ピエゾ慣性アクチュエーター付きステージORIC®、真空対応
- Linear Stage with 20 mm Travel
- Rotation Stage with Continuous 360° Rotation
- Vacuum-Compatible Down to 10-6 Torr
- Flying Leads
PD1V
Linear Translation Stage
PDR1V
Rotation Stage
U.S. Patent 11,606,045
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Key Specificationsa | ||
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Item # | PD1V(/M) | PDR1V(/M) |
Stage Travel | 20 mm Linear | 360° Rotation |
Typical Step Size | 1 µmb | 250 µradb |
Top Plate Mounting Options | Four 2-56 (M2) Threaded Holes; Six 8-32 (M4) Threaded Holes; Six Ø2 mm Dowel Pin Holes | Four 8-32 (M4) Threaded Holes; SM05 (0.535"-40) Threaded Hole; Four Ø2 mm Dowel Pin Holes |
Vacuum Compatibility | 10-6 Torr |
ORIC® Piezo Inertia Stage Selection Guide |
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4.5 mm Vertical Translation Stage |
5 mm Linear Translation Stages |
20 mm Linear Translation Stages |
50 mm Linear Translation Stage |
Rotation Stages |
Vacuum-Compatible Stages |
ピエゾ慣性「スティック-スリップ」モータ
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ピエゾ慣性アクチュエータの動作の簡略図
「スティック-スリップ」のサイクルは、ピエゾが緩やかに伸びるプロセスと、急速に縮むプロセスから構成されています。
ピエゾ慣性モータは、フレクシャ機構と結合したピエゾアクチュエータ、摩擦要素、およびスライダ(可動プラットフォーム)の3つの主要パーツから構成されています。「スティック」の期間では、ピエゾはランプ関数の電圧波形に従って緩やかに伸び、摩擦要素とスライダを同時に前方に押します。「スリップ」の期間では、駆動電圧が急速に低下するのに合わせて、ピエゾ素子は摩擦要素を後方に「スリップ」させながら最初の長さに戻ります。この時、スライダの慣性が十分大きく、摩擦要素とスライダ底部の間の動摩擦係数が十分小さいため、スライダは動きません。左のグラフは「スティック-スリップ」の1サイクルにおけるピエゾ駆動電圧を示しています。
このサイクルを繰り返すことにより、スライダは連続的に移動します。逆方向へ移動させるには、ピエゾが急速に伸びて緩やかに縮む(すなわち「スリップ-スティック」)ための、逆の電圧パターンが必要です。動作中のステージではハイピッチのノイズとある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作で、故障ではありません。
使用条件やピエゾ素子のヒステリシス、部品のバラツキ、軸方向の負荷などの様々な要因によってステップサイズは変化し、また再現性もありません。この変化を解消するには、外部フィードバックシステムが必要になります。
特長
- コンパクトなステンレススチール製ステージ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き
- 高分解能での相対位置決めを求められる組み込み用(OEM用)や位置保持用などに適した製品
- ステージは垂直方向にも取付け可能
- ピエゾ慣性アクチュエータ付きステージ用コントローラが別途必要(下記参照)
真空対応のコンパクトなピエゾ慣性アクチュエータ付きステージORIC®(U.S. Patent 11,606,045)は、ピエゾ制御により高速で安定した移動をバックラッシュ無しで行うことができます。ピエゾ慣性アクチュエータは、ステージの停止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。移動量が20 mmの直線移動ステージと、360°の回転ステージをご用意しております。
負荷の取付け
ステージの可動プラットフォーム上には、負荷を固定するためのネジ穴が配列されています(右表をご覧ください)。また、直線移動ステージは、アダプタープレートのPD1T/MやPD1U/Mを取付けることで、ステージの上部プレートに異なる取付け穴パターンを付加することもできます。可動プラットフォームやアダプタプレート上に配列されたØ2 mm位置決めピン用の穴(深さ1.5 mm)は、負荷のアライメントにも利用可能です。詳細は下の図面をご覧ください。当社では交換用の位置決めピン(20個セット)もご用意しております(下記参照)。
ステージの取付け
直線移動ステージには取付け用のザグリ穴があり、これには可動プレートを可動範囲の末端まで移動させるとアクセスできるようになります。取付け方法は2つあります。1つは四隅のうちの2か所をM2ネジで締め付ける方法(推奨トルク:0.35 N·m)で、もう1つは両端の2か所をM4ネジで締め付ける方法(推奨トルク:0.55 N·m)です。当社では、特定のトルクで締め付けるためのトルクドライバTD75をご用意しております。直線移動ステージは平らな面(平面度≤5 μmを推奨)に取り付ける必要があります。このステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージの速度変動やピッチ・ヨーに関する仕様を満たすためには取付けトルクを緩める必要が生じる場合があります。必要であれば、精度の高い平面度を有する取付けアダプタPD1B/M、PD1B2/MまたはPD1B3/Mを使用することで、テーブル面に取り付ける際のステージの歪曲を防止できます。
他の動作を追加する必要がある場合には、2台の直線移動ステージを積み重ねてXYステージを構築することもできます。直角ブラケットアダプタPD1Z/Mを使用すると、1つのステージを別のステージの上に垂直方向に取り付けることができ、XZまたはXYZステージを構築することができます。なお、ステージを垂直に取り付けた場合、許容負荷が大幅に減少しますのでご注意ください。
回転ステージは垂直方向と水平方向に取付け可能です。また、四隅のØ6 mm貫通穴にはERシリーズケージロッドを取付けることができるため、回転ステージを30 mmケージシステムに組み込むことができます。ロッドは2.0 mmの六角止めネジ(セットスクリュ)で固定できます。さらに、ステージの2つの側面にはØ12 mmおよびØ12.7 mm(Ø1/2インチ)ポスト取り付け用のM4 x 0.7タップ穴が1つずつあります。回転ステージの底面にはM4 x 0.7タップ穴が25.0 mm間隔で2つあり、これらを用いて平坦な面に取り付けることができます。または直線移動ステージPD1V/Mに取り付けて、XY + 回転ステージを構築することもできます。これらの穴を用いてステージに取り付ける場合、取付け面の平面度は20 µm以下であることが必要です。
XY + 回転ステージ
2台の直線移動ステージを回転ステージと組み合わせることで、XY移動と回転を必要とする用途に利用することができます。詳細については、回転ステージORICの製品紹介ページをご覧ください。
真空中での使用について
ユニットは組立て後に十分にクリーニングしていますが、揮発性化合物や水分を除去するために、ステージとすべてのアクセサリはプリベークすることをお勧めします。ベークアウト中の温度は、PD1V/Mは100 °C以下、PDR1V/Mは120 °C以下に制限してください。メカニクス部品を別にベークアウトする場合は温度を150 °Cまで上げられますが、それらの温度はステージに取り付ける前に室温まで下げてください。
専用コントローラ
これらのステージを駆動するには、ピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラが1台必要です。一般的なピエゾコントローラでは、ピエゾ慣性アクチュエータを駆動することはできませんのでご注意ください。各ステージに対応するコントローラについては下記をご覧ください。
PD1V(/M) Specificationsa | |
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Travel | 20 mm (0.78") |
Step Size | Typical: 1 µmb Maximum: < 3 µmc Adjustability: ≤ 30%c |
Maximum Step Frequency | 2 kHzd |
Speed (Continuous Stepping) | 3 mm/s Typical Maxe,f |
Average Velocity Variation Over Travel Range | ±10%e,g |
Horizontal Load Capacity | 3 kg (6.61 lbs) |
Vertical Load Capacityh | 100 g (3.5 oz) |
Clamping / Holding Force | 3 N |
Pitch / Yaw Over Travel Range | 200 µrad |
XY Stacked Orthogonality | < 5 mrad |
Motor Type | Piezoelectric Inertia Drive |
Lifetime | > 10 Billion Stepsi,j |
Vacuum Compatibility | 10-6 Torr |
Piezo Specifications | |
Max Operating Voltage | 125 V |
Capacitance | 170 nF |
Physical Specifications | |
Operating Temperature | 10 to 40 °C |
Connector Type | Flying Leads Attached to Stage; Additional Bare Lead to SMC Female Cable Included |
Cable Lengthk | 0.75 m (2.48 ft) Flying Lead for Vacuum; 1.0 m (3.3 ft) Cored Cable Included for Wiring Outside Chamber |
Top Plate Mounting Options | Four 2-56 (M2) Threaded Holes, 3.5 mm Deep; Six 8-32 (M4) Threaded Holes, 3.2 mm Deep; Six Ø2 mm Dowel Pin Holes, 1.5 mm Deep; PD1T(/M) and PD1U(/M) Adapters |
Dimensions | 32.5 mm x 32.0 mm x 11.5 mm (1.28" x 1.26" x 0.45") |
Weight (Including Cable) | 80 g (2.82 oz) |
Required Controller (Available Separately Below) | KIM001, KIM101l, PDXCm, or PDXC2m,n |
PDR1V(/M) Specificationsa | |
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Rotation Range | 360° Continuous |
Step Size | Typical: 250 µradb Maximum: < 350 µradc Adjustability: ≤ 30%c |
Maximum Step Frequency | 2 kHzd |
Maximum Speed (Continuous Stepping)e | 20°/s (Typical) |
Speed Variation Over Travel Range (Average)e | ±10% (Typical) |
Horizontal Load Capacity | 1 kg (2.2 lbs) |
Vertical Load Torque Capacityf | 15 mN•m |
Holding Torque | 25 mN•m |
Wobble | ≤ 200 µrad |
Lifetime | > 10 Billion Stepsg |
Vacuum Compatibility | 10-6 Torr |
Piezo Specifications | |
Max Operating Voltage | 125 V |
Capacitance | 170 nF |
Physical Specifications | |
Operating Temperature | 10 to 40 °C |
Connector Type | Flying Leads Attached to Stage; Additional Bare Lead to SMC Female Cable Included |
Cable Lengthh | 0.75 m (2.48 ft) Flying Lead for Vacuum; 1.0 m (3.3 ft) Cored Cable Included for Wiring Outside Chamber |
Top Plate Mounting Options | Four 8-32 (M4) Threaded Holes, 2.0 mm Deep; Four Ø2 mm Dowel Pin Holes, 1.5 mm Deep; One SM05 (0.535"-40) Threaded Aperture, 2.5 mm Deep |
Dimensions | 40.0 mm x 40.0 mm x 18.0 mm (1.57" x 1.57" x 0.71") |
Weight (Including Cable) | 163 g (5.75 oz) |
Required Controller | KIM001 or KIM101i |
注: このソフトウェアは、コントローラPDXCのみに対応します。コントローラPDXC2、KIM001およびKIM101にはご使用いただけません。
当社では、ピエゾステージ用コントローラPDXCを制御するためのPDXCソフトウェアパッケージをご用意しています。このコントローラは下記のピエゾ慣性アクチュエータ付きステージの駆動用に設計されています。
- 光学式エンコーダ付き4.5 mm垂直移動ステージPDXZ1/M
- 5 mm直線移動ステージPD2/M
- 光学式エンコーダ付き5 mm直線移動ステージPDX2/M
- 20 mm直線移動ステージPD1/M
- 真空対応20 mm直線移動ステージPD1V/M
- 20 mm XY移動モノリシックステージPD1D/M
- 光学式エンコーダ付き20 mm直線移動ステージPDX1/M
- 50 mm直線移動ステージPD3/M
- 回転ステージPDR1C/M
- 光学式エンコーダ付き回転ステージPDXR1/M
このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、コントローラの直接的な操作や制御をすぐに行なうことができます。もう1つはサードパーティ開発用の一連のプログラミングインターフェイス(LabVIEW™/C++/Python SDK)を用いる方法で、カスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムをご希望の開発言語で簡単に作成することができます。
注:このソフトウェアは、コントローラ PDXC2、KIM001、KIM101に対応します。コントローラPDXCにはご使用いただけません。コントローラPDXC2はKinesis®ソフトウェアのみに対応しています。
Software
Kinesis Version 1.14.49
The Kinesis Software Package, which includes a GUI for control of Thorlabs' Kinesis system controllers.
Also Available:
- Communications Protocol
Kinesis GUI Screen
Thorlabs offers the Kinesis® software package to drive our wide range of motion controllers. The software can be used to control devices in the Kinesis family, which covers a wide variety of motion controllers ranging from small, low-powered, single-channel drivers (such as the K-Cubes™) to high-power, multi-channel benchtop units and modular 19" rack nanopositioning systems (the MMR60x Rack System).
The Kinesis Software features .NET controls which can be used by 3rd party developers working in the latest C#, Visual Basic, LabVIEW™, or any .NET compatible languages to create custom applications. Low-level DLL libraries are included for applications not expected to use the .NET framework and APIs are included with each install. A Central Sequence Manager supports integration and synchronization of all Thorlabs motion control hardware.
By providing this common software platform, Thorlabs has ensured that users can mix and match any of our motion control devices in a single application, while only having to learn a single set of software tools. In this way, it is perfectly feasible to combine any of the controllers from single-axis to multi-axis systems and control all from a single, PC-based unified software interface.
The software package allows two methods of usage: graphical user interface (GUI) utilities for direct interaction with and control of the controllers 'out of the box', and a set of programming interfaces that allow custom-integrated positioning and alignment solutions to be easily programmed in the development language of choice.
Legacy Software
Select products are still capable of running the legacy APT™ software package. Information on software compatibility can be found in the product documentation (), and additional details about the APT software can be found here.
Kinesis®ソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。
C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。
Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。
Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。
Click Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide Click Here for C# Example Projects Click Here for Quick Start Device Control Examples |
LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisまたはAPTベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内KinesisまたはAPT駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。
Click Here to View the LabVIEW Guide Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page |
仕様の性能を得るために
このアプリケーションノートでは、K-Cube™コントローラKIM001またはKIM101を用いて開ループ方式のORIC®直線移動ステージPD1/MとPD1D/M、および回転ステージPDR1/Mを使用するときに、仕様に示された速度とステップサイズを実現する方法をご説明いたします。下記ではKinesis®ソフトウェアのコントロールおよびK-Cubeの前面パネルの制御装置を用いた例をご紹介しています。開ループシステムを使用するには様々な制限があり、このアプリケーションノートは速度とステップサイズの変動を最小限に抑えるうえでお役に立てるように作成しました。初期設定時のほか、速度やステップサイズに変動が生じる場合には、こちらのアプリケーションノートをご利用いただくことをお勧めいたします。設定の変更方法の詳細については、各ステージやコントローラのマニュアルをご覧ください。
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図2:ステージPD(R)シリーズには推奨されるチャンネル設定があります。設定はDevice Settings -> Current Device Settings-> Channel 1で変更できます。
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図1:ORICステージを制御する時には、ステージタイプをPD(R)に変更する必要があります。これはKinesis Softwareの Device Settings -> Startupで変更できます。
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図4:黒線で丸く囲まれているJogモードはContinuousに設定する必要があります。これはDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更が可能です。
図3:黒線で囲まれた部分はデバイスGUIにあるジョグボタンです。
K-CubeコントローラとKinesisソフトウェアのコントロール
Kinesisソフトウェアのステージタイプの初期設定はPIAになっており、ORICステージには適用できません。そのため、初期設定を変更する必要があります。初期設定は、まずデバイスのGUIパネルのDevice Settingsにアクセスし、Startupタブをクリックします。ConfigurationタブでステージタイプをPD(R)に変更し、右下のPersist Settings to the Deviceのボックスにチェックを入れ、左下のSaveボタンをクリックします。それらの選択は図1に丸で示しています。これらの設定により、KinesisソフトウェアはPD(R)のステージタイプ用として使用できます。他のデバイスやチャンネルの設定も、このStartupで変更可能です。
ステージタイプPD(R)を用いて仕様の速度、速度変化、力を得るためには、特定のチャンネル設定を行うことを推奨します。これらの設定は図2に示すようにDevice SettingsのChannel 1のタブで変更できます。設定は黒線で囲まれたDriveボックス、および青線で囲まれたJogボックスで行います。
Driveボックスでは、Maximum Voltageを85 V、Rateを2000 steps/s、Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。Jogボックスでは、Forward Sizeを250 Steps、Reverse Sizeを250 Steps、ModeをContinuous、Step Rateを2000 Steps/s、Step Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。仕様性能を実現するには、ステージを平坦な面、当社が推奨する取付けプレート、または対応するアダプタープレートなどに適切に取り付けることが重要です。
1000 steps/sのStep Rateよりも速い連続ジョグは、図3の黒線で囲まれたデバイスGUIのJogボタンを使用したときにのみ可能です。K-CubeコントローラKIM101のジョイスティックまたはKIM001のホイールを使用したときの連続ジョグ動作は、1000 step/s以下に制限されます。ジョイスティックまたはホイールを使用するとき、シングルステップ動作あるいはカウントによる動作を行う場合は1000 step/sの制限はありません。
KinesisソフトウェアのJogモードをContinuousまたはSingleに変更したとき、図3の黒線で囲まれたKinesis GUIのJogボタンにのみ影響を与えます。コントローラKIM001またはKIM101の前面パネルのJoystickのモードは変更しません。KinesisソフトウェアのJogモード設定は、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス -> Mode(図4参照)で行います。詳細については下記の前面パネルの制御装置のセクションでもご覧いただけます。
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図6:KinesisソフトウェアデバイスGUIのDevice SettingsにおけるDeviceタブ。Maximum Step Rate設定は青線で囲まれています。連続Jogモードでジョイスティックを使用する場合、設定は1000 steps/s未満でなければなりません。KinesisのJoystickモードは黒線で囲まれたドロップダウンメニューから選択できます。
図5:K-CubeコントローラKIM101の前面パネルに表示されるオプション5のJoystickモード
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図8:KinesisソフトウェアのStep Size変更画面。Forward SizeおよびReverse Sizeの設定を変更します。またMode設定はGUIのJogボタンのコントロールにのみ影響し、Joystickモードには影響しません。
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図7:駆動速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更できます。これは前面パネルにおけるメニューオプション3のSet Velocityに相当します。
KIMx01の前面パネルの制御装置とそれに関連する設定
前面パネルの制御メニューには10個のオプションがあります。K-CubeコントローラKIM101の2つのボタンとジョイスティック、またはK-CubeコントローラKIM001のボタンとホイールでアクセスできます。
オプション5のJoystickモード(図5参照)にはJog to Count、 Jogging in Steps、Velocity Controlの3つのモードがあります。KinesisソフトウェアのJoystickモードは前面パネルのオプション5、Joystickモードに関連しています。KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードには、Step Rate、Jog、Goto Positionの3つのオプションがあります。この設定は図6に黒線で囲んで示されています。
Jog to Countモードでは、ステージをターゲットとするカウント(初期設定は0)の位置まで、前面パネルのオプション3のSet Velocityで設定された速度で移動させます。オプション3のSet Velocityでは、ステージがオプション5のJog to Countモードおよびオプション1のGoto Pos Countにおいて移動する速度を設定します。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Driveボックス -> Rateに相当する設定があります。これは図7でご覧いただけます。
Jogging in Stepsモードでは、オプション3のSet Velocityによってステージの速度は変わりません。このモードでの速度はKinesisソフトウェアで変更する必要があります。その設定はDevice Settings -> Channel 1-> Jogボックス ->Step Rateで変更できます。ステージの速度を上げようとするときに、Step Rateを変更する代わりにStep Sizeを変更することもできます。Step Sizeは、KIMコントローラの前面パネルでは、オプション4のJog Step Sizeで変更できます。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス -> Forward SizeおよびReverse Sizeで変更できます(図8参照)。
オプション5のVelocity Controlモードではジョイスティックを使用して連続ジョグができますが、速度は1000 step/s未満でなければなりません。この速度は前面パネルのオプション3では変更できません。この速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Device -> Maximum Step Rateでのみ変更可能です(図6参照)。初期設定で10000という数値が表示される場合がありますが、この値はソフトウェアでは許容されません。数値を1~1000の間に変更する必要があります。
KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードのStep Rateは、前面パネルのVelocity Controlモードに関連しており、Maximum Step Rateの設定にご使用いただけます。Direction Senseはジョイスティックまたはホイールを使用するときの移動方向の変更に使用できます。
Posted Comments: | |
Petr Koutenský
 (posted 2023-02-09 15:35:51.983) My question regards PD1V/M which can not be selected from the feedback drop down menu.
What is the attainable step resolution of movement, is it limited to one step size? If not is it possible to precisely control movement within one step by applying voltage from 0 to 125 Volts? For our intended application we need sub 1 µm resolution. cdolbashian
 (posted 2023-02-17 11:21:52.0) Thank you for contacting Thorlabs! The attainable step resolution of movement is limited to one step size. KIM101/001 has to output complete stepping pulses but not arbitrary voltage output. It's worth trying the condition 10% amplitude, 800Hz with PDXC. A sub 1 µm step size is typically achievable. user
 (posted 2022-10-09 09:08:48.017) Is this Piezo Stage also usable at cryogenic temperatures (down to 2K)? cdolbashian
 (posted 2022-10-24 09:25:07.0) Thank you for contacting Thorlabs. The operating temperature for these stages is 10 to 40 ℃. Low temperature may cause reduction of travel range or even sticking of the motion. It cannot be used at 2K. |
電動リニアステージ
電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。
ピエゾステージ
これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。
Piezoelectric Stages | ||||
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Product Family | ORIC® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage | ORIC® PD2 Open-Loop 5 mm Stage | ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage | |
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Travel | 4.5 mm | 5 mm | ||
Speed | 1 mm/s (Typ.)a | 10 mm/s (Typ. Max)b | 8 mm/s (Typ.)c | |
Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | |||
Possible Axis Configurations | Z | X, XY, XYZ | ||
Mounting Surface Size | 45.0 mm x 42.0 mm | 13 mm x 13 mm | ||
Additional Details |
Piezoelectric Stages | |||||
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Product Family | ORIC® PD1 Open-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage | ORIC® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD3 Open-Loop 50 mm Stage | |
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Travel | 20 mm | 50 mm | |||
Speed | 3 mm/s (Typ. Max)a | 20 mm/s (Typ. Max)b | 10 mm/sc | ||
Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | ||||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | |
Mounting Surface Size | 30 mm x 30 mm | 80 mm x 30 mm | |||
Additional Details |
Piezoelectric Stages | ||||||
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Product Family | Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator | Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator | Elliptec® 28 mm Stage | Elliptec® 60 mm Stage | LPS710E 1.1 mm Vertical Stage | |
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Travel | 20 µm + 5 mm Manual | 25 µm + 1.5 mm Manual | 28 mm | 60.0 mm | 1.1 mm | |
Maximum Velocity | - | 180 mm/s | 90 mm/s | - | ||
Drive Type | Piezo with Manual Actuator | Resonant Piezoelectric Motor | Amplified Piezo | |||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X | Z | |||
Mounting Surface Size | 75 mm x 75 mm | 30 mm x 30 mm | 15 mm x 15 mm | 21 mm x 21 mm | ||
Additional Details |
ステッピングモーターステージ
こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。
Stepper Motor Stages | |||||
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Product Family | PLSX with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | LNR Series 25 mm Stage | LNR Series 50 mm Stage | |
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Travel | 1" | 25 mm | 50 mm | ||
Maximum Velocity | 7.0 mm/s | 2.0 mm/s | 50 mm/s | ||
Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
Mounting Surface Size | 3" x 3" | 60 mm x 60 mm | 100 mm x 100 mm | ||
Additional Details |
Stepper Motor Stages | ||||||
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Product Family | NRT Series 100 mm Stage | NRT Series 150 mm Stage | LTS Series 150 mm Stage | LTS Series 300 mm Stage | MLJ250 50 mm Vertical Stage | |
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Travel | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 300 mm | 50 mm | |
Maximum Velocity | 30 mm/s | 50 mm/s | 3.0 mm/s | |||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | Z | |||
Mounting Surface Size | 84 mm x 84 mm | 100 mm x 90 mm | 148 mm x 131 mm | |||
Additional Details |
DCサーボモーターステージ
脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。
DC Servo Motor Stages | ||||
---|---|---|---|---|
Product Family | MT Series 12 mm Stages | PT Series 25 mm Stages | MTS Series 25 mm Stage | MTS Series 50 mm Stage |
Click Photo to Enlarge | ||||
Travel | 12 mm | 25 mm | 25 mm | 50 mm |
Maximum Velocity | 2.6 mm/s | 2.4 mm/s | ||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
Mounting Surface Size | 61 mm x 61 mm | 101.6 mm x 76.2 mm | 43 mm x 43 mm | |
Additional Details |
DC Servo Motor Stages | ||||
---|---|---|---|---|
Product Family | M30 Series 30 mm Stage | M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage | M150 Series 150 mm XY Stage | KVS30 30 mm Vertical Stage |
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Travel | 30 mm | 150 mm | 30 mm | |
Maximum Velocity | 2.4 mm/s | X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s | 8.0 mm/s | |
Possible Axis Configurations | X, Z | XY, XZ | XY | Z |
Mounting Surface Size | 115 mm x 115 mm | 272.4 mm x 272.4 mm | 116.2 mm x 116.2 mm | |
Additional Details |
ダイレクトドライブステージ
こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。
Direct Drive Stages | |||||
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Product Family | DDS Series 50 mm Stage | DDS Series 100 mm Stage | DDS Series 220 mm Stage | DDS Series 300 mm Stage | DDS Series 600 mm Stage |
Click Photo to Enlarge | |||||
Travel | 50 mm | 100 mm | 220 mm | 300 mm | 600 mm |
Maximum Velocity | 500 mm/s | 300 mm/s | 400 mm/s | 400 mm/s | |
Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY | X | X | |
Mounting Surface Size | 60 mm x 52 mm | 88 mm x 88 mm | 120 mm x 120 mm | ||
Additional Details |
- 10-6 Torrrまでの真空に対応
- 開ループ動作
- 高分解能な位置決め
- コントローラKIMx01使用時の最大速度:3 mm/s
- 長さ0.75 mのリード線付き
- 長さ1.0 mのリード線の付いたSMC端子も付属
- ピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラKIM001、KIM101、PDXCまたはPDXC2が別途必要(下記参照)
- 以下の部品が付属します。
- M2取付けネジ 2本
- M4取付けネジ 2本
- Ø2 mm位置決めピン 2本
この開ループピエゾステージORIC®の最大許容負荷は3 kgで、バックラッシュの無い動作が可能です。また、コントローラKIMx01で駆動したときの最大速度は3 mm/sです。ピエゾ慣性アクチュエータは、ステージの停止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ステージはマイクロメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。仕様の詳細については「仕様」タブをご参照ください。
ステージは平面度≤5 µmの面に設置してください。必要に応じて、フラットな面を有する取付けベースPD1B/M、PD1B2/MまたはPD1B3/M(いずれも別売り)を使用することで、ステージの歪みを低減することができます。 当社では取付け穴パターンを変更するための上部プレート用アダプタとしてPD1T/MおよびPD1U/Mを、またステージを垂直方向に取り付けるための直角ブラケットとしてPD1Z/Mをご用意しております。
こちらのステージは10-6 Torrまでの真空に対応します。ユニットやアダプタープレートを真空チャンバに設置する前には、すべてのコンポーネントをプリベークし、真空状態に影響を及ぼす可能性のある揮発性化合物や水分を取り除くことをお勧めいたします。プリベーク温度は100 °C以下に制限する必要があります。メカニクス部品を別にベークアウトする場合は温度を150 °Cまで上げられますが、それらの温度はステージに取り付ける前に室温まで下げてください。このステージには真空対応のリード線(長さ0.75 m)が付いており、これでアクチュエータを真空チャンバのバルクヘッドに接続することができます。 リード線はPTFEコーティングされたAWG 30ケーブルで、赤のリード線はプラス極、白のリード線はマイナス極です。 SMCコネクタ付きの長さ1.0 mの2芯ケーブルも付属しています。
ステージPD1V/Mは、こちらのページでご紹介している3種類のすべてのコントローラ(シングルチャンネルK-Cube™慣性モータ用コントローラKIM001、4チャンネルK-Cube慣性モータ用コントローラKIM101、ピエゾ慣性ステージ用コントローラPDXC、ピエゾ慣性ステージ用小型コントローラPDXC2に対応します。このステージにコントローラPDXC2を使用するには、Dサブ(メス)-SMC(オス)アダプターケーブルPDXC2ADが必要です。コントローラKIM101の場合は、バージョンが2019年以降、ファームウェアは010004以上でなければなりません。それ以前のバージョンのコントローラや古いファームウェアでは適切に機能せず、またステージやコントローラの故障につながる場合があります。このステージの仕様値は、K-Cube™コントローラKIM101(詳細は「仕様」タブ参照)を使用して測定しています。コントローラKIM001でも同様の性能が得られます。PDXCとPDXC2はK-Cubeコントローラに比べるとより高い周波数で動作できますが、その最大出力電圧は低くなります。そのため、ステージPD1V/Mをより小さなステップサイズで高速に駆動することができますが、その駆動する力は小さくなります。
注:動作中のステージではハイピッチのノイズが発生し、またある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作で、故障ではありません。
含まれるコンポーネント:
- 回転ステージ、SMCコネクタ(メス型)の接続された本体一体型ケーブル付き
- 長さ5.3 mmのM4 x 0.7キャップスクリュ 2本
- Ø2 mm位置決めピン 2本
- 10-6 Torrまでの真空に対応
- 最大速度20°/sで360°連続回転が可能
- ステップサイズ(典型値):250 µrad
- プラットフォームのサイズ:Ø34.0 mm
- プラットフォームの高さ:18.0 mm
- コンパクトな設置面積:40.0 mm x 40.0 mm
- 長さ0.75 mのリード線付き
- 長さ1.0 mのリード線の付いたSMC端子も付属
- ピエゾコントローラKIM001またはKIM101が別途必要(下記参照)
こちらの開ループ式ピエゾ慣性アクチュエータ付き回転ステージORIC®は、最大速度20°/sでバックラッシュのない動作が可能で、その典型的なステップサイズは250 µradです。また、ステージが停止してピエゾ素子に電源が供給されていない時には、ピエゾ慣性アクチュエータは自動的に固定されます。これらの特徴によりステージPDR1V/Mは、ミリラジアン以下の分解能とアライメントの長期安定性が要求される場合の位置決め・保持用として適しています。
こちらのステージは10-6 Torrまでの真空に対応します。ユニットやアダプタープレートを真空チャンバに設置する前には、すべてのコンポーネントをプリベークし、真空状態に影響を及ぼす可能性のある揮発性化合物や水分を取り除くことをお勧めいたします。プリベーク温度は120 °C以下に制限する必要があります。このステージには真空対応のリード線(長さ0.75 m)が付いており、これでアクチュエータを真空チャンバのバルクヘッドに接続することができます。リード線はPTFEコーティングされたAWG 30ケーブルで、赤のリード線はプラス極、白のリード線はマイナス極です。SMCコネクタ付きの長さ1.0 mの2芯ケーブルも付属しています。
取付け方法
ステージPDR1V/Mは垂直方向にも水平方向にも取り付け可能です。また、回転ステージの四隅のØ6 mm貫通穴にはERシリーズケージロッドを取付けられるため、30 mmケージシステムへの組込み、アダプタープレートPD3T/Mを用いた50 mm直線移動ステージORICへの取付け、あるいは汎用取付けアダプタPD1B3/M(下記参照)を用いたブレッドボードへの取付けなどが可能です。ロッドは2.0 mmの六角止めネジで固定できます。さらに、ステージの2か所の側面にはØ12 mmおよびØ12.7 mmポスト取り付け用のM4 x 0.7タップ穴が1つずつあります。
ステージの底面にはM4 x 0.7タップ穴が25.0 mm間隔で2つあり、これらを用いて平坦な面に取り付けることができます。またXY + 回転ステージを構築する際に、これらのタップ穴を用いて20 mm直線移動ステージORIC上に取り付けることもできます。これらの穴を用いてステージに取り付ける場合、取付け面の平面度は20 µm以下であることが必要です。
回転する上部プレートにはM4 x 0.7タップ穴が4つとØ2 mm位置決めピン用の穴が4つあり、コンポーネントやORICシリーズの直線移動ステージなどの取り付けに利用できます。当社では交換用の位置決めピン(20個セット)もご用意しております(下記参照)。ステージの中心にはØ9 mmの貫通穴があり、その上部プレート部分にはSM05内ネジが付いています。この貫通穴は光がステージ本体を通過するための光路としてご利用いただけます。
必要なコントローラ
これらのステージを操作するには、シングルチャンネルのK-Cube™ピエゾ慣性モーターコントローラKIM001、4チャンネルのK-Cubeピエゾ慣性モーターコントローラKIM101(下記参照)が別途必要です。標準的なピエゾコントローラでは、ピエゾ慣性アクチュエータを駆動することはできません。コントローラKIM101のバージョンは2019年以降、ファームウェアは010004以上がインストールされていなければなりません。それ以前のバージョンのコントローラや古いファームウェアでは適切に機能せず、またステージやコントローラの故障につながる場合があります。旧世代のコントローラTIM101は対応していません。このステージの仕様値は、K-CubeコントローラKIM101を使用して測定した値です。コントローラKIM001でも同様の性能が得られます。
注:動作中のステージではハイピッチのノイズが発生し、またある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作状態であり、故障ではありません。
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アダプタPD1B3(/M)に取り付けられたステージPD1(/M)
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アダプタープレートPD1B3(/M)の外形図。穴の横の記号の説明については、左表をご覧ください。 ミリ規格のアダプタープレートの寸法は括弧内に記載されています。
- ORICシリーズのステージの取付けに必要なフラットな面を提供
- 不動態化処理されたステンレススチール製
- テーブルやブレッドボードへの取付け時のステージの歪みを抑制
- 寸法 (L x W x H):65 mm x 65 mm x 10 mm
汎用アダプタープレートPD1B3/Mは、ORICシリーズのすべてのピエゾ慣性ステージに対して、取付ける際に必要なフラットな面(平面度≤5 µm)を提供します。右の外形図の取付け穴(A~H)の詳細は下の表に示します。4つの#4-40ネジ穴を用いて30 mmケージシステムに取付けることができ、またブレッドボードに取付けるための2本のM6ネジが付属しています。
ステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージが歪曲することでステージの速度変動やピッチ・ヨーの性能に影響が現れることがあります。平面度が十分でないテーブルやブレッドボードに取り付けるときには、ステージをこれらの取付けアダプタに取り付けることで、そのような歪曲を大幅に低減することができます。
Labela | Holes/Slots Patternb | Spacingb (Stage Compatibility) | Threading Depth | Places |
---|---|---|---|---|
A | 1/4"-20 (M6) | 1" x 2" (25 x 50 mm) | Through | 6 |
B | Ø2 mm Dowel Pin Holes | 16 x 16 mm | 1.5 mm | 4 |
C | #4-40 | 30 x 30 mm (Item # PDR1(/M), PDR1V(/M)) | 3.5 mm | 4 |
D | 1/4"-20 (M6) C-Slot | 1" to 2" (25 to 50 mm) | N/A | 4 |
E | #00-90 (M1.2) | 10 x 10 mm (Item # PD2(/M), PDX2(/M)) | 3.0 mm | 4 |
F | #8-32 (M4) C-Slot | 1.25" (31.25 mm) | N/A | 1 |
G | #2-56 (M2) | 27.0 x 23.4 mm (Item # PD1(/M), PDX1(/M), PD1D(/M), PD1V(/M), PDR1C(/M)) / 40.8 x 30 mm | 7 mm | 8 |
H | #8-32 (M4) | 2" (50 mm) (Item # PD3(/M)) / 2" x 2" (50 x 50 mm) (Item # PDXR1(/M)) | 7.8 mm | 4 |
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上のステージPD1の写真に示すように、位置決めピンPD1P1はほとんどのORIC®ステージの取付け穴に適合します。
- Ø2 mm、長さ3 mmの位置決めピン
- 耐食性のあるステンレススチール製
- 20個セットでご用意
位置決めピンPD1P1の寸法は、直径2 mm、長さ3 mmです。この製品は、当社のORIC®ステージ(4.5 mm垂直移動ステージ、20 mmおよび50 mm直線移動ステージ、回転ステージ、真空対応ステージ)に付属する位置決めピンの交換用としてご使用いただけます。ステンレススチール製で耐食性があります。
20個セットでご用意しております。
Key Specificationsa | ||
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Item # | KIM001 | KIM101 |
Piezoelectric Outputs (SMC Male) | One | Four |
Piezo Output Voltage | 85 to 125 VDC | 85 to 125 VDC per Channel |
Top Panel Controls | Scroll Wheel | Dual-Axis Joystick |
External Input (SMA Female) | ±10 V ± 2% | |
Input Power | +15 VDC @ 2 A | |
Housing Dimensionsb | 60.0 mm x 60.0 mm x 47.0 mm (2.36" x 2.36" x 1.85") | 121.0 mm x 60.0 mm x 47.0 mm (4.76" x 2.36" x 1.85") |
Compatible Software | Kinesis | |
Compatible Piezo Inertia Stagesc | 5 mm Linear Stage, 20 mm Linear Stages, 50 mm Linear Stage, & Rotation Stages |
- コンパクトな設置面積
- 出力電圧の調整範囲:85 V~125 V
- 1チャンネルおよび4チャンネルのタイプをご用意
- 上面のコントロールパネルとディスプレイ画面による単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
- 対応するステージについては右表をご覧ください。
こちらのコンパクトなK-Cubeコントローラを用いると、SMCコネクタを使用したピエゾ慣性ステージ、ピエゾ慣性アクチュエータ、およびピエゾ慣性アジャスタ付き光学マウントの手動操作やPC制御が簡単にできます。アダプターケーブルPD2AD(別売り、下記参照)を使用すると、当社の5 mm直線移動ステージPD2/Mや50 mm直線移動ステージPD3/Mにもお使いいただけます。出力電圧の調整範囲は85 V~125 Vです。上面パネルのディスプレイ画面を使用すれば、PCに接続しなくても、ユニットの電源をONにするだけですぐに操作を開始できます。また、どちらのコントローラもUSB接続によるプラグアンドプレイにより、当社のKinesis®ソフトウェアパッケージ(付属します)を用いたPC制御をすぐにご利用いただけます。
設置面積は小さく、ベースプレートのM6用ザグリ穴スロットを使用して光学テーブルに直接取り付けることができます。小型であるため電動システムの近くに設置することができ、これは上面パネルの操作スイッチ類を用いてモータの位置を手動で調整する際には便利です。また、テーブル上で操作すると駆動用ケーブルの長さが短くなり、ケーブルの管理も楽になります。
シングルチャンネルコントローラKIM001
このシングルチャンネルピエゾ慣性コントローラは、1台のピエゾ慣性ステージまたはピエゾ慣性アクチュエータに対して電圧を供給できます。上面パネルにはバネ付きのスクロールホイールがあり、これを用いてステージやアクチュエータを操作したりメニューを選択したりできます。
4チャンネルコントローラKIM101
この4チャンネルコントローラには、ピエゾ慣性デバイスを駆動するためのSMC出力端子が4つ付いています。これらのチャンネルは、上面パネルの2軸ジョイスティックを使用して、それぞれ単独あるいはペアで操作できます。このコントローラは、最大4台までのPDシリーズピエゾ慣性ステージまた PIAシリーズピエゾ慣性アクチュエータ、あるいは2台までのPIMシリーズ ピエゾ慣性光学マウントを操作するように設定できます。1台のKIM101では、コントローラのメニュー選択において同じ「Select Stage」の設定を選択するデバイス以外は、同時に駆動することはできません(詳細はマニュアル参照)。
詳細は製品紹介ページをご参照ください。
操作
こちらのステージを駆動する前に、コントローラKIM001またはKIM101のステージ設定を「PD(R)」に設定してください。「Select Stage」を選択し、「PIA」を「PD(R)」に変更してからコントローラを再起動してください。ディスプレイに「Stage is PD(R)」と表示され、ORIC PDシリーズステージを駆動できるように設定が変更されます。その他の前面パネルでの設定についての詳細は、下の赤いアイコン()をクリックしてコントローラKIM001またはKIM101のマニュアルをご覧ください。このドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V~125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。
電源について
モーターコントローラKIM001およびKIM101には、電源は付属していません。対応する電源KPS201は別売り(下記参照)でご用意しています。
注:KIM001およびKIM101は、その設計上の特性と非線形の高周波スイッチング技術を使用していることにより、USBコントローラハブ&電源KCH301およびKCH601には対応していません。ご使用いただける電源はKPS201のみです。これらのコントローラはステージPDX1/Mにも対応していません。5 mmステージPD2/Mおよび50 mmステージPD3/Mに使用するには、アダプターケーブルPD2ADが必要です。
- モーターコントローラKIM001およびKIM101に対応
- 日本国内向けのアダプタープラグが付属
電源KPS201の出力電圧は+15 VDC、最大電流は2.66 Aで、3.5 mmジャックで1台のK-CubeまたはT-Cubeに電力を供給します。標準的な壁コンセントに接続して使用します。
Key Specificationsa | ||
---|---|---|
SMC Port | Number of Ports | Two |
Voltage | 0 to 40 V | |
Frequency | 20 kHz Max | |
D-Sub Port | Number of Ports | One |
Voltage | -10 to 50 V | |
Frequency | 20 kHz Max | |
Max Current Limit | 10 A | |
Front USB | Type A, USB Host 2.0 | |
Back USB | Type B, USB Device 2.0 | |
Voltage of Analog In/Out | -10 to 10 V, ±2% | |
Voltage of Trigger In/Out | 0 to 5 V, TTL | |
Input Power | 100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz |
- PDシリーズピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MとPDXR1/M用コントローラ
- 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
- SMCおよび15ピンDサブポートが使用可能
こちらのコントローラは、当社のピエゾ慣性アクチュエータ付きの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、そして回転ステージPDR1C/Mの制御用として設計されています。開ループステージ制御用のSMC出力端子が2チャンネル、開ループまたは閉ループステージ制御用の15ピンDサブ出力ポートが1チャンネル付いています。Dサブコネクタ付きのORICシリーズステージを使用するうえで延長ケーブルが必要な場合には、PDXCEをご使用いただけます(別売り、下記参照)。
組込まれたソフトウェアにより、フロントパネルのボタン、LCDディスプレイ、およびノブを使用して、このユニットをフル制御できます。また、組込みの外部トリガーモードはシングルチャンネル動作をサポートしています。複数のコントローラを接続することで、Dサブモードでラスタ走査のようなマルチチャンネル動作が可能です。ユーザは、PCに接続しなくても、出力ポートの選択、開ループ/閉ループのモード切り替え、ホーミングやエンコーダの校正などを行うことができます。ユニット上での制御のほかに、USB接続を利用してソフトウェアのプラットフォームで簡単にPC制御を行うこともできます。
ユニットには日本国内用の電源コードが付属します。すべての用途において、お手持ちの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。
詳細については、製品紹介ページをご参照ください。
Key Specificationsa | ||
---|---|---|
Performance Specificationsa | ||
D-sub Port | Number of Ports | One |
Voltage | 0 to 56 V | |
Frequency | 20 kHz Max | |
Max Current Limit | 10 A | |
Front USB | Type A, USB HID Host | |
Back USB | Type B, USB Device 2.0 | |
I/O Port | Voltage of Analog In/Out | -10 to 10 V, ±2% |
Voltage of Trigger In/Out | 0 to 5 V, TTL | |
Ethernet PC Communication | One RJ-45 Port | |
Dimensions (L x W x H) | 115.2 mm x 150.0 mm x 48.5 mm (4.54” x 5.91” x 1.91”) | |
Weight | 0.53 kg | |
Input Power | 12 V, 3 A DAC |
- ORICシリーズのピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MとPDXR1/M用コントローラ
- コンパクトな設計、ソフトウェアKinesis®による制御
- 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
- エネルギー効率の高いスイッチングアンプ回路によりピーク出力電流10 Aを実現
- 設定可能な高速通信インターフェイス:USB 2.0、ギガビットイーサネット、デジタルI/0、アナログI/0
- パルスレートの範囲:800 Hz~20 kHz
小型コントローラPDXC2 は、当社のピエゾ慣性アクチュエータで動作するORICシリーズの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、回転ステージPDR1/MおよびPDXR1/Mの制御用として設計されています。1チャンネルの開ループまたは閉ループのステージを制御できるポート(15ピンDサブ)が付いています。Dサブ-SMCアダプターケーブルPDXC2AD(下記参照)を使用すると、SMCコネクタを有するステージに接続して開ループ動作での操作ができます。
コントローラPDXC2は、背面パネルのUSBポートまたはイーサネットポートからPCに接続できます。開ループと閉ループのモード切替え、ホーミング動作の実行、パラメータの最適化等の動作パラメータとシステム操作のすべては、Kinesis®ソフトウェア(上の「Kinesisソフトウェア」タブからダウンロードできます)を搭載したPCで制御できます。トリガーモードや移動パラメータなどを設定することで、ラスター走査といった動作を構成することができます。ORICシリーズの特定のエンコーダ付きステージ(型番PDX1/MとPDXR1/Mのみ)はモーションコントロールソフトウェアページ内のPDXC2 Calibration Toolを用いて校正できます。詳細はマニュアルをご覧ください。コマンドライン制御もUSBとRS-232のポートを用いて実行できます。
PDXC2は付属の12 VDC電源DS12 (入力電圧100~240 VAC、国内用AC電源ケーブル付属)で電源供給されます。 すべての用途において、お使いの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。
詳細は製品紹介ページをご参照ください。
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DB15メス-SMCオス
アダプターケーブルPDXC2ADには、15ピンDサブメスコネクタと、SMCオスコネクタが付いています。ケーブルがコントローラPDXC2の15ピンDサブポート(オス)と、20 mm ステージPD1/M、PD1D/M、PD1V/Mまたは、回転ステージPDR1C/MのSMCコネクタを接続します。