クロスフレクシャー1軸ガルバノスキャナーVantagePro®
![](https://www.thorlabs.co.jp/Images/GuideImages/14123_CrossFlexureGalvos_1.jpg)
- Single-Axis Galvos for Beam Diameters up to 30 mm
- Cross-Flexure Pivot Mechanism Ideal for Raster Scanning
- Longer Lifetimes than Traditional Galvos
SP30Y-AG
Square Profile Housing,
Y-Axis Mirror
Round Profile Housing,
Custom Mirror
Back
Front
Included Servo Driver
![](../../images/loading-red.gif)
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Key Specifications | ||||
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Item # | SS30X-AG | SS30Y-AG | SP30X-AG | SP30Y-AG |
Housing Profile | Ø2.00" Round | 1.62" x 1.62" Square | ||
Mirror Orientation | Horizontal | Vertical | Horizontal | Vertical |
Mirror Coating | Protected Silver, 450 nm - 10.6 µm | |||
Repeatability | < 10 µrad | |||
Max Scan Angle (Optical Angle) | Raster: ±20° Vector: ±10° |
用途
- ラスターイメージング
- レーザーマーキング
- 機器組み込み
- 多角面の補正
- 高デューティまたは小角度の用途
特長
- クロスフレクシャ回転設計の可動マグネット式ガルバノスキャナ
- 最大ビーム径:30 mm(これより大きなサイズについてはご相談ください)
- ラスタ用途に適した滑らかな走査
- 優れた横軸安定性
- 潤滑剤不使用で真空用途に適した製品
- ボールベアリング式のガルバノスキャナよりも高寿命
- サーボドライバ内蔵
こちらの1軸ガルバノスキャナVantagePro®は、クロスフレクシャ回転設計を採用しており、滑らかで安定性の高い走査が可能です。従来のボールベアリング設計から横軸フレクシャ設計に変わることで、騒音や潤滑剤によるエラーをなくし、部品の摩耗を低減します。可動マグネット式のガルバノスキャナは、ラスターイメージングやフィードバック安定化イメージングシステム、移動する物体の観察やマーキング用途に適しています。
ミラーの角度(位置)は、ガルバノスキャナ筐体内にある容量型センシングシステムによって測定され、これによりガルバノミラーシステムの閉ループ動作が可能になります。ガルバノシステムは、連続ラスタ走査の用途で使用する場合、±20°の光学範囲全体を走査することができます。ベクタ走査またはステップ走査の用途で駆動する場合は、±10°までに制限する必要があります。詳細は左の緑色ボックス内をご参照ください。
当社のクロスフレクシャ式ガルバノスキャナは、ミラーを水平(X)または垂直(Y)方向でご使用いただけます。また、各ガルバノスキャナは様々なサブアセンブリと統合できるよう、Ø50.8 mmの円形筐体または41.1 mm角の筐体に収容されています。ミラーは最大30 mmのビーム径に対応します。これよりも大きな径に対応するミラーについては
当社にお問い合わせください。
内蔵のサーボドライバはDC電源、ガルバノモータ、入力信号源(信号モニタ用の接続はオプションでご用意しております)に接続されている必要があります。連続走査用途では、正弦波出力ができるファンクションジェネレータによりガルバノミラーのすべての角度を走査することが可能です。さらに複雑なパターンを走査するには、DAQカードなどプログラム可能な電圧源を使用します。なお、これらのシステムにはファンクションジェネレータ、あるいはDAQカードは付属しませんのでご注意ください。
対応する電源(型番GPWR15)とケーブルセット(型番CBLS3F)は別売りです。1つの電源で最大2台のガルバノスキャナに電源を供給することができます。ケーブルセットは、各ガルバノスキャナに1つずつ必要です。
クロスフレクシャ式ガルバノスキャナとボールベアリング式ガルバノスキャナ
このガルバノスキャナに使用されているクロスフレクシャ式の回転メカニズムは、ボールベアリング式の回転に比べて、より滑らかな走査と優れた横軸安定性が実現できるよう設計されています。フレクシャ素子は1つの軸にしっかりと結合されており、直交方向への動きを最小限に抑えます。連続したラスタおよび小角度の用途において、クロスフレクシャ式回転はボールベアリング式よりも摩耗や位置誤差が少なく、高寿命および高い再現性を実現します。
しかし、クロスフレクシャ式の回転はミラーを大きな角度で回転させてその位置を保持する必要のある用途には適しません。フレクシャ素子は、主に曲がってからニュートラルに戻る設計となっています。フレクシャ素子に曲げる力を連続して加えると、寿命が大幅に短くなります。
Item # | SS30X-AG | SS30Y-AG | SP30X-AG | SP30Y-AG |
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Housing Profile | Ø2.00" Round | 1.62" x 1.62" Square | ||
Mirror | ||||
Orientation | Horizontal (X-Axis) | Vertical (Y-Axis) | Horizontal (X-Axis) | Vertical (Y-Axis) |
Maximum Beam Diameter | 30 mm | |||
Coating | Protected Silver | |||
Wavelength Range | 450 nm - 10.6 µm | |||
Absolute Reflectance | ≥92% (450 - 500 nm) ≥94.5% (500 - 2000 nm) ≥98% (2 - 10.6 µm) | |||
Surface Quality | 40-20 Scratch-Dig | |||
Motor and Position Sensor | ||||
Linearity (50% Full Travel) | > 99.9% | |||
Scale Drift | 190 ppm/°C | |||
Zero Drift | 40 µrad/°C | |||
Repeatability | < 10 µrad | |||
Maximum Scan Angle (Optical Angle) | Raster: ±20° Vector: ±10° | |||
Angular Sensitivity | 100 µA/° | |||
Torque Constant | 2.8 x 105 dyne·cm/A | |||
Rotor Inertia | 8.25 g·cm2 | |||
Coil Resistance | 5.8 Ω | |||
Coil Inductance @ 1 kHz | 450 µh | |||
Operating Temperature | 0 to 40 °C | |||
Storage Temperature | -10 to 50 °C |
Servo Amplifier Specsa | |
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Inputs | |
Command Input Range | ±5 V |
Position Input Scale Factor | 0.22 V/° Optical |
Command Input Impedance | 20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended) |
Position Offset Range | ±0.25 V |
External Enable | See Footnote b |
Diagnostic Outputs | |
Servo Ready | 12 V |
Position | 0.22 V/° Optical |
Position Error | 0.22 V/° Optical |
Velocity | Analog (Reference Only) |
AGC Voltage | Analog (DC) |
Coil Current | 1 V/A |
Analog Output Impedance | 1 kΩ ± 1% (For All Outputs) |
Power Supply (Not Included) | |
Input Voltage | ±15 to ±24 VDC <100 span="">mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise |
Maximum Drive Current Limit | 4 A (RMS); 10 A (Peak) |
Quiescent Current | 220 mA (Servo Enabled, Galvo at Rest) |
Gain Drift | Up to 20 ppm/°C |
Offset Drift | Up to 30 µrad/°C |
General Specs | |
Operating Temperature | 0 to 45 °C (With Appropriate Cooling) |
Storage Temperature | -10 to 60 °C |
Dimensions | 2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm) |
Mass (Weight) | 74 g (2.6 oz) |
![Cross Flexure Galvo](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/SS30_D1-400.gif)
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円形筐体のガルバノスキャナSS30(図にはミラーは記載されていません)
GPWR15 Power Supply Unit Specs | |
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Input | 100 - 120 VAC or 220 - 240 VAC |
Output | ±15 V at 5 A (150 W Max Power) |
Operating Temperature | 0 to 50 °C |
Dimensions | 14.0" x 4.9" x 3.5" (356 mm x 124 mm x 90 mm) |
![Cross Flexure Galvo](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/SP30_D1-400.gif)
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立方体筐体のガルバノスキャナSP30(図にはミラーは記載されていません)
Posted Comments: | |
Junyoung Kim
 (posted 2024-04-25 17:25:47.75) Hello, I'm not familiar with cross-flexure galvos. So I'm a bit confused. what is the bandwidth of Full Travel and small angle? how fast I can run SS30X and SS30Y?
Thank you.
Junyoung cdolbashian
 (posted 2024-05-06 11:17:15.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry. Assuming a sine wave input with proper heat sinking to the servo amplifier, we would expect ~68 Hz at max range (+/-20deg). For small angle (~100mV, ~.45°), the response would be 1.2ms for the 10-90 motion. These devices ideally should be run harmonically, and should not be used for small step motions, unless the motion is harmonic. I have contacted you directly to expound on this. |