらピエゾ制御により長い距離を高分解能で直線移動することができます。最大荷重は2.5 kgまで、最大予備荷重は25 Nまでの範囲で10 nm~30 nmの典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101やKinesis®ソフトウェアを用いて最大30%(約30 nmまで)の調整が可能です。しかし開ループであるため、ヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変化する可能性があり、また一般的に再現性もありません。
アクチュエータにはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いているので、Ø3/8インチの取付け用クランプが付いたすべての手動式移動ステージに取り付け可能です。1/4"-100 ネジ付きミラーマウントに対応する製品としては、移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータがございます。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるので、ナノメートルレベルの分解能や長期にわたるアライメントの安定性を必要とする用途に適しています。ピエゾアクチュエータを使用してアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。
アクチュエータには長さ0.75 mのリード線が付いており、そのほかに真空チャンバの外での接続用に長さ1.0 mのケーブルが付属します。このリード線とケーブルは必要に応じて切断可能ですが、真空槽の内外あわせた全長は2.0 mを超えないようにしてください。上の写真のようにアクチュエータのリード線は最大110°まで回転できます。これはスペースの限られた場所で有用です。
長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.6 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータにおける「スリップスティック」モータの設計に関する情報は、こちらからご覧いただけます。
必要なコントローラ
ピエゾ慣性アクチュエータPIA13VFを駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。このドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V~125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。コントローラKIM001はシングルチャンネル出力、KIM101は4チャンネル出力です。
詳細については、 製品紹介ページをご参照ください。
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リード線の角度は最大110°まで調節可能(スペースが限られている用途で有用)
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特長
- 1.5 cc 注入器入りのApiezon100グリース
- 便利でムダのない低価格パッケージ
- アクチュエータの寿命を延長
- 使い易いスポイト入り
- 10-9 Torrまでの真空に対応
このApiezonグリースは、優れた焼き付き防止特性を備えています。潤滑性を高めるためのPTFEが含まれ、当社のZST、ZFS、Z9シリーズのアクチュエータの親ネジを再潤滑するのに適しています。この製品は使いやすい注入器入りで、汎用および10-9 Torrまでの真空用途の両方にお使いいただけます。適する動作温度は10~30°Cです。
注:アクチュエータZ9、ZFSおよびZSTの送りネジとエンドボールには、10,000サイクルごと、または動作中にきしみ音が聞こえたら潤滑油を差すことをお勧めします。
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DRV、ZSTおよびZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、Z9シリーズのDCサーボモーターアクチュエータには、コントローラへの接続用ケーブルが付属しています。当社では、エクステンション用としてご使用いただけるケーブルも別途ご用意しています。
ステッピングモータ用ケーブル
当社では様々なステッピングモーターアクチュエータとコントローラの接続にお使いいただけるケーブルをご用意しております。ZST、ZFSおよびDRVシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、BSCシリーズのベンチトップ型コントローラ、K-Cube™コントローラKST201、およびラック型制御モジュールMST602との間の接続をサポートしています。ステッピングモータとコントローラの組み合わせに対して使用可能なケーブルは、下の表をご参照ください。各ケーブルのピン配列は「ピン配列」タブに記載されています。これらのケーブルはコネクタが同じであっても、ピン配列が適合しないモータとコントローラにはお使いいただけませんのでご注意ください。
DCモータ用ケーブル
PAA632(2.5 m)は、Z9シリーズのDCモーターアクチュエータ用ケーブルです。このケーブルはK-Cube DCサーボモーターコントローラKDC101との接続用に作られています。ケーブルのピン配列は「ピン配列」タブに記載されています。 15ピンコネクタを使っていますが、当社のステッピングモータには対応していません。
|
ステッピングモータ用ケーブルPAA612とPAA613
DA15 オス D型 - DE15 メス D型
DA15 Male Pin | DE15 Female Pin | Description |
---|---|---|
11 and 12 | 1 | Limit Switch Ground |
10 | 2 | Reverse Limit Switch |
9 | 3 | Forward Limit Switch |
7 | 4 | Motor Phase B - |
14 | 5 | Motor Phase B + |
8 | 6 | Motor Phase A - |
15 | 7 | Motor Phase A + |
6 | 9 | Reserved for Future Use |
5 | 13 | 5 V |
ステッピングモータ用ケーブルPAA632
DE15 オス D型 - DE15 メス D型
DE15 Male Pin | DE15 Female Pin | Description |
---|---|---|
1 | 1 | Ground |
2 | 2 | Forward Limit Switch |
3 | 3 | Reverse Limit Switch |
5 | 5 | Motor - |
7 | 7 | Motor + |
10 | 10 | 5 V Encoder Supply |
11 | 11 | Encoder Channel A |
13 | 13 | Encoder Channel B |
ステッピングモータ用ケーブルPAA614
DE15 オス D型 - DE15 メス D型
DE15 Male Pin | DE15 Female Pin | Description |
---|---|---|
1 | 1 | Ground |
2 | 2 | CCW Limit Switch |
3 | 3 | CW Limit Switch |
4 | 4 | Motor Phase B - |
5 | 5 | Motor Phase B + |
6 | 6 | Motor Phase A - |
7 | 7 | Motor Phase A + |
10 | 10 | +5 VDC |
15 | 15 | Ground |
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