精密ピンホールと光学スリット
当社では、精密ピンホール用のホイル素材として、黒色化ステンレススチール、金メッキ銅、タングステン、またはモリブデンを用いています。ステンレススチール製ホイルのピンホールは、光の吸収率を高めるために両面を黒色化処理しており、標準品としてØ1 µm～Ø9 mmの円形ピンホールと、100 µm x 100 µm～1 mm x 1 mmの正方形ピンホールをご用意しています。黒色PVDコーティング付きのステンレススチール製ピンホールは、直径5 μm～2 mmのピンホールをご用意しており、これらは真空にも対応しております。金メッキ銅製ホイルのピンホールは直径5 µm～2 mmのピンホールがあり、これらは片面が金メッキ、その反対面は黒色PVD加工されています。タングステン製ホイルのピンホールはコーティング処理されておらず、直径5 µm～2 mmのピンホールでご用意しております。モリブデン製ホイルのピンホールは直径5 µm～2 mmのピンホールをご用意しており、これらの前面には光吸収性ポリマがコーティングされています。 当社では、黒色化ステンレススチール製ホイルの光学スリットも、標準品として幅5～200 µmのスリットでご用意しております。

標準品のピンホールやスリットの中に用途に合う製品がない場合は、特注も承ります。材料、穴のサイズや形状の変更のほか、1つのホイルに複数の穴を加工したり、異なるピンホールの配列を構成したりすることも可能です。詳細は当社までお問い合わせください。ピンホールの材料特性については下の表をご覧ください。

材料特性
用途によってはピンホールまたはスリットの材料特性を考慮することが重要な場合があります。下の表に示すように、開口部の材料によってその融点、密度、熱伝導率などが異なります。　

• ステンレススチール製のピンホールとスリットは、光の吸収率を大きくするために両面が黒色化処理されています。材料特性は主にバルクのステンレススチールの特性によって決定されます。　.
• 金メッキ銅製のピンホールは、片面の銅基板に金が薄くコーティングされています。この面にビームが入射したとき、反射率は金の特性(77% @800 nm)になりますが、熱的な特性は主に基材の銅によって決定されます。
• モリブデン製ピンホールの前面には光吸収性のコーティングが施されています。材料特性は主にバルクのモリブデンの特性によって決定されます。
• 損傷閾値データはここに掲載されているバルク材のみを参照しています。

反射率
ホイル材料やコーティングの反射率は、様々なアプリケーションにおける性能に影響を及ぼします。下のグラフは、当社の円形や正方形の精密ピンホールと、マウント付き光学スリットに用いられている材料やコーティングの反射率を示しています。生データはこちらからダウンロードいただけます。

金メッキ銅ホイル製の円形精密ピンホールの前面は、低反射の黒色PVDコーティングが施されています。背面は銅ホイルを金メッキした状態のままです。モリブデン製ホイルの円形ピンホールも、前面には低反射の光吸収性ポリマがコーティングされていますが、背面はコーティングされていません。　

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図1: 実験セットアップ上の黄色い四角で囲まれたエリアにビーム円形化システムを設置

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図4: 空間フィルターシステム

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図3: アナモルフィックプリズムペアシステム

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図2: シリンドリカルレンズペアシステム

楕円ビームの円形化技術の比較　

端面発光型半導体レーザは、発光開口部の断面が長方形になっているため、楕円形のビームを出射します。開口部の短辺から出射されるビーム成分は、これに直交するビーム成分よりも大きな広がり角を有します。一方のビーム成分がもう一方よりも大きく拡散するため、ビームの形状は円形ではなく楕円形になります。

楕円形のビーム形状は、円形のビームよりも集光ビームのスポットサイズが大きいことで放射照度(面積あたりのパワー)が低くなってしまいます。楕円ビームを円形化する技術は複数ありますが、ここではシリンドリカルレンズ、アナモルフィックプリズムのペア、空間フィルタを利用した3種類の方法で実験を行い性能を比較しています。 円形化されたビームの特性は、M²測定、波面測定、伝送パワー測定によって評価しました。

これらの円形化技術によって楕円形の入射ビームの真円度は向上しますが、それぞれの技術ごとに円形化やビーム品質および伝送パワーの特性が異なることを示しました。この「実験データ」タブ内に記載されている結果から、用途に必要な要件を満たした円形化技術を選択するべきである事がわかりました。

実験の設計とセットアップ

この実験セットアップは図1の写真で示されています。図2～4では温度制御された670 nm半導体レーザからの楕円コリメート光をそれぞれの円形化システムに入射させています。コリメートにより、広がり角は小さくなりますが、ビーム形状はレーザ出力時と変わりません。各システムは下記の光学系をベースに構成されています。

• 平凸シリンドリカルレンズLJ1874L2-AおよびLJ1638L1-A(図2)
• マウント無しアナモルフィックプリズムペアPS873-A(図3)
• 空間フィルターシステムKT310(旧製品)および Ø5 µm ピンホールP5S(旧製品)

ビーム円形化システム(右写真参照)を黄色い四角で囲まれた空きスペースに1台ずつ設置しました。このようにすることでそれぞれの円形化技術を同じ実験条件で評価できるため、実験結果を直接比較することができます。この実験上の制約により取り付け方法も制約されるため、コンパクト化という点では最適化されていません。またアナモルフィックプリズムペアについても、より便利で光学的にも調整されたマウント済みの製品を使わずに、マウント無しの製品を用いています。

それぞれの円形化システムから出射されたビームの特性は、パワーメータ、波面センサならびにM²システムを使用して測定を行い、評価されました。例示目的のため、実験セットアップの写真内、テーブルの右側に、これらの評価機器がすべて表示されていますが、評価は1種類ずつ行います。 パワーメータは、ビーム円形化システムが入射ビームの強度をどの位減衰させるのかを測定するために使用します。波面センサは、出射ビームの収差を測定するために使用します。M²システムは出力ビームのビーム品質(理想のガウシアンビームからの劣化具合)の測定に使用します。円形化システムはレーザービームの減衰もされず、収差も生じず、完全なガウシアンビームを出射することが理想的です。

端面発光型半導体レーザからの発光には非点隔差があるため、直交するビーム成分の変位した焦点をオーバーラップで望ましい形状が得られます。ここで調査している3種類の円形化技術のうち、シリンドリカルレンズペアのみが非点収差も補償することができます。直交するビーム成分の焦点間の変位はこれらすべての円形化技術で測定できます。シリンドリカルレンズペアの場合、構成を調整することでレーザービーム内の非点収差を最小限に抑えます。この非点収差は規格化しています。　

実験結果

実験結果を下の表にまとめています。緑色のセルは各カテゴリ内における最も良い結果を示しています。円形化の方法にはそれぞれの利点があります。用途に最適な円形化技術は、ビーム品質、伝送パワー、セットアップの制約に対するシステムの要件によって決まります。

空間フィルタは真円度とビーム品質を著しく向上させますが、ビームの伝送パワーは低くなります。シリンドリカルレンズペアは、伝送ビームを綺麗な円形にし、バランスの良い円形およびビーム品質を実現します。また、シリンドリカルレンズペアはビームの非点収差のほとんどを補償します。アナモルフィックプリズムペアによるビームの真円度はシリンドリカルレンズペアによる真円度と比較しても遜色ありません。シリンドリカルレンズと比較して、プリズムからの出力ビームのM²値は小さく、波面誤差は少なくなりますが、伝送パワーはやや低くなります。

Method	Beam Intensity Profile	Circularitya	M2 Values	RMS Wavefront	Transmitted Power	Normalized  Astigmatismb
Collimated Source Output (No Circularization Technique)	Click to Enlarge Scale in Microns	0.36	X Axis: 1.28 Y Axis: 1.63	0.17	Not Applicable	0.67
Cylindrical Lens Pair	Click to Enlarge Scale in Microns	0.84	X Axis: 1.90 Y Axis: 1.93	0.30	91%	0.06
Anamorphic Prism Pair	Click to Enlarge Scale in Microns	0.82	X Axis: 1.60 Y Axis: 1.46	0.16	80%	1.25
Spatial Filter	Click to Enlarge Scale in Microns	0.93	X Axis: 1.05 Y Axis: 1.10	0.10	34%	0.36

• 真円度(Circularity)=d_minor/d_major、ここでd_minorとd_majorは対応する楕円(強度：1/e)の長径と短径を表し、真円度 = 1は完全な円形ビームを表します。
• 規格化された非点収差(Normalized Astigmatism)はビームの2つの直交する成分のウェスト位置の差で、ウェストが小さい方のビーム成分のレイリ長で割った値です。　

円形化システムに使用されている部品は、同じ実験セットアップで全ての実験を行えるように選択されています。これにより、全ての円形化技術を直接比較することができます。ただし、円形化システムのセットアップを個別に最適化した方が性能は向上します。コリメートレンズおよびアナモルフィックプリズムペア用のマウントを使用すると、操作や実験システムへの取り付けが簡単に行えます。小型のマウントを使用して、それぞれのペア同士をより精密に設置して、実験結果を向上させることもできます。 また、焦点距離をカスタマイズした受注生産品のシリンドリカルレンズを使用して、シリンドリカルレンズペアの円形化システムの実験結果を向上させることもできます。ビームプロファイルソフトウェアのアルゴリズムを用いて、真円度の計算に使用するビーム半径を決定すると、全ての実験結果に影響を与えます。

追加情報

この実験で使用したコンポーネントの選択および構築方法についての情報は、下記のリンクをクリックしてご覧いただけます。

• 半導体レーザの取付け
• 半導体レーザの駆動
• コリメートレンズの選択
• 非球面レンズ
• 空間フィルタ

Apertures Selection Guide
Aperture Type	Representative Image (Click to Enlarge)	Description	Aperture Sizes Available from Stocka
Single Precision Pinholesa		Circular Pinholes in Stainless Steel Foils	Ø1 µm to Ø9 mm
		Circular Pinholes in Stainless Steel Foils, Vacuum Compatible	Ø5 µm to Ø2 mm
		Circular Pinholes in Gold-Plated Copper Foils	Ø5 µm to Ø2 mm
		Circular Pinholes in Tungsten Foils	Ø5 µm to Ø2 mm
		Circular Pinholes in Molybdenum Foils	Ø5 µm to Ø2 mm
		Square Pinholes in Stainless Steel Foils	100 to 1000 µm Square
Slitsa		Slits in Stainless Steel Foils	3 mm Slit Lengths: 5 to 200 µm Widths 10 mm Slit Lengths: 20 to 200 µm Widths
		Double Slits in Stainless Steel Foils	3 mm Slit Lengths with 40, 50, or 100 µm Widths, Spacing of 3X or 6X the Slit Width
Annular Apertures		Annular Aperture Obstruction Targets on Quartz Substrates with Chrome Masks	Ø1 mm Apertures with ε Ratiosb from 0.05 to 0.85 Ø2 mm Aperture with ε Ratiob of 0.85
Pinhole Wheels		Manual, Mounted, Chrome-Plated Fused Silica Disks with Lithographically Etched Pinholes	Each Disk has 16 Pinholes from Ø25 µm to Ø2 mm and Four Annular Apertures (Ø100 µm Hole, 50 µm Obstruction)
		Motorized Pinhole Wheels with Chrome-Plated Glass Disks with Lithographically Etched Pinholes	Each Disk has 16 Pinholes from Ø25 µm to Ø2 mm and Four Annular Apertures (Ø100 µm Hole, 50 µm Obstruction)
Pinhole Kits		Stainless Steel Precision Pinhole Kits	Kits of Ten Circular Pinholes in Stainless Steel Foils Covering Ø5 µm to Ø9 mm

• 精密シングルピンホールとスリットの開口サイズ、ホイル材料、形状、およびピンホール配置は、特注で変更することも可能です。詳細は当社までお問い合わせください。
• オブストラクション径のピンホール径に対する比率