50 mm直線移動ステージ(リニアステージ)ORIC®、ピエゾ慣性アクチュエーター付き
![](https://www.thorlabs.co.jp/Images/GuideImages/15249_PiezoIn50mm_1.jpg)
- 50 mm Travel, Open-Loop Linear Stage
- 3 kg Horizontal Load Capacity
- Stackable Design for Compact 1-, 2-, or 3-Axis Setups
- Compact Footprint: 83.5 mm x 32.0 mm
U.S. Patent 11,606,045
PD3
Piezo Inertia Stage
PD3T(/M)
Adapter Plate
PD3Z
Right-Angle
Bracket
Application Idea
PD3 Stage with Hollow Roof Prism
and PM4 Clamping Arm
![](../../images/loading-red.gif)
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Quick Links |
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Linear Stage |
Adapters |
Controllers |
ORIC® Piezo Inertia Stage Selection Guide |
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4.5 mm Vertical Translation Stage |
5 mm Linear Translation Stages |
20 mm Linear Translation Stages |
50 mm Linear Translation Stage |
Rotation Stages |
Vacuum-Compatible Stages |
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/Piezo_Inertia_Stage_50mm_XYZ_A1-150.jpg)
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3台のステージPD3/Mと、アダプタPD3T/MおよびPD3Z/Mを用いて、XYZステージを構築できます。
特長
- コンパクトなステンレススチール製ステージ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き
- 高分解能での相対位置決めを求められる組み込み用(OEM用)や位置保持用などに適した製品
- 異なる取付け穴パターンを付加するためのプレートアダプタ
- ステージ取付け時にフラットな面を提供する取付けアダプタ
- 垂直方向の取付けやXYZ構成を可能にする直角ブラケットアダプタ
- ピエゾ慣性アクチュエータ付きステージ用のコントローラが別途必要(下記参照)
ピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ(リニアステージ)ORIC® (U.S. Patent 11,606,045) PD3/Mは、コンパクトなパッケージながら、ピエゾ制御により高速で安定した直線動作をバックラッシュなしで行うことができます。このステージは開ループ*で動作し、水平耐荷重は3 kgです。ピエゾ慣性アクチュエータは、ステージの停止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。
負荷の取付け
負荷はM4 x 0.7のネジ穴を用いてステージの可動プラットフォームに固定することができます。また、アダプタープレートPD3T/M(別売り、下記参照)を取付けて、ステージの上部プレートに別の取付け穴パターンを付加することもできます。可動プラットフォームやアダプタプレート上に配列されたØ2 mm位置決めピン用の穴(深さ1.5 mm)は、負荷のアライメントにも利用可能です。詳細は下の図面をご覧ください。当社では交換用の位置決めピン(20個セット)もご用意しております(下記参照)。位置決めピンを穴に取付けるときは、穴の最大挿入深さを超えないようにご注意ください。ピンが穴から突き出ているとステージが損傷する場合があります。詳細は「仕様」タブをご覧になるか、下の赤いアイコン()をクリックして資料をご覧ください。
ステージの取付け
取付け用のザグリ穴は、可動プレートを可動範囲の末端まで移動させるとアクセスできるようになります。取付け方法は2つあります。1つは四隅のうちの2か所の取付け穴を、2本のM2 x 0.4ネジを使って0.35 N·mの推奨トルクで締め付ける方法です。もう1つは中心線上にある取付け穴を、M4 x 0.7ネジを使って0.55 N·mの推奨トルクで締め付ける方法です。当社では、特定のトルクで締め付けるためのトルクドライバTD75をご用意しております。
ステージは平らな面(平面度≤5 μmを推奨)に取り付ける必要があります。このステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージの速度変動やピッチ・ヨーに関する仕様を満たすには取付けトルクを緩める必要が生じることがあります。テーブル面に取り付ける際、必要であれば精度の高い平面度を有する取付けアダプタPD3B/MやPD1B3/Mを使用することで、ステージが歪曲するのを防止できます。
他の方向の動作を追加する必要が生じた場合には、2台の直線移動ステージを積み重ねてXYステージを構築することができます。直角ブラケットアダプタPD3Z/Mを使用すると、1台の1軸ステージを他のステージの上に垂直方向に取り付けることができ、XZまたはXYZステージを構築することができます(右の写真参照)。なお、ステージを垂直に取り付けた場合、許容負荷が大幅に減少しますのでご注意ください。
その他のORICステージへの取付けについて
50 mmステージPD3/M上には、ほかのORICステージを取り付けることが可能です。20 mm 移動ステージ PD1シリーズは、PD3/Mの上部プレートに直接取付けられます。5 mm移動ステージPD2シリーズの場合は、アダプタープレートPD2U/Mを介して取付けます。移動と回転が必要な場合には、ケージロッド ER05-P4とアダプタープレートPD3T/Mを用いて、ORIC回転ステージをステージPD3/M上に取り付けることができます。
必要なコントローラ
こちらのステージを駆動するには、下記のピエゾ慣性ステージ用コントローラPDXC、ピエゾ慣性ステージ用小型コントローラPDXC2、シングルチャンネルピエゾ慣性モーターコントローラK-Cube™KIM001、または4チャンネルピエゾ慣性モーターコントローラK-Cube KIM101(下記参照)の何れかが必要です。一般的なピエゾコントローラでは、ピエゾ慣性アクチュエータを駆動することはできません。ステージPD3/Mは、こちらのページでご紹介している3種類のすべてのコントローラ(ピエゾ慣性ステージ用コントローラPDXC、シングルチャンネルK-Cube™慣性モータ用コントローラKIM001、4チャンネルK-Cube慣性モータ用コントローラKIM101)に対応します。コントローラPDXCでステージPD3/Mを駆動する場合は、そのファームウェアはリビジョン1.27以上(コントローラの電源ON時に表示)である必要があります。コントローラKIM001およびKIM101は2019年以降の製品(S/Nラベルに記載)であり、ファームウェアはリビジョン010003以上(コントローラの電源ON時に表示)である必要があります。それより古いファームウェアを用いると適切に機能せず、またステージやコントローラの故障につながる場合があります。PDXCとPDXC2はK-Cubeコントローラに比べるとより高い周波数で動作できますが、その最大出力電圧は低くなります。そのため、ステージPD3/Mをより小さなステップサイズで高速に駆動することができますが、その駆動する力は小さくなります。それぞれのコントローラを使用したときのステージの性能については、「仕様」タブをご覧ください。
![Inertia Motor Operation](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/Piezo_Inertia_Stage_D1-200.gif)
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ピエゾ慣性アクチュエータの動作の簡略図
![Inertia Motor Operation](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/Piezo_Inertia_Voltage_G1-200.gif)
「スティック-スリップ」のサイクルは、ピエゾが緩やかに伸びるプロセスと、急速に縮むプロセスから構成されています。
ピエゾ慣性「スティック-スリップ」モータ
ピエゾ慣性モータは、フレクシャ機構と結合したピエゾアクチュエータ、摩擦要素、およびスライダ(可動プラットフォーム)の3つの主要パーツから構成されています。「スティック」の期間では、ピエゾはランプ関数の電圧波形に従って緩やかに伸び、摩擦要素とスライダを同時に前方に押します。「スリップ」の期間では、駆動電圧が急速に低下するのに合わせて、ピエゾ素子は摩擦要素を後方に「スリップ」させながら最初の長さに戻ります。この時、スライダの慣性が十分大きく、摩擦要素とスライダ底部の間の動摩擦係数が十分小さいため、スライダは動きません。右のグラフは「スティック-スリップ」の1サイクルにおけるピエゾ駆動電圧を示しています。
このサイクルを繰り返すことにより、スライダは連続的に前方に移動します。逆方向へ移動させるには、ピエゾが急速に伸びて緩やかに縮む(すなわち「スリップ-スティック」)ための、逆の電圧パターンが必要です。動作中のステージではハイピッチのノイズとある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作で、故障ではありません。
*開ループ動作の場合は、使用条件やピエゾ素子のヒステリシス、部品のバラツキ、軸方向の負荷などの様々な要因によってステップサイズは変化し、また再現性もありません。この変化を解消するには、外部フィードバックシステムを使用して閉ループ動作をさせる必要があります。
PD3(/M) Stage Specificationsa | ||
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Driving Controller | PDXC or PDXC2 Benchtop Controller | KIM001 or KIM101 K-Cube Controllers |
Travel | 50 mm (2") | |
Step Size | Minimum: 0.1 µmb Maximum: < 1 µmc Adjustability: From 0.1 μm to 1 μmc | Minimum: 1.0 µmb Maximum: < 3 µmc Adjustability: ≤ 30%c |
Maximum Step Frequency | 20 kHz | 2 kHz |
Speed (Continuous Stepping)d,e | 10 mm/s Typical Max | 3 mm/s Typical Max |
Average Speed Variation Over Travel Rangee,f | ±10% | |
Horizontal Load Capacity | 3 kg (6.61 lbs) | |
Vertical Load Capacityg | 100 g (3.5 oz) | 120 g (4.2 oz) |
Clamping / Holding Force | 6 N | |
Pitch / Yaw Over Travel Range | 200 µrad | |
XY Stacked Orthogonality | < 5 mrad | |
Motor Type | Piezoelectric Inertia Drive | |
Lifetimeh | > 10 Billion Steps | |
Piezo Specifications | ||
Max Operating Voltage | 50 V (Item # PDXC) or 56 V (Item # PDXC2) | 125 V |
Capacitance | 170 nF | |
Physical Specifications | ||
Operating Temperature | 10 to 40 °C (50 to 104 °F) | |
Connector Type | D-Sub Female | SMC Female (PD2AD Adapter Required, Sold Separately) |
Cable Length | Integrated Cable: 1 m (3.3 ft), PDXCE Cable (Optional, Not Included): 3 m (9.8 ft)i | Integrated Cable: 1 m (3.3 ft) & PD2AD Adapter (Required, Not Included): 1 m (3.3 ft)j |
Top Plate Mounting Options | Sixteen 8-32 (M4 x 0.7) Threaded Holes, 3.2 mm Deep Six Ø2 mm Dowel Pin Holes, 1.5 mm Deep PD3T(/M) Adapter | |
Dimensions | 83.5 mm x 32.0 mm x 11.5 mm (3.29" x 1.26" x 0.45") | |
Weight (Including Cable) | 210 g (7.41 oz) | |
Required Controller (Sold Separately Below)k,l | PDXC, PDXC2, KIM001, or KIM101 |
ステージPD3/M
Dサブ15ピン メス
![D-Sub 15](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/DB15_3_F_300.gif)
アダプターケーブルPD2AD/M
Dサブ15ピン オス
![SMC Female](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/DB15_3_M_300.gif)
SMC メス
![SMC Female](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/SMC_Connector_Male_A1-75.png)
0~125 V
Pin(s) | Voltage | Name | Description |
---|---|---|---|
3 | 0 V | GND | Digital Ground |
12 | 0 V | PGND | Power Ground |
13 | 125 V Max | SigOut1 | Piezo Output 1 |
14 | 5 V TTL | EEPROM | 1-Wire EEPROM |
1, 2, 4-11, 15 | - | - | Reserved |
D-Sub Pin(s) | SMC Connector | Voltage | Name | Description |
---|---|---|---|---|
12 | Outer Shield | 0 V | PGND | Power Ground |
13 | Core Wire | 125 V Max | SigOut1 | Piezo Output 1 |
1-11, 14, 15 | - | - | - | Reserved |
注: このソフトウェアは、コントローラPDXCのみに対応します。コントローラPDXC2、KIM001およびKIM101にはご使用いただけません。
当社では、ピエゾステージ用コントローラPDXCを制御するためのPDXCソフトウェアパッケージをご用意しています。このコントローラは下記のピエゾ慣性アクチュエータ付きステージの駆動用に設計されています。
- 光学式エンコーダ付き4.5 mm垂直移動ステージPDXZ1/M
- 5 mm直線移動ステージPD2/M
- 光学式エンコーダ付き5 mm直線移動ステージPDX2/M
- 20 mm直線移動ステージPD1/M
- 真空対応20 mm直線移動ステージPD1V/M
- 20 mm XY移動モノリシックステージPD1D/M
- 光学式エンコーダ付き20 mm直線移動ステージPDX1/M
- 50 mm直線移動ステージPD3/M
- 回転ステージPDR1C/M
- 光学式エンコーダ付き回転ステージPDXR1/M
このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、コントローラの直接的な操作や制御をすぐに行なうことができます。もう1つはサードパーティ開発用の一連のプログラミングインターフェイス(LabVIEW™/C++/Python SDK)を用いる方法で、カスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムをご希望の開発言語で簡単に作成することができます。
注:このソフトウェアは、コントローラ PDXC2、KIM001、KIM101に対応します。コントローラPDXCにはご使用いただけません。コントローラPDXC2はKinesis®ソフトウェアのみに対応しています。
Software
Kinesis Version 1.14.49
The Kinesis Software Package, which includes a GUI for control of Thorlabs' Kinesis system controllers.
Also Available:
- Communications Protocol
![Kinesis Software](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/Kinesis_KDC101_GUI_A2-400.jpg)
Kinesis GUI Screen
Thorlabs offers the Kinesis® software package to drive our wide range of motion controllers. The software can be used to control devices in the Kinesis family, which covers a wide variety of motion controllers ranging from small, low-powered, single-channel drivers (such as the K-Cubes™) to high-power, multi-channel benchtop units and modular 19" rack nanopositioning systems (the MMR60x Rack System).
The Kinesis Software features .NET controls which can be used by 3rd party developers working in the latest C#, Visual Basic, LabVIEW™, or any .NET compatible languages to create custom applications. Low-level DLL libraries are included for applications not expected to use the .NET framework and APIs are included with each install. A Central Sequence Manager supports integration and synchronization of all Thorlabs motion control hardware.
By providing this common software platform, Thorlabs has ensured that users can mix and match any of our motion control devices in a single application, while only having to learn a single set of software tools. In this way, it is perfectly feasible to combine any of the controllers from single-axis to multi-axis systems and control all from a single, PC-based unified software interface.
The software package allows two methods of usage: graphical user interface (GUI) utilities for direct interaction with and control of the controllers 'out of the box', and a set of programming interfaces that allow custom-integrated positioning and alignment solutions to be easily programmed in the development language of choice.
Legacy Software
Select products are still capable of running the legacy APT™ software package. Information on software compatibility can be found in the product documentation (), and additional details about the APT software can be found here.
Kinesis®ソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。
C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。
Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。
Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。
![]() | Click Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide Click Here for C# Example Projects Click Here for Quick Start Device Control Examples | ![]() |
LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisまたはAPTベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内KinesisまたはAPT駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。
![]() | Click Here to View the LabVIEW Guide Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page | ![]() |
仕様の性能を得るために
このアプリケーションノートでは、K-Cube™コントローラKIM001またはKIM101を用いて開ループ方式のORIC®直線移動ステージPD1/MとPD1D/M、および回転ステージPDR1/Mを使用するときに、仕様に示された速度とステップサイズを実現する方法をご説明いたします。下記ではKinesis®ソフトウェアのコントロールおよびK-Cubeの前面パネルの制御装置を用いた例をご紹介しています。開ループシステムを使用するには様々な制限があり、このアプリケーションノートは速度とステップサイズの変動を最小限に抑えるうえでお役に立てるように作成しました。初期設定時のほか、速度やステップサイズに変動が生じる場合には、こちらのアプリケーションノートをご利用いただくことをお勧めいたします。設定の変更方法の詳細については、各ステージやコントローラのマニュアルをご覧ください。
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A2-250.jpg)
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図2:ステージPD(R)シリーズには推奨されるチャンネル設定があります。設定はDevice Settings -> Current Device Settings-> Channel 1で変更できます。
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A1-250.jpg)
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図1:ORICステージを制御する時には、ステージタイプをPD(R)に変更する必要があります。これはKinesis Softwareの Device Settings -> Startupで変更できます。
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A3-250.jpg)
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図4:黒線で丸く囲まれているJogモードはContinuousに設定する必要があります。これはDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更が可能です。
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A8-200.jpg)
図3:黒線で囲まれた部分はデバイスGUIにあるジョグボタンです。
K-CubeコントローラとKinesisソフトウェアのコントロール
Kinesisソフトウェアのステージタイプの初期設定はPIAになっており、ORICステージには適用できません。そのため、初期設定を変更する必要があります。初期設定は、まずデバイスのGUIパネルのDevice Settingsにアクセスし、Startupタブをクリックします。ConfigurationタブでステージタイプをPD(R)に変更し、右下のPersist Settings to the Deviceのボックスにチェックを入れ、左下のSaveボタンをクリックします。それらの選択は図1に丸で示しています。これらの設定により、KinesisソフトウェアはPD(R)のステージタイプ用として使用できます。他のデバイスやチャンネルの設定も、このStartupで変更可能です。
ステージタイプPD(R)を用いて仕様の速度、速度変化、力を得るためには、特定のチャンネル設定を行うことを推奨します。これらの設定は図2に示すようにDevice SettingsのChannel 1のタブで変更できます。設定は黒線で囲まれたDriveボックス、および青線で囲まれたJogボックスで行います。
Driveボックスでは、Maximum Voltageを85 V、Rateを2000 steps/s、Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。Jogボックスでは、Forward Sizeを250 Steps、Reverse Sizeを250 Steps、ModeをContinuous、Step Rateを2000 Steps/s、Step Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。仕様性能を実現するには、ステージを平坦な面、当社が推奨する取付けプレート、または対応するアダプタープレートなどに適切に取り付けることが重要です。
1000 steps/sのStep Rateよりも速い連続ジョグは、図3の黒線で囲まれたデバイスGUIのJogボタンを使用したときにのみ可能です。K-CubeコントローラKIM101のジョイスティックまたはKIM001のホイールを使用したときの連続ジョグ動作は、1000 step/s以下に制限されます。ジョイスティックまたはホイールを使用するとき、シングルステップ動作あるいはカウントによる動作を行う場合は1000 step/sの制限はありません。
KinesisソフトウェアのJogモードをContinuousまたはSingleに変更したとき、図3の黒線で囲まれたKinesis GUIのJogボタンにのみ影響を与えます。コントローラKIM001またはKIM101の前面パネルのJoystickのモードは変更しません。KinesisソフトウェアのJogモード設定は、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス -> Mode(図4参照)で行います。詳細については下記の前面パネルの制御装置のセクションでもご覧いただけます。
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A7-250.jpg)
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図6:KinesisソフトウェアデバイスGUIのDevice SettingsにおけるDeviceタブ。Maximum Step Rate設定は青線で囲まれています。連続Jogモードでジョイスティックを使用する場合、設定は1000 steps/s未満でなければなりません。KinesisのJoystickモードは黒線で囲まれたドロップダウンメニューから選択できます。
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A4-250.jpg)
図5:K-CubeコントローラKIM101の前面パネルに表示されるオプション5のJoystickモード
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A6-250.jpg)
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図8:KinesisソフトウェアのStep Size変更画面。Forward SizeおよびReverse Sizeの設定を変更します。またMode設定はGUIのJogボタンのコントロールにのみ影響し、Joystickモードには影響しません。
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/ORIC_stage_app_note_A5-250.jpg)
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図7:駆動速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更できます。これは前面パネルにおけるメニューオプション3のSet Velocityに相当します。
KIMx01の前面パネルの制御装置とそれに関連する設定
前面パネルの制御メニューには10個のオプションがあります。K-CubeコントローラKIM101の2つのボタンとジョイスティック、またはK-CubeコントローラKIM001のボタンとホイールでアクセスできます。
オプション5のJoystickモード(図5参照)にはJog to Count、 Jogging in Steps、Velocity Controlの3つのモードがあります。KinesisソフトウェアのJoystickモードは前面パネルのオプション5、Joystickモードに関連しています。KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードには、Step Rate、Jog、Goto Positionの3つのオプションがあります。この設定は図6に黒線で囲んで示されています。
Jog to Countモードでは、ステージをターゲットとするカウント(初期設定は0)の位置まで、前面パネルのオプション3のSet Velocityで設定された速度で移動させます。オプション3のSet Velocityでは、ステージがオプション5のJog to Countモードおよびオプション1のGoto Pos Countにおいて移動する速度を設定します。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Driveボックス -> Rateに相当する設定があります。これは図7でご覧いただけます。
Jogging in Stepsモードでは、オプション3のSet Velocityによってステージの速度は変わりません。このモードでの速度はKinesisソフトウェアで変更する必要があります。その設定はDevice Settings -> Channel 1-> Jogボックス ->Step Rateで変更できます。ステージの速度を上げようとするときに、Step Rateを変更する代わりにStep Sizeを変更することもできます。Step Sizeは、KIMコントローラの前面パネルでは、オプション4のJog Step Sizeで変更できます。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス -> Forward SizeおよびReverse Sizeで変更できます(図8参照)。
オプション5のVelocity Controlモードではジョイスティックを使用して連続ジョグができますが、速度は1000 step/s未満でなければなりません。この速度は前面パネルのオプション3では変更できません。この速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Device -> Maximum Step Rateでのみ変更可能です(図6参照)。初期設定で10000という数値が表示される場合がありますが、この値はソフトウェアでは許容されません。数値を1~1000の間に変更する必要があります。
KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードのStep Rateは、前面パネルのVelocity Controlモードに関連しており、Maximum Step Rateの設定にご使用いただけます。Direction Senseはジョイスティックまたはホイールを使用するときの移動方向の変更に使用できます。
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電動リニアステージ
電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。
ピエゾステージ
これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。
Piezoelectric Stages | ||||
---|---|---|---|---|
Product Family | ORIC® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage | ORIC® PD2 Open-Loop 5 mm Stage | ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage | |
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Travel | 4.5 mm | 5 mm | ||
Speed | 1 mm/s (Typ.)a | 10 mm/s (Typ. Max)b | 8 mm/s (Typ.)c | |
Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | |||
Possible Axis Configurations | Z | X, XY, XYZ | ||
Mounting Surface Size | 45.0 mm x 42.0 mm | 13 mm x 13 mm | ||
Additional Details |
Piezoelectric Stages | |||||
---|---|---|---|---|---|
Product Family | ORIC® PD1 Open-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage | ORIC® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage | ORIC® PD3 Open-Loop 50 mm Stage | |
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Travel | 20 mm | 50 mm | |||
Speed | 3 mm/s (Typ. Max)a | 20 mm/s (Typ. Max)b | 10 mm/sc | ||
Drive Type | Piezoelectric Inertia Drive | ||||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | |
Mounting Surface Size | 30 mm x 30 mm | 80 mm x 30 mm | |||
Additional Details |
Piezoelectric Stages | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Product Family | Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator | Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator | Elliptec® 28 mm Stage | Elliptec® 60 mm Stage | LPS710E 1.1 mm Vertical Stage | |
Click Photo to Enlarge | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() | |
Travel | 20 µm + 5 mm Manual | 25 µm + 1.5 mm Manual | 28 mm | 60.0 mm | 1.1 mm | |
Maximum Velocity | - | 180 mm/s | 90 mm/s | - | ||
Drive Type | Piezo with Manual Actuator | Resonant Piezoelectric Motor | Amplified Piezo | |||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X | Z | |||
Mounting Surface Size | 75 mm x 75 mm | 30 mm x 30 mm | 15 mm x 15 mm | 21 mm x 21 mm | ||
Additional Details |
ステッピングモーターステージ
こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。
Stepper Motor Stages | |||||
---|---|---|---|---|---|
Product Family | PLSX with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate 1" Stage | LNR Series 25 mm Stage | LNR Series 50 mm Stage | |
Click Photo to Enlarge | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() | |
Travel | 1" | 25 mm | 50 mm | ||
Maximum Velocity | 7.0 mm/s | 2.0 mm/s | 50 mm/s | ||
Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
Mounting Surface Size | 3" x 3" | 60 mm x 60 mm | 100 mm x 100 mm | ||
Additional Details |
Stepper Motor Stages | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Product Family | NRT Series 100 mm Stage | NRT Series 150 mm Stage | LTS Series 150 mm Stage | LTS Series 300 mm Stage | MLJ250 50 mm Vertical Stage | |
Click Photo to Enlarge | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() | |
Travel | 100 mm | 150 mm | 150 mm | 300 mm | 50 mm | |
Maximum Velocity | 30 mm/s | 50 mm/s | 3.0 mm/s | |||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | Z | |||
Mounting Surface Size | 84 mm x 84 mm | 100 mm x 90 mm | 148 mm x 131 mm | |||
Additional Details |
DCサーボモーターステージ
脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。
DC Servo Motor Stages | ||||
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Product Family | MT Series 12 mm Stages | PT Series 25 mm Stages | MTS Series 25 mm Stage | MTS Series 50 mm Stage |
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Travel | 12 mm | 25 mm | 25 mm | 50 mm |
Maximum Velocity | 2.6 mm/s | 2.4 mm/s | ||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | ||
Mounting Surface Size | 61 mm x 61 mm | 101.6 mm x 76.2 mm | 43 mm x 43 mm | |
Additional Details |
DC Servo Motor Stages | ||||
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Product Family | M30 Series 30 mm Stage | M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage | M150 Series 150 mm XY Stage | KVS30 30 mm Vertical Stage |
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Travel | 30 mm | 150 mm | 30 mm | |
Maximum Velocity | 2.4 mm/s | X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s | 8.0 mm/s | |
Possible Axis Configurations | X, Z | XY, XZ | XY | Z |
Mounting Surface Size | 115 mm x 115 mm | 272.4 mm x 272.4 mm | 116.2 mm x 116.2 mm | |
Additional Details |
ダイレクトドライブステージ
こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。
Direct Drive Stages | |||||
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Product Family | DDS Series 50 mm Stage | DDS Series 100 mm Stage | DDS Series 220 mm Stage | DDS Series 300 mm Stage | DDS Series 600 mm Stage |
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Travel | 50 mm | 100 mm | 220 mm | 300 mm | 600 mm |
Maximum Velocity | 500 mm/s | 300 mm/s | 400 mm/s | 400 mm/s | |
Possible Axis Configurations | X, XY | X, XY | X | X | |
Mounting Surface Size | 60 mm x 52 mm | 88 mm x 88 mm | 120 mm x 120 mm | ||
Additional Details |
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PD3(/M)の上部プレートの概略図。ミリ規格の寸法は括弧内に記載されています。
製品内容:
- 直線移動ステージ、D-Subメス型コネクタが接続されたケーブル付き
- M2 x 0.4取付けネジ 2本
- Ø2 mm位置決めピン 2本
- 3.0 mm六角レンチ
- 開ループ動作
- 高分解能な位置決め
- 積み重ねてXYステージとしたときの直交度< 5 mrad
- コントローラPDXCまたはPDXC2で駆動したときの最大速度: 10 mm/s
- D-Subメス型コネクタが接続された長さ1 mのケーブル付き
- ピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラPDXC、PDXC2、KIM001、またはKIM101が別途必要(下記参照)
開ループ式ピエゾステージORIC® PD3/Mの最大許容負荷は3 kgです。バックラッシュの無い動作が可能で、コントローラPDXCまたはPDXC2で駆動したときの最大速度は10 mm/sです。ピエゾ慣性アクチュエータは、ステージの停止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、マイクロメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。仕様の詳細は「仕様」タブをご参照ください。
ステージは平面度≤5 µmの面に設置してください。必要に応じて、フラットな面を有する取付けベースPD3B/MまたはPD1B3/M(別売り、上記参照)を使用することで、ステージの歪みを低減することができます。そのほか、上部プレート用アダプタや直角ブラケットアダプタもご用意しています。
各ステージには、コントローラPDXCまたはPDXC2に直接接続可能な15ピンD-Subコネクタの付いた、長さ1.0 mのケーブルが取付けられています。このケーブルを延長したい場合には、長さ3 mの延長ケーブルPDXCE(別売り、下記参照)をご使用いただけます。ステージとコントローラを接続するとき、ケーブルの静電容量により長さ4.5 mを超えるケーブルは使用できませんのでご注意ください。
ステージPD3/MをK-CubeコントローラKIM001またはKIM101に接続するには、アダプターケーブルPD2AD(長さ1 m、下記参照)をご使用いただけます。コントローラKIMx01に接続するときは、静電容量により長さ2.5 mを超えるケーブルは使用できませんのでご注意ください。
注: 動作中のステージではハイピッチのノイズが発生し、またある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作状態であり、故障ではありません。
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アダプタープレートPD3T/Mの概略図。ミリ規格のアダプタープレートの寸法は括弧内に記載されています。
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アダプタPD3T(/M)を用いると、2台のPD3(/M)でXYステージを構成できます。
- 様々な取付け穴を提供
- M2 x 0.4取付け穴
- #4-40取付け穴: 30 mmケージシステムまたはORIC回転ステージ用
- M4 x 0.7取付け穴
- M4ザグリ穴: ステージPD3/MでXYステージを構成するときの2台目取付け用(右の写真参照)
- M6 x 1.0取付け穴
- XYおよびXYZステージの構築に必要
- アダプタには、M2 x 0.4取付けネジが2本と、Ø2 mm位置決めピンが2本付属
アダプタープレートPD3T/Mを用いると、ステージPD3/Mに異なる取付け穴を付加したり、2台のPD3/MでXYステージを構築したりすることができます。アダプタープレートは、アライメント用位置決めピンも使用しながら、2つのザグリ穴スロットを4本のM4 x 0.7キャップスクリュで固定することで、ステージの上部プレートに取付けられます。アダプタープレートPD3T/Mの上面には4つの#4-40取付け穴が付いています。これには30 mmケージシステムを取付けることができますが、ケージロッドER05を用いれば ORIC回転ステージを取付けることも可能です。プレートの裏側にあるM4用ザグリ穴は、2台のステージPD3/Mを用いてXYステージを構築する際に、上の写真のように2台目の取り付け用としてご利用いただけます。
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取付けアダプタPD3B(/M)の概略図。ミリ規格の寸法は括弧内に記載されています。
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アダプターベースPD3B(/M)に取り付けられたステージPD3/M
- ステージPD3/Mの取付けに必要なフラットな面を提供(右写真参照)
- M6用取付けスロット
- テーブルやブレッドボードへの取付け時のステージの歪みを抑制
- 様々な取付け穴
- 両端付近のM2 x 0.4およびM4 x 0.7:PD3/Mステージ取付け用
- 中央付近のM2 x 0.4およびM4 x 0.7:PD1シリーズの20 mmステージ取付け用
- 裏側のM6 x 1.0: Ø25 mmまたはØ25.4 mm(Ø1インチ)ポストあるいはØ38 mm(Ø1.5インチ)ポスト取付け用
取付けアダプタPD3B/Mは、ステージPD3/Mを取り付けるうえで必要なフラットな面を提供します。ステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージが歪曲することでステージの速度変動やピッチ・ヨーの性能に影響が出ることがあります。平面度が十分でないテーブルやブレッドボードに取り付けるときには、ステージをこちらの取付けアダプタに取り付けることで、そのような歪曲を大幅に低減することができます。
アダプタPD3B/Mの両端にはM6用の取付けスロットがあり、そのスロット間の間隔は75.0 mmです。ステージPD3/Mは、ステージの中心線上の取付け穴を2本のM4 x 0.7ネジで固定することで取付けられます。そのときの最大トルクは0.55 N·mです。あるいは四隅のうちの2か所の取付け穴を、2本のM2 x 0.4ネジを用いて固定しても取付けられます。そのときの最大トルクは0.35 N·mです。PD3B/Mをブレッドボードに取り付けるときは、2本のM6キャップスクリュSH6MS10と、2個のM6対応1/4インチワッシャW25S050をご使用いただけます。この取付けアダプタには、PD1シリーズの20 mmステージ用の取付け穴のほか、裏側にはØ25 mmまたはØ25.4 mm(Ø1インチ)ポストやØ38 mm(Ø1.5インチ)ポスト用の取付け穴も付いています。
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アダプタープレートPD1B3(/M)の外形図。穴の横の記号の説明については、左表をご覧ください。 ミリ規格のアダプタープレートの寸法は括弧内に記載されています。
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アダプタPD1B3(/M)に取り付けられたステージPD3(/M)
- ORICシリーズのステージの取付けに必要なフラットな面を提供
- 不動態化処理されたステンレススチール製
- テーブルやブレッドボードへの取付け時のステージの歪みを抑制
- 寸法 (L x W x H):65.0 mm x 65.0 mm x 10.0 mm
汎用アダプタープレートPD1B3/Mは、ORICシリーズのすべてのピエゾ慣性ステージに対して、取付ける際に必要なフラットな面(平面度≤5 µm)を提供します。右の外形図の取付け穴(A~H)の詳細は下の表に示します。4つの#4-40ネジ穴を用いて30 mmケージシステムに取付けることができ、またブレッドボードに取付けるための2本のM6ネジが付属しています。
ステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージが歪曲することでステージの速度変動やピッチ・ヨーの性能に影響が現れることがあります。平面度が十分でないテーブルやブレッドボードに取り付けるときには、ステージをこれらの取付けアダプタに取り付けることで、そのような歪曲を大幅に低減することができます。
Labela | Holes/Slots Patternb | Spacingb (Stage Compatibility) | Threading Depth | Places |
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A | 1/4"-20 (M6) | 1" x 2" (25 x 50 mm) | Through | 6 |
B | Ø2 mm Dowel Pin Holes | 16 x 16 mm | 1.5 mm | 4 |
C | #4-40 | 30 x 30 mm (Item # PDR1(/M), PDR1V(/M)) | 3.5 mm | 4 |
D | 1/4"-20 (M6) C-Slot | 1" to 2" (25 to 50 mm) | N/A | 4 |
E | #00-90 (M1.2) | 10 x 10 mm (Item # PD2(/M), PDX2(/M)) | 3 mm | 4 |
F | #8-32 (M4) C-Slot | 1.25" (31.25 mm) | N/A | 1 |
G | #2-56 (M2) | 27.0 x 23.4 mm (Item # PDXZ1(/M), PD1(/M), PDX1(/M), PD1D(/M), PD1V(/M), PDR1C(/M)) / 40.8 x 30 mm | 7 mm | 8 |
H | #8-32 (M4) | 2" (50 mm) (Item # PD3(/M)) / 2" x 2" (50 x 50 mm) (Item # PDXR1(/M)) | 7.8 mm | 4 |
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アダプタPD3T/MおよびPD3Z/Mを使用すると、ステージPD3/Mを3台用いてXYZステージを構築できます。
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ブラケットPD3Z(/M)の概略図。ミリ規格のブラケットの寸法は括弧内に記載されています。
- ステージPD3/Mを垂直面に取り付けて、垂直方向に移動可能
- 垂直面を利用してZ軸、XZ軸またはXYZ軸のステージ構成が可能
直角ブラケットPD3Z/Mを用いると、PD3/Mを垂直面に取り付けることができます。このブラケットは、ベース部分の取付けスロットを2本のM4 x 0.7キャップスクリュで固定することで、ブレッドボードやステージの上部プレートに取付けられます。ステージをブラケットに垂直に取付けるときは、ステージの中心線上の取付け用ザグリ穴を、2本のM4 x 0.7キャップスクリュで固定します。精密にアライメントできるように、各面にはØ2 mm位置決めピン用の穴があります。
XYZステージの構成では、垂直ステージを移動させたときに、下側のステージの固定プレートと干渉する場合がありますのでご注意ください。3方向すべてについて全移動範囲を確保したい場合には、固定プレートを取り外してください。
注: 垂直方向に取り付けた状態で長期間(>30億ステップ)使用すると、レールがクリープし、移動距離が減少することがあります。性能を回復させるために、垂直方向でおよそ10億ステップ使用したら、ステージを水平に置いて全移動範囲にわたって前後に数回動かしてください。
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上のステージPD1の写真に示すように、位置決めピンPD1P1はほとんどのORIC®ステージの取付け穴に適合します。
- Ø2 mm、長さ3 mmの位置決めピン
- 耐食性のあるステンレススチール製
- 20個セットでご用意
位置決めピンPD1P1の寸法は、直径2 mm、長さ3 mmです。この製品は、当社のORIC®ステージ(4.5 mm垂直移動ステージ、20 mmおよび50 mm直線移動ステージ、回転ステージ、真空対応ステージ)に付属する位置決めピンの交換用としてご使用いただけます。ステンレススチール製で耐食性があります。
20個セットでご用意しております。
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Key Specificationsa | ||
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SMC Port | Number of Ports | Two |
Voltage | 0 to 40 V | |
Frequency | 20 kHz Max | |
D-Sub Port | Number of Ports | One |
Voltage | -10 to 50 V | |
Frequency | 20 kHz Max | |
Max Current Limit | 10 A | |
Front USB | Type A, USB Host 2.0 | |
Back USB | Type B, USB Device 2.0 | |
Voltage of Analog In/Out | -10 to 10 V, ±2% | |
Voltage of Trigger In/Out | 0 to 5 V, TTL | |
Input Power | 100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz |
- PDシリーズピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MとPDXR1/M用コントローラ
- 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
- SMCおよび15ピンDサブポートが使用可能
こちらのコントローラは、当社のピエゾ慣性アクチュエータ付きの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、そして回転ステージPDR1C/Mの制御用として設計されています。開ループステージ制御用のSMC出力端子が2チャンネル、開ループまたは閉ループステージ制御用の15ピンDサブ出力ポートが1チャンネル付いています。Dサブコネクタ付きのORICシリーズステージを使用するうえで延長ケーブルが必要な場合には、PDXCEをご使用いただけます(別売り、下記参照)。
組込まれたソフトウェアにより、フロントパネルのボタン、LCDディスプレイ、およびノブを使用して、このユニットをフル制御できます。また、組込みの外部トリガーモードはシングルチャンネル動作をサポートしています。複数のコントローラを接続することで、Dサブモードでラスタ走査のようなマルチチャンネル動作が可能です。ユーザは、PCに接続しなくても、出力ポートの選択、開ループ/閉ループのモード切り替え、ホーミングやエンコーダの校正などを行うことができます。ユニット上での制御のほかに、USB接続を利用してソフトウェアのプラットフォームで簡単にPC制御を行うこともできます。
ユニットには日本国内用の電源コードが付属します。すべての用途において、お手持ちの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。
詳細については、製品紹介ページをご参照ください。
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Key Specificationsa | ||
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Performance Specificationsa | ||
D-sub Port | Number of Ports | One |
Voltage | 0 to 56 V | |
Frequency | 20 kHz Max | |
Max Current Limit | 10 A | |
Front USB | Type A, USB HID Host | |
Back USB | Type B, USB Device 2.0 | |
I/O Port | Voltage of Analog In/Out | -10 to 10 V, ±2% |
Voltage of Trigger In/Out | 0 to 5 V, TTL | |
Ethernet PC Communication | One RJ-45 Port | |
Dimensions (L x W x H) | 115.2 mm x 150.0 mm x 48.5 mm (4.54” x 5.91” x 1.91”) | |
Weight | 0.53 kg | |
Input Power | 12 V, 3 A DAC |
- ORICシリーズのピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MとPDXR1/M用のコントローラ
- コンパクトな設計、ソフトウェアKinesis®による制御
- 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
- エネルギー効率の高いスイッチングアンプ回路によりピーク出力電流10 Aを実現
- 設定可能な高速通信インターフェイス:USB 2.0、ギガビットイーサネット、デジタルI/0、アナログI/0
- パルスレートの範囲:800 Hz~20 kHz
小型コントローラPDXC2 は、当社のピエゾ慣性アクチュエータで動作するORICシリーズの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1/MとPDXR1/Mの制御用として設計されています。1チャンネルの開ループまたは閉ループのステージを制御できるポート(15ピンDサブ)が付いています。Dサブ-SMCアダプターケーブルPDXC2AD(下記参照)を使用すると、SMCコネクタを有するステージに接続して開ループ動作での操作ができます。
コントローラPDXC2は、背面パネルのUSBポートまたはイーサネットポートからPCに接続できます。開ループと閉ループのモード切替え、ホーミング動作の実行、パラメータの最適化等の動作パラメータとシステム操作のすべては、Kinesis®ソフトウェア(上の「Kinesisソフトウェア」タブからダウンロードできます)を搭載したPCで制御できます。トリガーモードや移動パラメータなどを設定することで、ラスター走査といった動作を構成することができます。ORICシリーズの特定のエンコーダ付きステージ(型番PDX1/MとPDXR1/Mのみ)はモーションコントロールソフトウェアページ内のPDXC2 Calibration Toolを用いて校正できます。詳細はマニュアルをご覧ください。コマンドライン制御もUSBとRS-232のポートを用いて実行できます。
PDXC2は付属の12 VDC電源DS12 (入力電圧100~240 VAC、国内用AC電源ケーブル付属)で電源供給されます。 すべての用途において、お使いの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。
詳細は製品紹介ページをご参照ください。
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DB15オス-DB15メス
- ピエゾステージPDXZ1/M、PD2/M、PDX2/M、PDX1/M、PD3/MまたはPDXR1/Mのオス型Dサブコネクタとピエゾ慣性ステージ用コントローラPDXCまたはPDXC2の接続
- 長さ3 mの延長用ケーブル
延長ケーブルPDXCEは、ピエゾ慣性ステージ用コントローラPDXCまたはPDXC2と、ピエゾ慣性垂直移動ステージPDXZ1/M(移動慮4,5 mm)、直線移動ステージPD2/M(移動量5 mm)、 PDX2/M(移動量5 mm)、PDX1/M(移動量20 mm)、PD3/M(移動量50 mm)、または回転ステージPDXR1/Mとの接続にご利用いただけます。このケーブルを使用することでケーブルを3 m延長することができます。
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Key Specificationsa | ||
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Item # | KIM001 | KIM101 |
Piezoelectric Outputs (SMC Male) | One | Four |
Piezo Output Voltage | 85 to 125 VDC | 85 to 125 VDC per Channel |
Top Panel Controls | Scroll Wheel | Dual-Axis Joystick |
External Input (SMA Female) | ±10 V ± 2% | |
Input Power | +15 VDC @ 2 A | |
Housing Dimensionsb | 60.0 mm x 60.0 mm x 47.0 mm (2.36" x 2.36" x 1.85") | 121.0 mm x 60.0 mm x 47.0 mm (4.76" x 2.36" x 1.85") |
Compatible Software | Kinesis | |
Compatible Piezo Inertia Stagesc | 5 mm Linear Stage, 20 mm Linear Stages, 50 mm Linear Stage, & Rotation Stages |
- コンパクトな設置面積
- 出力電圧の調整範囲:85 V~125 V
- 1チャンネルおよび4チャンネルのタイプをご用意
- 上面のコントロールパネルとディスプレイ画面による単体での操作、またはUSB接続によるPC制御が可能
- 対応するステージについては右表をご覧ください。
こちらのコンパクトなK-Cubeコントローラを用いると、SMCコネクタを使用したピエゾ慣性ステージ、ピエゾ慣性アクチュエータ、およびピエゾ慣性アジャスタ付き光学マウントの手動操作やPC制御が簡単にできます。アダプターケーブルPD2AD(別売り、下記参照)を使用すると、当社の5 mm直線移動ステージPD2/Mや50 mm直線移動ステージPD3/Mにもお使いいただけます。出力電圧の調整範囲は85 V~125 Vです。上面パネルのディスプレイ画面を使用すれば、PCに接続しなくても、ユニットの電源をONにするだけですぐに操作を開始できます。また、どちらのコントローラもUSB接続によるプラグアンドプレイにより、当社のKinesis®ソフトウェアパッケージ(付属します)を用いたPC制御をすぐにご利用いただけます。
設置面積は小さく、ベースプレートのM6用ザグリ穴スロットを使用して光学テーブルに直接取り付けることができます。小型であるため電動システムの近くに設置することができ、これは上面パネルの操作スイッチ類を用いてモータの位置を手動で調整する際には便利です。また、テーブル上で操作すると駆動用ケーブルの長さが短くなり、ケーブルの管理も楽になります。
シングルチャンネルコントローラKIM001
このシングルチャンネルピエゾ慣性コントローラは、1台のピエゾ慣性ステージまたはピエゾ慣性アクチュエータに対して電圧を供給できます。上面パネルにはバネ付きのスクロールホイールがあり、これを用いてステージやアクチュエータを操作したりメニューを選択したりできます。
4チャンネルコントローラKIM101
この4チャンネルコントローラには、ピエゾ慣性デバイスを駆動するためのSMC出力端子が4つ付いています。これらのチャンネルは、上面パネルの2軸ジョイスティックを使用して、それぞれ単独あるいはペアで操作できます。このコントローラは、最大4台までのPDシリーズピエゾ慣性ステージまた PIAシリーズピエゾ慣性アクチュエータ、あるいは2台までのPIMシリーズ ピエゾ慣性光学マウントを操作するように設定できます。1台のKIM101では、コントローラのメニュー選択において同じ「Select Stage」の設定を選択するデバイス以外は、同時に駆動することはできません(詳細はマニュアル参照)。
詳細は製品紹介ページをご参照ください。
操作
こちらのステージを駆動する前に、コントローラKIM001またはKIM101のステージ設定を「PD(R)」に設定してください。「Select Stage」を選択し、「PIA」を「PD(R)」に変更してからコントローラを再起動してください。ディスプレイに「Stage is PD(R)」と表示され、ORIC PDシリーズステージを駆動できるように設定が変更されます。その他の前面パネルでの設定についての詳細は、下の赤いアイコン()をクリックしてコントローラKIM001またはKIM101のマニュアルをご覧ください。このドライバには鋸歯状波形の電圧信号発生器が内蔵されており、85 V~125 Vの範囲で振幅調整の可能なサブミリ秒のパルス(ステップ)を出力できます。
電源について
モーターコントローラKIM001およびKIM101には、電源は付属していません。対応する電源KPS201は別売り(下記参照)でご用意しています。
注:KIM001およびKIM101は、その設計上の特性と非線形の高周波スイッチング技術を使用していることにより、USBコントローラハブ&電源KCH301およびKCH601には対応していません。ご使用いただける電源はKPS201のみです。これらのコントローラはステージPDX1/Mにも対応していません。5 mmステージPD2/Mおよび50 mmステージPD3/Mに使用するには、アダプターケーブルPD2ADが必要です。
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DB15 オス-SMC メス
- ステージPD2/MまたはPD3/MのDサブコネクタ(オス)をSMC(メス)コネクタに変換
- インピーダンス: 50Ω
- RG174/U同軸ケーブル
ピエゾ素子駆動用ケーブルPD2ADは、ピエゾ慣性直線移動(リニア)ステージPD2/M(移動量5 mm)またはPD3/M(移動量50 mm)をK-CubeコントローラKIM001またはKIM101を使用して駆動する際に必要です。
なお、D-SubのPin 12はSMCコネクタの外側のシールド、Pin 13はSMCのコアワイヤに接続されています。