アリ溝式移動ステージ、移動量25 mm、真空対応

Dovetail Design for 1" (25 mm) of Smooth Motion
Lockable Translation Platform
Modular Design for Multi-Axis Configuration
Vacuum-Compatible Down to 10^-6 Torr

DTS25V/M

Front View

DTS25V

Back View with Locking Plate

Application Idea

XY Configuration Built with Two DTS25V Stages Using the Included Dowel Pins

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概要
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手動ステージ

Item #	DTS25V	DTS25V/M
Travel Range	1"	25 mm
Mounting Holes	1/4"-20 Taps (13 Places)	M6 x 1.0 Taps (13 Places)
Horizontal Load Capacity	88 lbs (40 kg)
Vertical Load Capacity	22 lbs (10 kg)
Travel Per Revolution	0.04" (1.0 mm)
Top Surface Parallelism	1700 µrad
Angular Deviation	±250 µrad
Vacuum Compatibility	10^-6 Torr
Straightness	Horizontal: ±10.00 µm Vertical: ±5.00 µm
Stiffness	Pitch: 200.00 µrad / N·m Yaw: 725.00 µrad / N·m
Operating Temperature	10 °C to 130 °C (50 °F to 266 °F)
Maximum Baking Temperature	130 °C (266 °F)
Storage Temperature	10 °C to 35 °C with < 70% Humidity
Dimensions (Including Actuator)	2.68" x 3.90" x 0.79" (68.0 mm x 99.1 mm x 20.0 mm)
Weight	0.53 lbs (0.24 kg)

Dovetail Translation Stages
1/2" (12.7 mm) Travel
1" (25 mm) Travel
2" (50 mm) Travel

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DTS25V(/M)にはサイドロックプレートが付属しており、不要な動きの防止や相対位置決めの基準として使用できます。

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型番	数量	Description
DTS25V/M	1	真空対応アリ溝式移動ステージ、移動量25 mm、M6 x 1.0タップ穴(ミリ規格)
MB15S/M	1	不動態化処理済ステンレススチール製ブレッドボード、150 mm x 150 mm x 12.7 mm、M6タップ穴(ミリ規格)
CL6V-P5	1	テーブルクランプ、真空対応、RLAシリーズ光学レール用、5個セット
SH6MS10V	1	通気口付き真空対応M6 x 1.0キャップスクリュ、A4ステンレス製、長さ10 mm、5個入り(ミリ規格)
W25S050V	1	真空対応M6ワッシャ、SUS316ステンレス製、25個入り

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型番	数量	Description
DTS25V	1	真空対応アリ溝式移動ステージ、移動量1インチ、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
MB6S	1	不動態化処理済ステンレススチール製ブレッドボード、6" x 6" x 1/2"、1/4"-20タップ穴(インチ規格)
CL6V-P5	1	テーブルクランプ、真空対応、RLAシリーズ光学レール用、5個セット
SH25S038V	1	通気口付き真空対応1/4”-20キャップスクリュ、SUS316ステンレス製、長さ3/8インチ、5個入り(インチ規格)
W25S050V	1	真空対応M6ワッシャ、SUS316ステンレス製、25個入り

ステージDTS25V/Mは、真空対応のテーブルクランプとネジを使用して真空対応のブレッドボードMB15S/Mに取り付けられています。

特長

移動量：25 mm
10^-6 Torrまでの真空に対応
13個のM6 x 1.0タップ穴
直交性を確保するために位置決めピンを用いてXYZステージの構築が可能
M6ザグリ穴またはテーブルクランプCL6V(別売り)で光学テーブルに取り付け可能

アリ溝式直線移動ステージ(リニアステージ)DTS25V/Mはコンパクトな真空対応のポジショナで、一般的なモーションコントロール用にお使いいただけます。M6 x 1.0 mmピッチの精密送りネジを使用しており、25 mmの全移動範囲で滑らかなリニア位置決めが可能です。送りネジ1回転毎のステージの移動量は1.0 mmです。ステージDTS25V/Mの上面には13個のM6 x 1.0タップ穴があり、移動させるコンポーネントの取付け方も様々な選択肢からお選びいただけます。この可動プラットフォームは、側面の固定用ブラケットのネジで固定して、位置ずれを防止できます。可動プラットフォームの両側面には1.0 mm単位の目盛が刻まれており、固定用ブラケットの端を相対位置決め用の基準として利用することもできます(右上の写真参照)。

取付けについて
このステージは、4つのM6用ザグリ穴を用いて光学テーブルに固定できます。ザグリ穴は上面プレートを適切な位置に移動させることでアクセスできるようになります。取付け穴のうちの2つには上面プレートの貫通穴から、ほかの2つには直接アクセスできます。また、このステージは4つのクランプCL6V(両側に2つずつ)でステージ底部のリリーフカットを固定して取り付けることもできます(右下の写真参照)。

多軸ステージの構築について
DTS25V/Mはモジュール設計になっており、容易に2軸ステージを構築できます。各ステージには2本の位置決めピンが付属しており、多軸ステージを構築する際にそれぞれの移動方向の直交性を確保するのに利用できます。XYステージは2つのステージを直接結合して構築できます。

真空対応について
ステージDTS25V/Mは、10^-6Torrまでの真空に使用可能な材料を用いており、またアリ溝式ステージDTS25/Mと同じ性能を有するように設計されています。ステージDTS25V/Mはクリーンな(汚染されていない)環境下で組み立てたのち、2重の真空バッグに封入しています。このステージは、真空システムで使用する前に、余分な水分や表面の汚れを除去するためにベーキングすることができます。ただし、最大ベーキング温度は130 °Cですのでご注意ください。また、このステージは当社の真空対応クランプCL6Vと真空対応ファスナを用いてブレッドボードに取り付けられます(上の写真参照)。当社では、このステージと組み合わせて使用できる真空対応のブレッドボード、ネジ、オプトメカニクス部品などをご用意しております。

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手動リニアステージ

手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ＆ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。

クロスローラーベアリングステージ

こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。

Crossed-Roller Bearing Stages
Product Family	LNR Series 25 mm Stages	LX Series 25 mm Stages	XRN Series 25 mm Stages	XR Series 25 mm Stages	XR Series 50 mm Stages	LNR Series 50.8 mm Stages
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Travel	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	50 mm (1.97")	50.8 mm (2")
Drive Type	Multiple	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Multiple
Platform Size	2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm)	2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm)	2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm)	2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm)	2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm)	3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XZ, XY, XYZ	X, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

ボールベアリングステージ

こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。

Ball Bearing Stages
Product Family	MS Series 1/4" Stages	T12 Series 1/2" Stages	MT Series 1/2" Stages	PT Series 1" Stages	LT Series 2" Stages
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Travel	1/4" (6.4 mm)	1/2" (12.7 mm)	1/2" (12.7 mm)	1" (25.4 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Multiple	Thumbscrew	Multiple	Multiple	Differential Micrometer
Platform Size	1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm)	0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm)	2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm)	3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm)	3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

アリ溝式ステージ

これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。

Dovetail Stages
Product Family	DT Series 1/2" Stages	DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available)	DTS Series 2" Stage
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Travel	1/2" (12.7 mm)	1" (25 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Thumbscrew	Thumbscrew	Thumbscrew
Platform Size	1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm)	2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm)	2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ^a	X, XY, XYZ
Additional Details

The DTSA03 anodized angle bracket designed for XYZ configurations may also be used with the DTS25V(/M) vacuum-compatible stages; however, the DTSA03 is not vacuum-compatible.
The 1" (25 mm) travel DTS Series features an anodized DTS25(/M) stage and a DTS25V(/M) stage that is vacuum-compatible down to 10^-6 Torr.

フレクシャーステージ

移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。　

Flexure Stages
Product Family	Nanoflex™ 1.5 mm Stage	Nanoflex™ 5 mm Stages
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Travel	1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo	5 mm (0.20")	5 mm (0.20") + 20 µm Piezo
Drive Type	Thumbscrew and Piezo Actuator	Differential Micrometer	Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator	Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator
Platform Size	1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm)	2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

垂直移動ステージ

当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。　

Vertical Stages
Product Family	XRN Series 9 mm Vertical Stage	XR Series 14 mm Vertical Stage	MVS Series 1/2" Vertical Stage	MVS Series 1" Vertical Stage	VAP Series 4" Vertical Stage	VAP Series 10" Vertical Stage
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Travel	9.0 mm (0.35")	14.0 mm (0.55")	1/2" (13.0 mm)	1" (25.0 mm)	4" (101.6 mm)	10" (254 mm)
Drive Type	Worm-Gear Driven Lift Screw		Micrometer		Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning
Platform Size	2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm)	2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm)	2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm)		3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm)
Additional Details

Item #	LNR25D(/M), LNR25M(/M)	LX10(/M), LX20(/M), LX20XZ(/M), LX20YZ(/M), LX30(/M)	XRN25P(/M), XRN25C(/M), XRN25P-K1(/M), XRN25P-K2(/M)	XR25P(/M), XR25C(/M), XR25P-K1(/M), XR25P-K2(/M)	XR50P(/M), XR50C(/M)	LNR50DD(/M), LNR50M(/M)
Resolution	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Drive)	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	Down to 0.05 mm/rev (Dependent on Drive)
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 17 Places	1/4"-20 (M6), 22 Places	1/4"-20 (M6), 26 Places	1/4"-20 (M6), 13 Places
Load Capacity	Horizontal: 44 lbs / 20 kg Vertical: 17.6 lbs / 8 kg	Horizontal: 90 lbs / 41 kg Vertical: 8.8 lbs / 4 kg	Horizontal: 170 lbs / 77.1 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 66 lbs / 30 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	MS1(/M), MS1S(/M), MS3(/M)	T12X(/M), T12XY(/M), T12XZ(/M), T12XYZ(/M)	MT1(/M), MT1A(/M), MT1B(/M), MT3(/M), MT3A(/M)	PT1(/M), PT1A(/M), PT1B(/M), PT3(/M), PT3A(/M)	LT1(/M), LT3(/M)
Resolution	Down to 0.25 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	0.25 mm/rev	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	Coarse: 0.055" / rev Fine: 0.010" / rev
Mounting Holes	#4 (M3) Counterbore, 2 Places 4-40 (M3), 2 Places 8-32 (M4), 5 Places	2-56 (M2), 4 Places	Top: 1/4"-20 (M6), 7 Places Bottom: 1/4"-20 (M6), 7 Places and 8-32 (M4), 4 Places	1/4"-20 (M6), 16 Places	1/4"-20 (M6), 24 Places
Load Capacity	Horizontal: 7 lbs / 3.2 kg Vertical: 2.5 lbs / 1.1 kg	Horizontal: 5 lbs / 2.2 kg Vertical: N/A	Horizontal: 90 lbs / 41 kg Vertical: 4.4 lbs / 2 kg	Horizontal: Up to 90 lbs / 41 kg Vertical: Up to 8.8 lbs / 4.0 kg (Dependent on Chosen Drive)	Horizontal: 70 lbs / 31 kg Vertical: 40 lbs / 18 kg

Item #	DT12(/M), DT12XY(/M), DT12XZ(/M), DT12XYZ(/M)	DTS25(/M) DTS25V(/M)^b	DTS50(/M)
Resolution	0.35 mm/rev	1.0 mm/rev
Mounting Holes	8-32 (M4), 1 Place	1/4"-20 (M6), 13 Places	1/4"-20 (M6), 17 Places
Load Capacity	Horizontal: 2.5 lbs / 1.2 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	Horizontal: 88 lbs / 40 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	NF15AP25(/M)	NFL5D(/M)	NFL5DP20(/M)	NFL5DP20S(/M)
Resolution	Manual: 0.25 mm/rev Piezo: 0.76 nm (Theoretical)	Coarse: 0.5 mm/rev Fine: 50 µm/rev	Coarse: 0.5 mm/rev Fine: 50 µm/rev Piezo: 0.6 nm (Theoretical)
Mounting Holes	4-40 (M2), 5 Places 8-32 (M4), 1 Place	6-32 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 4 Places
Load Capacity	Horizontal: 1.1 lbs / 0.5 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	Horizontal: 2.2 lbs / 1 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg

Item #	XRNV1(/M)	XRV1(/M)	MVS05(/M)	MVS1(/M)	VAP4(/M)	VAP10(/M)
Precision	0.01" (0.25 mm) per Adjuster Revolution		0.025" (0.5 mm) per Adjuster Revolution		0.05" (1.27 mm) per Adjuster Revolution
Mounting Holes	6-32 (M4), 8 Places 1/4"-20 (M6), 16 Places		8-32 (M4), 12 Places 1/4"-20 (M6), 13 Places		8-32 (M4), 31 Places 1/4"-20 (M6), 33 Places
Load Capacity	Horizontal: 22.2 N (5.0 lbs) Inverted: 6.67 N (1.50 lbs)	Horizontal: 44.5 N (10.0 lbs) Inverted: 8.9 N (2.0 lbs)	4.4 lbs / 2 kg		50 lbs / 23 kg (Max Moment: 150 in-lbs / 16.9 N•m)