Products Home / オプトメカニクス用部品 / マウント / ミラーマウント(ミラーホルダ) / 円形光学素子用キネマティックマウント / クリアエッジミラーマウント / Polaris®クリアエッジ接着式キネマティックミラーマウントPolaris®クリアエッジ接着式キネマティックミラーマウント
- Design Provides Up to 145° of Clear Edge
- Glue Mount Design for Minimal Optic Distortion
- Matched Actuator/Body Pairs Minimize Drift and Backlash
- Heat Treating Minimizes Temperature-Dependent Hysteresis
POLARIS-K1C4
Ø1" Mirror Mount,
142° Clear Edge
POLARIS-K05C4
Ø1/2" Mirror Mount,
145° Clear Edge
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2枚のミラーを用いてそれぞれのミラー表面で光を1回だけ反射させる光学系では、POLARIS-K1C4(上)の2つのマウントはPOLARIS-K1S4(下)よりも互いにより近接していますが、マウントでクリッピングすることなくビームを入射・出射させることができます。
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POLARIS-K1C4には142°のクリアエッジがあり、これにより低い入射角のビームにも対応できます(「使用情報」タブ参照)。POLARIS-K05C4のクリアエッジは145°です。
特長
- Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウントのクリアエッジは145°、Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウントのクリアエッジは142°
- 熱膨張係数(CTE)の小さい熱処理済みステンレススチールより機械加工
- 2つのアジャスタは六角レンチを用いて調整
- 光学素子の歪みを最小限に抑える接着式のマウント設計
- 高い耐久性と滑らかな動きを実現するために、硬化処理ステンレススチール製ボールとの接点にはサファイアシートを使用
- 整合したアクチュエータ/本体のペアにより滑らかなキネマティック調整を実現
- 12.5 °Cの温度サイクル後の偏差は1 μrad未満を保証(詳細は「試験データ」タブ参照)
- 真空用および高出力レーザ共振器用に適した不動態化処理済みのステンレススチール製
- カスタム仕様のマウントについては当社までお問い合わせください。
これらのPolaris®クリアエッジ接着式ミラーマウントは、アライメントの長期安定性に対する厳しい要求に応えられる接着方式と、光学素子のエッジ部分を142°以上露出させる構造とを組み合わせた製品です。 このクリアエッジ設計により、エッジに近接した反射光がマウント筐体でクリッピングされることなく、露出した光学素子の外側直近を通過して系の外に出ることができます。
クリアエッジ設計
クリアエッジ設計の一般的な用途の一例を右の写真に示します。2枚のミラーを用いてそれぞれのミラー表面で光を1回だけ反射させる光学系を構成したとき、POLARIS-K1C4を用いた2枚のミラーでは、POLARIS-K1S4を用いた2枚のミラーよりも近接させながら、光学系からの出射時に光ビームのクリッピングも発生しないようにすることができます。同様に、POLARIS-K1C4とPOLARIS-K1S4をそれぞれ2つずつ同じ間隔で設置した光学系の場合、クリアエッジ設計のPOLARIS-K1C4を用いた光学系の方がビームをより浅い角度で入射させることができます。そのため、ビームが2枚のミラーで構成された光学系から出射するまでの反射回数を多くすることができます。これは、分散補償を目的として2枚のミラーを使用する場合に重要な特長です。
光学素子の取付け
これらのマウントでは、光学素子を光学接着剤を用いて恒久的に固定する取付けセルを採用しています。この取付け方法では、従来の止めネジ(セットスクリュ)やフレクシャ機構を用いた取付け方法に比べて光学表面の歪みが非常に小さくなります。「接着剤固定のチュートリアル」タブでは、接着剤を用いて光学素子をマウントに固定する方法、およびその固定方法により波面歪みが最小限に抑えられることを示すデータをご覧いただけます。当社では接着剤を使用せずに光学素子を固定するPolaris低歪みキネマティックミラーマウントもご用意しております。
設計
熱処理済みのステンレススチールから機械加工されたPolarisマウントには、ボール接触やサファイアシートを用いて精密に整合されたアジャスタが使用されており、滑らかなキネマティック調整が可能です。「試験データ」タブでご覧いただけるように、これらのマウントは様々な試験により、その高い性能が実証されています。このPolaris製品は、ビームに生じるミスアライメントの一般的な要因にすべて対応するように設計されています。詳しくは「設計の特長」タブをご覧ください。
ポストへの取付け
Polarisミラーマウントには、ポストに取り付けるためのM4用ザグリ穴があります。これらのマウントには取付け用ザグリ穴の周りにØ2 mmの位置決めピン用の穴があり、Polarisミラーマウント用のØ12.7 mm(Ø1/2インチ)ポストまたはØ25 mmポストと組み合わせて使用すると、精密にアライメントすることができます。推奨する取付け方法等については「使用方法」タブをご覧ください。
クリーンルームおよび真空への対応について
こちらのページに記載されているPolarisマウント、取り外し可能なノブ、止めナット、およびロック用カラーはすべてクリーンルームおよび真空で使用可能な設計になっています。詳細は「仕様」および「設計の特長」タブをご覧ください。
| Item # | POLARIS-K05C4 | POLARIS-K1C4 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| Optic Size | Ø1/2" | Ø1" | |||
| Glue Plane Style | Clear Edge | ||||
| Optic Thickness (Min) | No Minimum Thickness | ||||
| Number of Adjusters | Two | ||||
| Adjuster Drive | 5/64" Hex, Ø0.07" Side Adjustment Holes | ||||
| Adjuster Pitch | 130 TPI Matched Actuator/Body Pairs | 100 TPI Matched Actuator/Body Pairs | |||
| Measured Point-to-Point Mechanical Resolution per Adjuster | 5 µrad (Typical) 2 µrad (Achievable) | ||||
| Measured Adjuster Lock Mechanical Resolution per Adjustera | 5 µrad (Typical) 2 µrad (Achievable) | ||||
| Resolutionb | ~11.0 mrad/rev | ~7.0 mrad/rev | |||
| Front Plate Translation (Max) | N/Ac | ||||
| Mechanical Angular Range (Nominal) | ±4° | ||||
| Beam Deviationd After Thermal Cycling | < 1 μrad | ||||
| Recommended Optic Mounting Adhesivee | Norland Optical Adhesive 61 (NOA61) or EPO-TEK 301-2FL Low-Stress Optical Epoxy | ||||
| Mountingf | Two #8 (M4) Counterbores | ||||
| Alignment Pin Holes | Two Ø2 mm Holes for DIN 7-m6 Ground Dowel Pin at Each Counterbore | ||||
| Vacuum Compatibilityg | 10-9 Torr at 25 °C with Proper Bake Out; 10-5 Torr at 25 °C without Bake Out DuPont Krytox® LVP High-Vacuum Grease Vapor Pressure: 10-13 Torr at 20 °C ,10-5 Torr at 200 °C EPO-TEK® 353ND (353NDPK) Epoxy Meets Low Outgassing Standards NASA ASTM E595, Telcordia GR-1221 | ||||
| Operating Temperature Range | -30 to 200 °C | ||||
Polaris®ミラーマウントの試験データ
Polarisクリアエッジ接着式ミラーマウントに対しては、その高い性能を保証するために広範囲の試験を実施しております。PolarisのミラーマウントをØ25.4 mm(1インチ)のPolaris用ポストに取り付け、そのアセンブリを温度制御された環境下に置かれたステンレススチール製光学テーブルに固定しました。次に、独立に温度制御されている半導体レーザからのビームをこのミラーで反射し、ビーム位置センシングディテクタ(PSD)に入射するようにセットしました。
熱衝撃後の位置再現性
目的:この試験は、熱衝撃を受けた当社のクリアエッジ接着式マウントが、ヒステリシスなしでミラーをどの程度確実に初期位置に戻せるかを測定するものです。測定結果から、光学システムのアライメントが熱衝撃の影響を受けないことを示します。
手順:ミラーマウントの温度を少なくとも12.5 °C上昇させ、決められた時間その温度を維持しました。マウントの前面プレートに熱を加えて温度を上昇させ、背面プレートの底部に取り付けられたサーモカップルでその温度を測定しました。サーモカップルは背面プレート上に付いているため、前面プレートの温度は測定値よりも若干高くなっていることにご注意ください。高温に晒した後、ミラーマウントの温度を試験開始時の温度に戻します。試験結果は以下の通りです。
結果:下の拡張欄(More[+])のグラフに示すように、Polarisマウントの温度が初期値に戻ると、マウントに取り付けられているミラーの角度(ピッチとヨー)は初期位置の1 µrad以内に戻りました。Polarisマウントのこの性能試験は、温度変化のサイクルをさらに繰り返して実施しました。各サイクルの後に、ミラーの位置は確実に初期位置の1 µrad以内に戻っていました。
比較のための参考情報: Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウントの100 TPIアジャスタをわずか0.05°(1回転の1/7200)回転しただけで、マウントの角度は1 μrad変わります。高度な技術を有する作業者が行える微調整は0.3°(1回転の1/1200)ほどで、これは6 μradに相当します。
結論: Polarisミラーマウントは、温度を繰り返し変化させてもミラーを確実に初期位置に戻すことができる、高性能で高安定なマウントです。従って、Polarisマウントはアライメントの長期安定性を必要とする用途に適しています。
| Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)クリアエッジ接着式キネマティックマウント |
|---|
| Ø25.4 mm(Ø1インチ)クリアエッジ接着式キネマティックマウント |
|---|
ZYGO位相シフト干渉計を用いた光学歪みの測定
光学素子は取付けに伴う力によってその表面に歪みが生じます。光学素子の歪みは反射光の波面に影響するため、この歪みを最小限に留めることが重要です。
接着剤による取付けの過程で生じる光学歪みを測定するために、Zygo社製位相シフト干渉計を使用して、マウントされていないミラーとマウントされているミラーからの反射光の波面を測定しました。 この試験結果に基づいて、当社の接着式Polarisマウントでは波面歪みが最小限に抑えられていると結論づけることができました。
手順:
広帯域誘電体コーティング付きミラーを接着剤で固定せずにPOLARIS-K05C4およびPOLARIS-K1C4に緩く置きました。光学歪みはZygo製干渉計を用いて測定しました。UV硬化型Norland光学接着剤61(型番NOA61、下記参照)を使用して、光学素子をØ12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウントPOLARIS-K05C4およびØ25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウントPOLARIS-K1C4に接着しました。この取付けによって生じた歪みを再びZygo社製干渉計を用いて測定しました。
結果:
下の画像から、マウントに取り付けられた光学素子の表面の歪みは非常に小さいことが分かります。この測定結果では、接着剤でØ25.4 mm(Ø1インチ)マウントに固定した光学素子の波面歪み(RMS値)が0.010から0.008に減少したことを示しています。 この結果は、この光学素子の取付け方法では光学表面に実質的に何の変化も与えないことを示しています。従って、POLARIS-K05C4およびPOLARIS-K1C4は、波面歪みに敏感な用途にお使いいただくのに適した製品であると言えます。
POLARIS-K05C4に固定されていないミラー
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Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウントPOLARIS-K05C4に固定せずに置いたミラーの光学表面歪み
POLARIS-K05C4に固定されたミラー
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光学接着剤NOA61を用いてØ12.7 mm(Ø1/2インチ)ミラーマウントPOLARIS-K05C4に固定されたミラーの光学表面歪み
POLARIS-K1C4に固定されていないミラー
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Ø25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウントPOLARIS-K1C4に固定せずに置いたミラーの光学表面歪み
POLARIS-K1C4に固定されたミラー
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光学接着剤NOA61を用いてØ25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウントPOLARIS-K1C4に固定されたミラーの光学表面歪み
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ミラーマウントPOLARIS-K1C4(上)とPOLARIS-K1S4(下)をそれぞれ2つずつ同じ間隔で設置した場合、クリアエッジ設計のPOLARIS-K1C4の方が、この光学系から出射するまでの間のビームの反射回数をより多くすることができます。
Polaris®キネマティックミラーマウントは、温度変化や振動のある環境でも優れた性能が得られるように設計されています。以下では、性能を最大限に引き出すための使用上のヒントを示します。
止めナットをクロススレッド(斜めにねじ込む状態)しないように取り付けるには、まずアジャスタの先に止めナットをそっと置いてください。次に止めナットを緩める方向に回し、止めナットのネジとアジャスタのネジが整合してからアジャスタに締め込むようにしてください。この動画では止めナットPOLARIS-LN1を低歪みマウントPOLARIS-K1F1に取り付ける方法をご紹介しています。
取り付けオプション
Polarisマウントの前面プレートと背面プレートの材料として、熱膨張係数が比較的小さいステンレススチールが採用されています。Polarisマウントをポストに取り付けるときは、Polarisミラーマウント用Ø25 mmポストやクランプアームPOLARIS-CA1など、同じ材料から加工されたコンポーネントのご使用をお勧めします。マウント本体と同じ材料から加工されたコンポーネントを選ぶことで、膨張率や収縮率を整合させることができます。また可能な限り短いポストのご使用をお勧めします。さらに優れた性能を得るには、M6-M4ネジアダプタ(型番AE4M6M)を使用してPolarisマウントをブレッドボードなどの平坦な表面に直接取り付けてください。取り付け面が極めて平坦で研磨されており、異物や傷がないことをご確認ください。
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光学素子とノブPOLARIS-N5(別売り)を取り付けたØ25.4 mm(Ø1インチ)ミラーマウントPOLARIS-K1C4
マウントのアライメント
アライメントする際に前面プレートとベースプレートが平行になるようにしておくと、その後のビームの変動は最小限に抑えられます。これは、全ての調整ネジの温度変化に伴う熱膨張が均等になるためです。温度が変化した時に、マウントされたミラーは回転せずに、Z軸方向に移動します。
前面プレートの位置
このマウントでは8°までの調整が可能ですが、最良の性能を得るには、前面プレートを背面プレートに対して可能な限り平行にすることをお勧めします。そうすることで高い安定性が得られます。
接触部の研磨とクリーニング
マウントとポストの接触部、およびポストとテーブルの接触部はクリーンな状態を維持し、傷や欠陥が生じないように注意してください。最も効果的な方法として、テーブル面には研磨石を、ポストの上下面とマウントの底面には研磨パッドを使用してクリーニングすることをお勧めします。
Polaris用調整ツールの使用
当社の多くのPolarisアジャスタには、マウントの付属品または別売りの製品として、ステンレススチール製のノブをご用意しております。サイドホールアジャスタの付いたPolarisマウントには、サイドホール調整ツールSA1のご使用をお勧めします。先端がサイドホールに精密にフィットするため、バックラッシュのない調整が可能です。ステンレススチール製の本体は、クリーンなセットアップにも使用できるように化学洗浄されています。Polarisマウントのアジャスタを止めナットで固定するときは、下記のトルクレンチTW6またはTW13のご使用をお勧めします。これらのトルクレンチは、止めナットを長期的に固定するうえで適切なトルクをかけられるように設計されています。またトルクレンチは化学洗浄されているため、クリーンルームや真空チャンバ内でもご使用いただけます。
推奨しない使い方
本体からアジャスタ(アジャスターノブではありません)を取りはずすことは推奨していません。取り外すとネジに汚れが付着し、精密な調整ができなくなる可能性があります。また前面プレートを引き離すような操作は避けてください。バネが作動範囲以上に伸びてしまったり、サファイアシートに亀裂が入ったりする可能性があります。
アジャスタの止めナット
このページに掲載されているPolarisマウント用ロックナットPOLARIS-LN1およびPOLARIS-LN05は、別途ご注文いただくことができます(下記参照)。調整用つまみネジまたは六角レンチでビーム位置を保持しながら、止めナットを手で、または薄型レンチかコーンレンチで軽く締め付けます。アジャスタをたびたび調整しなければならない場合には、止めナットは手でおよそ0.03～0.06 N·mのトルクで軽く締めるだけで十分です。長期安定性を必要とする場合には、各止めナットに適切なトルクをかけるために、下のトルクレンチをご利用いただけます(トルク値については 下の表をご覧ください)。止めナット取付け時のクロススレッド(斜めにねじ込む状態)を防ぐために、まず止めナットをアジャスタに当ててネジが緩む方向に回し、かすかなネジの段差の感触でネジが整合したことを確認してからネジを締めるようにしてください。止めナットには、Polarisマウントと同様に、あらかじめ超高真空対応のアウトガスの少ないPTFEグリースが塗布されており、またアジャスタとの適合性も試験されています。
低入射角
POLARIS-K05C4には145°のクリアエッジがあり、POLARIS-K1C4には142°のクリアエッジがあります。これらのクリアエッジは入射角を低くしなければならない用途では有用です。上の写真では、2つのPolarisクリアエッジマウントに取り付けられたØ25.4 mm(Ø1インチ)ミラーに対して、ほぼ垂直に近い入射角でビームを入射しています。
Polaris接着式ミラーマウントにUV硬化接着剤を用いて光学素子を取り付ける手順
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接着式マウントの各接着面がハイライトされています。
Polaris®接着式ミラーマウントに光学素子を取り付ける方法
光学素子取付け面と光学素子本体に、グリース、汚れ、ホコリなどが付着していないことを確認してください。Polarisマウントは徹底してクリーニングしたのち、初めて開封したときに汚れが付着していないことを保証するために、2重の真空バッグに封入しています。光学素子を取り付ける前にマウントに触れた場合は、清浄な圧縮空気で異物を取り除くか、あるいはアセトンまたはメタノールでクリーニングしてください。清潔なステンレス製のアプリケータや注射器を用いて、光学接着剤を光学素子の背面が接触するマウントの接着面全体に薄く塗ります(右の写真参照)。接着剤としては、Norland光学接着剤61(型番NOA61、下記参照)をお勧めします。光学素子の縁を2つの接触点に沿わせて、光学素子の背面が接着剤に接触するまで滑り込ませます。次に、接着剤をUV硬化LEDシステムで硬化させます。
光学接着剤:当社では、取り扱いが容易なNorland光学接着剤61(型番NOA61、下記参照)のご使用をお勧めしています。10秒間の予備硬化および10分間の本硬化により300 psiの引張強さが得られ、その性能を-150 °C ～+125 °Cの広い温度範囲にわたって維持します。また、EPO-TEK 301-2FLもお勧めしています。NOA61よりも接着力は若干弱くなりますが、使用可能な最高温度は250 °Cになります。これ以外にもお客様の用途に応じた接着剤をご紹介できますので、必要な場合は当社までご相談ください。
1面での接着:波面歪みを最小限に抑えるために、接着は1面のみに限定し、光学素子の側面には接着剤が付かないようにしてください。Polaris接着式マウントの接着面にはリリーフカットがあり、余分な接着剤は光学素子のエッジに付着せずに流れ出るようになっています。 1面のみを接着することで、接着層にポケットや空隙ができにくくなります。その結果、接着面積の減少や接着力の低下を防止できます。またポケットや空隙があると、温度変化によるミスアライメントが生じやすくなります。さらに、背面のみを接着することで、接着剤が硬化した後に光学素子に生じるストレスが大幅に低減されます。
硬化中の温度: UV硬化プロセスの間、マウントの温度を制御する必要があります。加熱するとマウント、接着剤、光学素子が熱膨張しますので、マウントを著しく加熱するようなUVオーブンのご使用は避けてください。著しく加熱すると、冷却時に接着部に残留応力が生じ、光学素子を歪ませます。
こちらのマウントを使用することで得られる光学歪みの低減効果については、「試験データ」タブをご参照ください。
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Polarisクリアエッジ接着式ミラーマウントの設計の詳細
光学系のミスアライメントに繋がりやすい共通の要因がいくつかあります。温度が誘因となるミラー位置のヒステリシス、クロストーク、ドリフト、バックラッシュなどです。Polarisミラーマウントは特にこれらのミスアライメントの要因が最少化されるよう設計されており、その結果として極めて高い安定性が実現しました。広範囲の研究、先進の設計ツールを用いた数多くの設計検証や何か月間にも渡る厳格なテストの結果に基づき、極めて高い安定性が求められる実験に適したキネマティックミラーマウントの部品を選定しています。
熱ヒステリシス
多くの実験室内の温度は、空調や室内にいる人数、設備の動作状況などの影響を受けて不安定です。そのため、アライメントに敏感な光学セットアップで使用されるマウントには、温度によるアライメントへの影響が最小限となる設計が求められます。温度の影響は、ステンレススチールのように熱膨張係数(CTE)が小さい材質を選ぶことによって抑えられます。しかしCTEが小さい材質で作られたマウントであっても、元の温度に戻った時、一般にミラーは元の位置に戻りません。Polarisミラーマウントの重要部品は全て組立前に熱処理が施され、温度ヒステリシスを生じさせる可能性のある内部応力が除去されています。その結果、ミラーマウントの温度をアライメントの時点での温度に戻すと、光学系のアライメントも元に戻ります。
Polarisのもう1つの重要な設計要素は、ミラーのマウントへの取付け方法です。このPolarisマウントは、光学素子を固定するのに接着剤を使用します。光学素子を接着剤で恒久的に取り付けることで、光学表面の歪みが低減され、波面歪みに敏感な用途で優れた性能を発揮します。また接着剤で固定すると温度変動の影響を最小限に抑えることができ、温度に依存するヒステリシスを制限できます。
クロストーク
クロストークは、マウントの前面と背面のプレートの寸法公差を注意深く管理して、ピッチとヨーのアクチュエータを直交の位置関係にすることで最小化できます。当社ではさらに3つの接触点で全てサファイアシートを使用しております。標準的な金属-金属のアクチュエータの接触点では時間が経過するにつれて摩耗します。Polarisマウントでは研磨されたサファイアシートが使われており、硬化処理されたステンレススチール製のアクチュエーターチップとの間の接触面では時間が経過しても整合性が保たれます。
ドリフトならびにバックラッシュ
ミラーマウントの位置ドリフトとバックラッシュを最小限に抑えるためには、アジャスタ内のあそびと潤滑剤の量を制限することが必要です。アクチュエータが調整されると、余分な潤滑剤は絞り出されて他の部位に移動し、そこで蓄積します。 潤滑剤はゆっくりと平衡状態に戻っていきますが、その過程でマウントの前面プレートが移動する場合があります。Polarisミラーマウントでは、工業規格よりも厳しい基準で本体やブッシュと整合性のあるアジャスタを使用しているので、アジャスタの潤滑剤はほんのわずかしか必要ありません。結果として、調整後もPolarisマウントのアライメントは極めて高い安定性を示します(詳しくは「試験データ」タブをご参照ください)。また、アジャスタは非常に滑らかに動かすことができるので、繰り返し細かい調整を行なうことができます。
真空への対応と低アウトガス
こちらのページでご紹介しているPolarisマウントは、すべてクリーンルーム内および真空チャンバ内での使用が可能です。すべてCarpenter AAA不動態化処理による化学洗浄を行い、表面から硫黄、鉄、汚染物質などを除去しています。不動態化処理の後は、クリーンな(汚染されていない)環境下で組み立て、2重の真空バッグに入れてクリーンルームに搬入するまでの間に汚染されないようにしています。
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Polarisマウントは、2重の真空バッグに封入して発送しています。
サファイアシートは、NASAで認証されたアウトガスの少ない手法を用いて、所定の位置に接着されています。また、アジャスタには、DuPont社製LVP高真空対応グリースKrytox(超高真空対応のアウトガスの少ないPTFEグリース)を使用しています。このような技術により、高真空への対応とアウトガスの低減を実現しています。10-5 Torrより高い真空度で使用するときは、アウトガスによる汚染を最小限に止めるために、マウントの設置前に適切なベークアウト処理を施すことを強くお勧めします。なお、Polarisに付属しているM4キャップスクリュは、10-5 Torr以上の真空度には対応していませんのでご注意ください。
クリーンルーム対応の梱包
真空対応のPolarisマウントは、クリーンな(汚染されていない)環境下で組み立てられた後、右の写真のように2重の真空バッグに封入されます。真空気密により袋が密着するためマウントが安定し、輸送時の衝撃等による前面プレートの移動も制限されます。また、密着することで袋とマウントの摩擦も最小限に抑えられるため、袋の材料が削られてクリーンなマウントを汚染することも防げます。
真空封止の工程では、水分が含まれた空気がパッケージから排出されます。そのため、乾燥剤を使用することなく、不要な表面反応を防止できます。真空バッグは、輸送および保管中の空気や埃による汚染からマウントを保護し、さらに2重であることでクリーンルームへの入室手順をシンプルで有効性の高いものにすることができます。クリーンルームの外で外側の袋を外し、汚染されていない内側の袋に入ったマウントをクリーンなコンテナに入れてクリーンルーム内に搬入できます。この間、真空バッグの利点は保持されています。クリーンルーム内では、マウントを内側の袋から取り出して、すぐにご使用いただくことができます。
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ズーム
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145°のクリアエッジにより、ミラーのペアを、光路を邪魔せずに、低い入射角で近接して取り付けることができます(「使用情報」タブをご参照ください)。
- 145°のクリアエッジが低い入射角に対応
- Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)光学素子を接着剤で固定部に取り付けることにより波面歪みを最小限に抑制
- 六角レンチで調整する2アジャスタ型、アクチュエータと本体の組み合わせは130 TPI
- アジャスタ側面のØ1.8 mm貫通穴にドライバ等を挿して、微調整が可能
- 可変角度範囲：±4°、分解能：約11 mrad/rev
- 12.5 °Cの温度サイクル試験後の偏差は1 μrad未満(詳細は「試験データ」タブ参照)
クリアエッジ接着式キネマティックミラーマウントPOLARIS-K05C4は、145°のクリアエッジと光学素子を接着剤で装着する構造が特長です。マウントのクリアエッジ設計により低い入射角も可能なため、スペースが限られているシステムにも適しています。光学素子を接着剤で取り付けることで、ネジ固定と比較して光学表面の歪みを小さくするため、レーザ共振器構成のような用途に適しています。マウントに光学素子を取り付ける接着剤としてはNorland光学接着剤61(型番NOA61、下記参照)のご使用をお勧めします。
マウントの2アジャスタ型の設計により動きの自由度が制限されるため、安定性が向上します。130 TPIアジャスタにはØ1.8 mmの貫通穴が2つあり、当社の精密サイドホール調整ツールSA1(下記参照)または1.5 mmボールドライバや六角レンチを使用して側面からの作動が可能です。アジャスタには2 mm六角穴があり、SA1の端についている六角レンチ、つまみネジ型六角レンチHKTS-5/64(下記参照)、その他一般的な2 mm六角レンチが使用可能です。こちらのマウントのアジャスタは止めナットPOLARIS-LN05(別売り。下記参照)を使用して固定できます。アジャスタをたびたび調整しなければならない場合には、止めナットはおよそ0.03～0.06 N·mのトルクで軽く締め付けるだけで十分です。長期安定性を必要とする場合には、締め付けトルクとして0.17 N•mを推奨していますが、このトルクは当社のプリセット型トルクレンチTW6(下記参照)をご使用いただくと得ることができます。
マウントにはポスト取付け用M4ザグリ穴が2個付いています。透過型の光学素子を取り付ける場合は、開口部がブロックされないように低頭キャップスクリュ(M4および#8-32がそれぞれ1個ずつ付属)をご使用ください。開口の大きさは、M4キャップスクリュを使用した場合は8.6 mmに、#8-32キャップスクリュを使用した場合は9.9 mmになることにご注意ください。カスタム構成にされる場合には、取付け面に2個ずつあるØ2 mmのアライメント用ピンホールを利用して、精密な位置と取付け角度のアライメントができます。こちらのマウントには、Polarisミラーマウント用Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)またはØ25 mmポストをはじめとするØ2 mmのアライメント用ピンホールが付いたステンレススチール製ポストのご使用をお勧めいたします。位置決めには標準的なDIN 7-m6位置決めピンのご使用をお勧めします(詳細については下の赤い資料アイコンをクリックし、pdfまたはdxfの図をご覧ください)。
熱膨張係数が低い材料が必要な用途には、化学的に洗浄され、熱処理済みSUS416ステンレススチールから加工された前面プレート付きのマウントでご提供できます。また既存のマウントの前面プレートと交換したり、お客様に設置していただく交換用前面プレートをご提供することも可能です。詳細については当社までお問い合わせください。
ズーム
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142°のクリアエッジが低い入射角に対応
- 低角度入射用142°のクリアエッジ
- Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子を接着剤で固定部に取り付けることにより波面歪みを最小限に抑制
- 2アジャスタ型、ノブまたは六角レンチで調整、アクチュエータと本体の組み合わせは100 TPI
- アジャスタ側面のØ1.8 mm貫通穴を用いて微調整が可能
- 角度調整範囲：4°、分解能：約7.7 mrad/rev
- 12.5 °C の温度サイクル試験後の偏差は1 μrad未満
(詳細は「試験データ」タブ参照) - 取り外し可能ノブPOLARIS-N5を別売りでご用意
2アジャスタ型クリアエッジ接着式キネマティックミラーマウントPOLARIS-K1C4は、142°のクリアエッジと光学素子を接着剤で装着する構造が特長です。マウントのクリアエッジ設計により低い入射角も可能なため、スペースが限られているシステムにも適しています。光学素子を接着剤で取り付けるため光学表面の歪みが小さく、そのためレーザ共振器を構築する場合などに適しています。マウントに光学素子を取り付ける接着剤としてはNorland光学接着剤61(型番NOA61、下記参照)のご使用をお勧めします。
この2アジャスタ型の設計では、自由度を制限することで安定性を向上させています。100 TPIアジャスタにはØ1.8 mmの貫通穴が3つあり、当社の精密サイドホール調整ツールSA1(下記参照)または1.5 mmボール(六角)ドライバや六角レンチを使用して側面から操作することができます。各アジャスタには2 mm六角穴があり、SA1の端についている六角レンチ、つまみネジ型六角レンチHKTS-5/64(下記参照)、あるいは一般的な2 mm六角レンチで操作できます。そのほか、脱着可能な薄型の調整ノブPOLARIS-N5(下記参照)をアジャスタにねじ込むと、感触が向上してより微細な調整がしやすくなります。なお、その場合には着脱式ノブでアジャスタ側面の穴は塞がってしまいますのでご注意ください。マウントのアジャスタは、止めナットPOLARIS-LN1(別売り。下記参照)でロック可能です。アジャスタをたびたび調整しなければならない場合には、止めナットはおよそ0.03～0.06 N·mのトルクで軽く締め付けるだけで十分です。長期安定性を必要とする場合には、締め付けトルクとして0.23 N•mを推奨していますが、このトルクは当社のプリセット型トルクレンチTW13(下記参照)をご使用いただくと得ることができます。
マウントにはポスト取付け用M4ザグリ穴が2個付いています。取付けの配置が決められているときは、各取付け面にあるØ2 mmの位置決めピン用の穴を利用することで、取付けの位置と角度を精密に設定できます。こちらのマウントには、Polarisミラーマウント用Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)またはØ25 mmポストをはじめとするØ2 mmのアライメント用ピンホールが付いたステンレススチール製ポストのご使用をお勧めいたします。位置決めには標準的なDIN 7-m6位置決めピンのご使用をお勧めします(詳細については下の赤い資料アイコンをクリックし、pdfまたはdxfの図をご覧ください)。
熱膨張係数が低い材料が必要な用途には、化学的に洗浄され、熱処理済みSUS416ステンレススチールから加工された前面プレート付きのマウントでご提供できます。また既存のマウントの前面プレートと交換したり、お客様に設置していただく交換用前面プレートをご提供することも可能です。詳細は当社までお問い合わせください。
対応するノブのご注文は当社までご連絡ください。
ズームPolaris用推奨光学接着剤
Polarisミラーマウントへのご使用には、ガラスと金属の接着に優れた接着性を発揮し、低応力で取り付け可能なNOA61をお勧めいたします。ただし、硬化時間がより短い接着剤や急激な環境温度変化に柔軟性を有する接着剤などNOA601以外の接着剤もご使用いただけます。詳細についてはこちらをご覧ください。
- 低収縮率(1.5%)で低応力
- 光学素子への使用に適したガラスと金属を強力接着
- 推奨UV硬化照射強度：＞2 mW/cm2 @ 365 nm
光学接着剤NOA61は、透明で溶剤を含まない一液型接着剤です。UV光に当てると数秒でゲル化し、数分で強靭かつ弾性のある接着が得られるまで完全に硬化します。光学ガラスと金属を非常に低応力で接着できるよう最適化されているため、接着式Polarisミラーマウントへの使用に適しています。 この光学接着剤を硬化するには、UV光に当てる必要があります。当社では、最大で600 mW/cm2の照射強度が得られるUV硬化システムをご用意しています。
光学接着剤NOA61はガラス面の接着に非常に適しており、硬化後に研磨が可能です。この接着剤は光学接着剤に対する米連邦規格MIL-A-3920を満たしていて、米国政府からも認定を受けています。NOA61は金属、ガラス繊維、ガラス繊維入りプラスチックなどに優れた接着力を発揮します。
有効期限
こちらのUV硬化接着剤の有効期限は、製造元でパッケージされてから約8か月です。 当社では、お届け時に有効期限が最低でも3か月以上ある製品を発送しております。
| Item # | Adhesion | Viscosity @ 25 °C | na | Tensile Strength | Shore D Hardness | Net Weightb | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Glass | Metal | Plastic | ||||||
| NOA61 | Excellent | Excellent | Fair | 300 CPS | 1.56 | 3000 psi | 85 | 1 ± 0.07 oz (28 ± 2 g) |
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光学素子を取り付けたマウントPOLARIS-K1C4と着脱式ノブPOLARIS-N5(マウントとは別売り)
| Compatible Mounts |
|---|
| POLARIS-K25S4/M POLARIS-K25F4/M POLARIS-K1C4 POLARIS-K1G4 POLARIS-K1S4 POLARIS-K1S5 POLARIS-K15S4 POLARIS-K15F4 POLARIS-K50S4/M POLARIS-K50F4/M POLARIS-K2VS2 POLARIS-K2VS2L |
- 1/4"-100アジャスタの調整を容易に
- アジャスターネジに直接取付け
- マウントとは別売り
1/4"-100アジャスタ用Polaris®着脱式ノブを使用すると、Polarisキネマティックミラーマウントを手動で調整することが可能です。このノブは右表に記載している、一部のPolarisマウントにお使いいただけます。尚、こちらのマウントにノブをご使用の際は、アジャスターネジの側面にある貫通穴を塞ぐことになりますのでご注意ください。アジャスターネジの2 mm六角ソケットは、ノブを取り付けても使用可能です。
ノブは化学的に洗浄され、熱処理済みSUS303ステンレススチール製で、適切なベークアウトにより、25 °Cで10-9Torr(ベークアウトが行われなかった場合10-5Torr)までの真空度に対応します。
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- 2 mm(5/64インチ)の六角レンチを使用するアクチュエータの調整に便利
- 赤色アルマイト加工の調整ノブで六角レンチのサイズが刻印
- 六角チップは取り替え可能
- 1パック4個入り
この2 mm(5/64インチ)六角レンチ型の調整用つまみネジを使用することで、2 mm六角レンチで調整するアクチュエータ(またはノブを取り外した標準タイプのアクチュエータ)が迅速に調整できます。 これは取り外し可能なノブであるため、調整の合間にネジの六角穴に取り付けたままにしておくことができて便利です(右の写真参照)。 #8-32止めネジ(2 mm六角)が取り替え可能の六角形のビットを固定します。この取り替え可能なビットは、一方の先端がつぶれてしまっても、逆向きで再利用できます。 交換用の六角レンチ型ビットが必要な場合には、当社にお問い合わせください。
つまみネジ型六角レンチには、0.050～3/16インチと2 mm～5 mmのサイズの製品があります。
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SA1を用いたPOLARIS-K1S4のサイドホールと六角レンチによる調整
- Polarisアジャスタのサイドホールに精密にフィットするØ1.7 mmの先端
- ハンドル部分に2.0 mm六角レンチ
- 化学洗浄済みで、磁性のあるステンレススチール製
サイドホール調整ツールには、Polarisマウントのサイドホールアジャスタに精密にフィットするように設計されたØ1.7 mmの先端があります。ハンドルには2.0 mm六角レンチがついており、SA1を小さなつまみのように使用することができます。また中央のナットには6.0 mmレンチが取付け可能なため、長めのレバーアームを構成することもできます。精密な先端は調整時のバックラッシュが小さく、また深さストッパにより調整中のツールをサイドホール内にしっかり固定しておくことができます。Ø25 mmよりも大きいミラーマウントに対しては、ツールの長さが41.2 mmであるため、マウント背面にあるほかのアジャスタと干渉せずにアクチュエータを360°調整できます。
SA1は化学洗浄と硬化処理を施されたステンレススチール製で、耐久性があるうえにクリーンな環境にも対応します。磁性があるため、スペースのない、あるいは振動に敏感なセットアップでは磁石を使用してツールを回収することができます。
ズームクロススレッド(斜めにねじ込む状態)しないように止めナットを取り付けるには、アジャスタの先に止めナットをそっと置いてください。 止めナットを少々緩める方向に回し、止めナットのネジ部分とアジャスタのネジ部分を合わせてからアジャスタに締め付けてください。この動画では、低歪みマウントPOLARIS-K1F1に止めナットPOLARIS-LN1を取り付ける手順をご覧いただけます。
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マウントPOLARIS-K19S4に取り付けられた止めナットPOLARIS-LN05
- アジャスタの長期安定を保つ止めナット
- Polarisマウントに対応(一部対応しない製品もございます)
- 止めナットPOLARIS-LN05の内ネジは3/16"-130
- 止めナットPOLARIS-LN1の内ネジは1/4"-100
こちらの止めナットは、低頭アジャスタ以外のアジャスタが付いたPolarisキネマティックマウントにご使用いただけます。止めナットPOLARIS-LN05は3/16"-130アジャスタ用、POLARIS-LN1は1/4"-100アジャスタ用です。 アジャスタの長期安定性、または衝撃や振動にさらされる用途向けに設計されており、Polaris同様、あらかじめ高真空対応のアウトガスの少ないPTFE潤滑油が塗布されており、アジャスタとの適合性が試験されています。
アジャスタをたびたび調整しなければならない場合には、止めナットは手またはおよそ0.03～0.06 N·mのトルクで軽く締め付けるだけで十分です。 長期安定性を必要とする場合には、各止めナットに適切なトルクをかけるのに下記のトルクレンチがご使用いただけます(トルク値については 下記をご覧ください)。POLARIS-LN05には6 mmの六角レンチ、POLARIS-LN1には13 mmの六角レンチをそれぞれお使いください。止めナット締付け時のクロススレッド(斜めにねじ込む状態)を防ぐには、止めナットをアジャスタ部分に置いた際、止めナットがアジャスタのネジにはまるまで緩める方向に回し、その後アジャスタに締め付けてください。
ズーム- アジャスタの長期安定性を保持
- Polarisマウントに対応(一部使用できない製品あり)
- Ø8.4 mm x 厚さ1.9 mmの薄型
- スパナレンチPOLARIS-T2を使用して回転軸に沿った締め付けが可能
こちらのロック用カラーは、ピエゾ駆動のマウントや低頭アジャスタ付きのマウント(型番POLARIS-K1E3、POLARIS-K1E2)を除く、1/4"-100アジャスタが付いたPolarisマウントに対応します。アジャスタの長期安定性、または衝撃や振動にさらされる用途向けに設計されているこちらのロック用カラーには、Polarisマウントと同様、あらかじめ高真空対応のアウトガスの少ないPTFEグリースが塗布されており、またアジャスタとの適合性が試験されています。
スパナレンチPOLARIS-T2は、ロック用カラーPOLARIS-LNS1の固定用に特化して設計されています。ダブルスパナヘッドにより完全にかみ合い、またロック用カラーの調整はアジャスタと同一線上で行える設計です。スパナレンチの中心の貫通穴から2 mmボール(六角)ドライバが通るので、ロック用カラーを調整中にアジャスタを位置固定することができます。
アジャスタをたびたび調整しなければならない場合、ロック用カラーはおよそ0.03～0.06 N·mのトルクで軽く締め付けるだけで十分です。長期安定性を必要とする場合には、締め付けトルクとして0.23 N•mを推奨していますが、このトルクは当社のプリセット型トルクレンチTW13(下記参照)とスパナレンチPOLARIS-T2を合わせてご使用いただくと得ることができます。ロック用カラー締付け時のクロススレッド(斜めにねじ込む状態)を防ぐには、カラーをアジャスタの反対側に置き、カラーがアジャスタのネジにはまるまで緩める方向に回し、その後、アジャスタにねじ込んでください。
ズーム
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各レンチには型番とプリセットされたトルク値が刻印されています。
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トルクレンチTW6を使用して、ミラーマウントPOLARIS-K05T2に止めナットPOLARIS-LN05を固定
- Polaris止めナットとスパナレンチ用のプリセットトルクレンチ(対応する製品については下表をご覧ください)
- TW6: 6 mm六角、0.17 N•m
- TW13: 13 mm六角、0.23 N•m
- 適切なトルクを確実に負荷できるブレークオーバー(Break-Over)型
- 長期的に固定する用途に適しています。
こちらのトルクレンチには、Polarisマウントの止めナットを長期的に固定するうえで適切なトルク値がプリセットされています。仕様については下表をご覧ください。プリセットされたトルク値に達すると、右の写真のようにピボットジョイントが折れ曲がる仕組みになっています。力を抜くと、レンチの六角ヘッドは元の位置に戻ります。この設計により、止めナットに設定値以上のトルクが加わるのを防止しています。指標として刻印されている線は、定められたトルクをかけるためにレンチを回転させる角度を示しています。この線を越えてハンドルを回転させると、止めナットを締め付けすぎていることになります。レンチには、使用時に識別しやすいように、プリセットのトルク値、トルクをかける方向、レンチサイズ、および型番が刻印されています。
これらのレンチは、クリーンルームや真空チャンバ内でも使用可能です。すべてCarpenter AAA不動態化処理による化学洗浄を行い、表面から硫黄、鉄、汚染物質などを除去しています。不動態化処理の後は、クリーンな(汚染されていない)環境下で組み立て、2重の真空バッグに入れてクリーンルームに搬入するまでの間に汚染されないようにしています。レンチはビードブラスト加工されているため、レーザを使用するセットアップで作業するときでも反射光が最小限に抑えられます。
なお、こちらのレンチはアジャスタを高頻度で調整するためのものではありません(そのような用途で必要とされるトルク値は、通常0.03～0.06 N·mです)。
| Item # | Hex | Torque | Torque Accuracy | Compatible Items |
|---|---|---|---|---|
| TW6 | 6 mm | 24 oz-in (0.17 N•m) | ±1.44 oz-in (0.010 N•m) | POLARIS-LN05 3/16"-130 Lock Nut |
| TW13 | 13 mm | 32 oz-in (0.23 N•m) | ±1.92 oz-in (0.014 N•m) | POLARIS-LN1 1/4"-100 Lock Nut POLARIS-LN4 3/8"-100 Lock Nut POLARIS-T2 Spanner Wrench for POLARIS-LNS1 Locking Collar POLARIS-T3 Spanner Wrench for POLARIS-LNS05 Locking Collar |
 Polarisクリアエッジ接着式キネマティックミラーマウント |