電動アクチュエーター、移動量50 mm
- Piezo Inertia or Stepper Actuators with 50 mm of Travel
- High Load Capacities
- No Backlash
Application Idea
Three LNR50DD Stages
in XYZ Configuration
with DRV250 Motors
DRV250
50 mm Travel
Stepper Motor Actuator
PIA50
50 mm Travel
Piezo Inertia Actuator
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特長
- LNR50シリーズのTravelMax™ステージ用に設計
- ±1.6 µmの1方向再現性
- 押力(最大値): 180 N
- プリロードによりバックラッシュを除去
- 非回転式の先端
- 移動量25 mmのタイプもご用意しております。
Key Specificationsa | |
---|---|
Travel Range | 50 mm (1.97") |
Unidirectional Repeatability | ±1.6 µm |
Bidirectional Repeatability | ±3.9 µm |
Maximum Pushing Forceb | 180 N |
Maximum Velocity | 50 mm/s |
Maximum Acceleration | 50 mm/s2 |
Limit Switches | Hall Effect |
Homing Repeatability | ±3.6 µm |
Feedback | Nonec |
Motor Type | 2-Phase Stepper Motor |
Full Step Angle | 1.8° |
Lead Screw Pitch | 1.0 mm |
Microsteps per Revolution | 409 600 |
Actuator Mass | 0.66 kg |
Compatible Controllersd | BSC201, BSC202, BSC203, or MST602 |
DRV250の移動量は50 mmで、±1.6 µmの1方向再現性があります。当社のステッピングモーターコントローラと使用すると、DRV250の最小ステップサイズは2.4 nm(理論値)、最大速度は50 mm/s得られます。
このハイブリッドステッピングモータのロータは50個の独立した磁極から構成されており、マイクロステッピングの用途に適しています。ステップ/回転が200から409,600に増加したことにより分解能が向上するだけでなく、1.8°のステップ角をずっと小さくすることによって滑らかで低速の移動、そしてより低い振動に実現します。
ステッピングモーターアクチュエータDRV250には、台形ネジがついており、標準的なネジに比べてより効率的な高荷重動作が可能となります。
このアクチュエータは当社の移動量50 mmのTravelMax手動ステージに対応します。ステージにDRV250を取り付ける際には、2つのM4キャップスクリュ(長さ40 mm、付属品)を使用してモータをステージの側面に取り付けてください。アクチュエータDRV250を使用時にTravelMaxステージをテーブルに固定する場合には、ベースプレートLNR50P4/Mが必要です。
ユニットにはステッピングモータをコントローラに接続する15ピンD型コネクタ付きケーブル(長さ500 mm)が付属します。長さ3 mのエクステンションケーブル(型番PAA613)も付属します。短いケーブルが必要な場合には、長さ1 mのケーブルPAA612を別途ご用意しています。
ピン配列
高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
15-Pin D-Sub Connector Pin Out
Pin | Description | Pin | Description |
---|---|---|---|
1 | Limit Grounda | 9 | Ident (for Future Use) |
2 | CCW Limit Switch | 10 | +5 V |
3 | CW Limit Switch | 11 | Reserved for Future Use |
4 | Motor Phase B- | 12 | Reserved for Future Use |
5 | Motor Phase B+ | 13 | +5 V |
6 | Motor Phase A- | 14 | Reserved for Future Use |
7 | Motor Phase A+ | 15 | Ground |
8 | Reserved for Future Use | - | - |
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高密度 Dタイプ オス型 15ピンコネクタ
Posted Comments: | |
Peter Hogg
 (posted 2021-08-27 13:23:46.94) I'm a graduate student who is trying to build a custom stage with a controller and parts I already have in the lab. I was wondering the compatibility of this actuator (DRV250) with a controller I already have (Sutter MP 285). I have the pin-out for the Sutter's driver and I am comfortable with creating custom wiring but want to make sure I of compatibility before purchasing anything. cwright
 (posted 2021-09-02 09:25:24.0) Response from Charles at Thorlabs: Thank you for your query. Unfortunately we are not able to support the use of third party controllers with our actuators and would recommend the use of BSC201 with the DRV250. wmwu
 (posted 2016-02-29 19:00:04.997) Dear Officer,
Is "Stepper Motor Drive (DRV014)" able to connect to the "Translation Stage(PT1A)", and to control its motion?
Thanks very much.
Best regards, Alan bwood
 (posted 2016-03-01 04:06:43.0) Response from Ben at Thorlabs: Thank you for your feedback. Unfortunately, the DRV014 is not compatible with the PT1A. Among other reasons, the DRV014 barrel size is too large (Ø12 mm) for the PT1A (Ø9.5 mm). The recommended stage to pair with the DRV014 are the 50 mm TravelMax™ stages, and the recommended actuators for the PT1A can be found under the "Actuator" tab on the PT1 series web page. |
推奨コントローラ
KIM001またはKIM101
- KIM001:シングルチャンネル出力
- KIM101:4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
- トップパネルによる単体での操作、またはUSB接続によるプラグアンドプレイでPC制御による操作が可能
- 出力電圧:85 V~125 V
Item #a | PIA50 | |||
---|---|---|---|---|
Travel | 50 mm (1.97") | |||
Typical Step Sizeb,c | 10 - 30 nm (Typ.), ≤30 nm (Max) | |||
Step Size Adjustabilityd | Up to 30% | |||
Max Step Frequency | 2 kHz | |||
Backlash | None | |||
Max Active Preloade | 25 N | |||
Recommended Max Axial Load Capacityf | 2.5 kg (5.5 lbs) | |||
Speed (Continuous Stepping)b,c | 1.2 - 3.6 mm/min (Typ.) ≤3.6 mm/min (Max) | |||
Drive Screw | 1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated | |||
Motor Type | Piezoelectric Inertia | |||
Mounting Feature | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel | |||
Operating Temperature | 10 to 40 °C (50 to 104 °F) | |||
Dimensions | 3.80" x 1.24" x 0.67” (96.6 mm x 31.5 mm x 17.0 mm) | |||
Cable Length | 1.0 m (3.28') | |||
Connector | SMC, Female | |||
Required Controllerg | KIM001 or KIM101 |
特長
- Ø3/8インチ(Ø9.525 mm)取付けバレルを使用して移動ステージに取付け可能
- 31.5 mm x 17.0 mm (W x H)の小型設計
- 後部のつまみネジによる手動調整が可能
- 最大動作電圧:125 V
- 移動量13 mm、25 mmのタイプもご用意
- 高分解能の相対位置決めが必要とされる設定や保持の用途に対応
- スペースが限られている用途向けに、制御ケーブルの角度は最大110°まで調節可能
当社のピエゾ慣性アクチュエータPIA50は、コンパクトなパッケージで、ピエゾ制御でも長い移動範囲を有しており、高分解能の直線移動を可能にします。最大2.5 kgまでの耐荷重です。また、バックラッシュなしで典型的なステップ10 nm~30 nmを実現するため、最大30 Nのプリロードを付与できます。コントローラKIM101および Kinesis®ソフトウェアを用いて、刻み幅を30%まで、最大約30 nmまでの調整が可能です。しかし開ループであるため、ヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変化する可能性があり、また一般に再現性もありません。この変化に対応するために外部フィードバックシステムが必要です。
また、このアクチュエータには当社の様々な移動および回転ステージに対応できるように前面に3/8"-40ネジの付いたØ3/8インチ(Ø9.525 mm)の取付けバレルも付いています。 1/4"-80または3/16"-100ネジ付きのミラーマウントには移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータが対応しています。 このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるので、ナノメートルレベルの分解能や長期にわたるアライメントの安定性を必要とする用途に適しています。ピエゾ素子の駆動中以外はいつでも、後部のつまみネジまたは2 mm六角レンチを使用して手動調整を行うことができます。
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スペースが限られている用途向けに制御ケーブルの角度を最大110°まで調節可能
長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.5 mm/minで作動します。ピエゾモータは、移動中に親ネジの先端を回転させる設計となっています。ピエゾ慣性「スリップスティック」モーターアクチュエータの設計に関する情報は、こちらからご覧いただけます。
必要なコントローラ
当社のピエゾ慣性アクチュエータPIA50の駆動にはK-Cubeピエゾ慣性コントローラが必要です。標準的なピエゾコントローラではこのアクチュエータを駆動することはできません。K-Cubeコントローラには鋸波電圧信号発生器が内蔵されています。これにより、85 V~125 Vの振幅を有し、サブミリ秒のパルスを出力可能です。また、シングルチャンネルドライバのほかにも、1チャンネルまたは2チャンネル動作動作が可能な4チャンネルコントローラがあるので、ビームステアリングのように複数の電動式アクチュエータを使用する用途に適しています。
詳細は製品紹介ページをご覧ください。
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必要なコントローラ:
KIM001またはKIM101
- KIM001:シングルチャンネル出力
- KIM101:4チャンネル出力、多チャンネルの操作が可能
- 上面パネルによる単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
- 出力電圧:85 V~125 V
Item #a | PIA50VF |
---|---|
Travel | 50 mm (1.97") |
Step Sizeb,c | 10 - 30 nm (Typ.), ≤30 nm (Max) |
Step Size Adjustabilityd | ≤30% |
Max Step Frequency | 2 kHz |
Backlash | None |
Max Active Preloade | 25 N |
Recommended Max Axial Load Capacityf | 2.5 kg (5.5 lbs) |
Speed (Continuous Stepping)b,c | 1.2 - 3.6 mm/min (Typ.), ≤3.6 mm/min (Max) |
Drive Screw | 1/4"-80 Thread, Hard PVD Coated |
Motor Type | Piezoelectric Inertia |
Mounting Featureg (Auxiliary) | Ø3/8" (Ø9.525 mm) Barrel (3/8"-40 Thread with Lock Nut) |
Vacuum Rating | 10-6 Torr |
Operating Temperature | 5 to 40 °C |
Max Bakeout Temperature | 130 °C |
Dimensions | 97.0 mm x 31.5 mm x 17.0 mm (3.82" x 1.24" x 0.67") |
Mass (Including Cable) | 65 g (2.29 oz) |
Cable Length | 0.75 m (2.46 ft) Flying Lead for Vacuum, 1.0 m (3.3 ft) Cored Cable for Wiring Outside Chamber |
Connector | SMC Female |
Required Controllerh | KIM001 or KIM101 |
特長
- 31.5 mm x 17.0 mm(W x H)の小型設計
- アジャスターネジのノブで手動調整が可能
- 10-6 Torrまでの真空度に対応
- 最大動作電圧:125 V
- 移動ステージに取付け可能なØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレル
- 高分解能での相対位置決めが求められる用途に適した製品
- 移動量13 mmおよび25 mmの製品もご用意
当社の真空対応ピエゾ慣性アクチュエータPIA50VFは10-6 Torrまでの真空度に対応しており、またコンパクトな真空対応パッケージながらピエゾ制御により長い距離を高分解能で直線移動することができます。最大荷重2.5 kgまで、最大予備荷重25 Nまでの範囲で20 nmの典型的なステップサイズが得られ、またバックラッシュも生じません。このステップサイズは、コントローラKIM101とKinesis®ソフトウェアを用いて最大30%(約30 nmまで)の調整が可能です。しかし開ループであるため、ピエゾのヒステリシスや動作方向などの使用条件によって、システムのステップサイズは最大20%程度変動する可能性があり、また一般に再現性もありません。この変動を除去するには外部フィードバックシステムが必要です。
このアクチュエータにはØ3/8インチ(Ø9.525 mm)バレルが付いているため、Ø3/8インチの取付け用クランプが付いたすべての手動式移動ステージに取り付けられます。1/4"-100ネジ付きミラーマウントに対応する製品としては、移動量10 mmのピエゾ慣性アクチュエータがございます。このアクチュエータは、システム静止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期安定性が必要とされる用途に適しています。ピエゾアクチュエータを用いてアクティブにネジを移動させていないときは、アジャスターネジのノブを用いて手動調整が可能です。ノブは2.0 mm六角レンチでも操作できます。
アクチュエータには長さ0.75 mのリード線が付いており、そのほかに真空チャンバの外での接続用に長さ1.0 mのケーブルが付属しています。このリード線とケーブルは必要に応じて切断可能ですが、真空槽の内外を合わせた全長は2.0 mを超えないようにしてください。下の写真のようにアクチュエータのリード線は最大110°まで回転できます。この機能はスペースの限られた場所で有用です。
長さ10 mmの多段チップ型ピエゾアクチュエータにより、このアクチュエータは最大速度3.6 mm/minで動作します。このピエゾモータは、移動中は送りネジの先端を回転させるように設計されています。ピエゾ慣性アクチュエータを用いた「スリップスティック」モータの設計については、こちらをご覧ください。
必要なコントローラ
ピエゾ慣性アクチュエータPIA13VFを駆動するには、コントローラKIM001またはKIM101が必要です。標準的なピエゾコントローラでは、このアクチュエータを駆動することはできません。これらのドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V~125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。コントローラKIM001はシングルチャンネル出力、KIM101は4チャンネル出力です。
詳細は製品紹介ページをご参照ください。
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リード線の角度は最大110°まで調節可能(スペースが限られている用途で有用)。
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DRV、ZSTおよびZFSシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、Z9シリーズのDCサーボモーターアクチュエータには、コントローラへの接続用ケーブルが付属しています。当社では、エクステンション用としてご使用いただけるケーブルも別途ご用意しています。
ステッピングモータ用ケーブル
当社では様々なステッピングモーターアクチュエータとコントローラの接続にお使いいただけるケーブルをご用意しております。ZST、ZFSおよびDRVシリーズのステッピングモーターアクチュエータと、BSCシリーズのベンチトップ型コントローラ、K-Cube™コントローラKST201、およびラック型制御モジュールMST602との間の接続をサポートしています。ステッピングモータとコントローラの組み合わせに対して使用可能なケーブルは、下の表をご参照ください。各ケーブルのピン配列は「ピン配列」タブに記載されています。これらのケーブルはコネクタが同じであっても、ピン配列が適合しないモータとコントローラにはお使いいただけませんのでご注意ください。
DCモータ用ケーブル
PAA632(2.5 m)は、Z9シリーズのDCモーターアクチュエータ用ケーブルです。このケーブルはK-Cube DCサーボモーターコントローラKDC101との接続用に作られています。ケーブルのピン配列は「ピン配列」タブに記載されています。 15ピンコネクタを使っていますが、当社のステッピングモータには対応していません。
|
ステッピングモータ用ケーブルPAA612とPAA613
DA15 オス D型 - DE15 メス D型
DA15 Male Pin | DE15 Female Pin | Description |
---|---|---|
11 and 12 | 1 | Limit Switch Ground |
10 | 2 | Reverse Limit Switch |
9 | 3 | Forward Limit Switch |
7 | 4 | Motor Phase B - |
14 | 5 | Motor Phase B + |
8 | 6 | Motor Phase A - |
15 | 7 | Motor Phase A + |
6 | 9 | Reserved for Future Use |
5 | 13 | 5 V |
ステッピングモータ用ケーブルPAA632
DE15 オス D型 - DE15 メス D型
DE15 Male Pin | DE15 Female Pin | Description |
---|---|---|
1 | 1 | Ground |
2 | 2 | Forward Limit Switch |
3 | 3 | Reverse Limit Switch |
5 | 5 | Motor - |
7 | 7 | Motor + |
10 | 10 | 5 V Encoder Supply |
11 | 11 | Encoder Channel A |
13 | 13 | Encoder Channel B |
ステッピングモータ用ケーブルPAA614
DE15 オス D型 - DE15 メス D型
DE15 Male Pin | DE15 Female Pin | Description |
---|---|---|
1 | 1 | Ground |
2 | 2 | CCW Limit Switch |
3 | 3 | CW Limit Switch |
4 | 4 | Motor Phase B - |
5 | 5 | Motor Phase B + |
6 | 6 | Motor Phase A - |
7 | 7 | Motor Phase A + |
10 | 10 | +5 VDC |
15 | 15 | Ground |
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