ベンチトップ型ビデオ測定システム

High-Performance Measurement System in a Compact Footprint
High-Speed, Non-Contact 3-Axis Coordinate Measurement
Multisensor: Video, Touch, and Laser Sensors
Easy & Automated Part Inspection

VSM303
Benchtop Measurement System
305 mm x 305 mm x 200 mm Range

Dimensionally-Accurate Images of an 800 μm Pinhole (Left) and a Printed Circuit Board (Right) at 0.7X Magnification

As Shown at IMTS 2024

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概要
仕様
ビデオ構成
アクセサリ
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Thorlabs' Benchtop Multisensor Video System is customized to meet the demanding needs of your application. If you do not see a product or specification that you require or you are looking for assistance selecting a system, I'd be pleased to provide system recommendations based on your needs.

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検査用としての活用例

回路基板
電子機器
半導体
PC部品
製造
ソーラーパネル
ガスケット
プレス加工
医療機器

特長

XYZ測定範囲：305 mm x 305 mm x 100 mm*
広視野および電動式のズームレンズ
高性能かつ操作性に優れた計測用ソフトウェア
リニアエンコーダの分解能：0.1 µm
CNCおよび手動操作
高コントラストイメージング用の高解像度ビデオセンサ
マルチセンサ計測用のレーザおよびタッチプローブ
表面およびエッジ部分を強調するためのLEDを複数の種類から選択可能
人間工学に基づいたベンチトップ型ワークステーション
高度で多機能な計測制御ソフトウェアM3 MetLogix^®†

当社の新しいベンチトップ型ビデオ測定システムVSM303は、設置サイズが775 mm x 890 mm x 825 mmとコンパクトながら、高精度の3軸座標測定を高速かつ非接触で行うことができます。サイズは小型化されていますが、当社の大型のVideoMic^®システムと同様に、このクラスで最高レベルの性能を維持しています。このベンチトップ型マルチセンサ測定機は、当社の大型システムと同様の優れた性能を有し、初回製品、製品サンプル、あるいは製造工程全体において、重要な寸法の確認にご利用いただけます。自動化された検査プロトコル、用途に応じた光学配置、高解像度センサにより、多様なタイプと形状の部品を効率的に検査できます。公差レポートとエクスポートユーティリティを利用すると、必要に応じて製造工程を適宜修正したり、製品仕様が満たされていることを確認したりすることができます。

当社では、CMOSカメラ、ズームレンズ、照明などの幅広いラインナップから用途に合わせてビデオシステムをカスタマイズできます。詳細は「ビデオ構成」タブをご覧ください。システムの汎用性や機能性を向上させるためのアクセサリも、オプションとして多数ご用意しています。それにはRenishaw^®‡タッチプローブ、レーザーセンサ、タッチパネル式モニタ、統計的プロセス処理用コントロールソフトウェア、インポート/エクスポートユーティリティなどが含まれます。

オプション品の詳細については「アクセサリ」タブをご覧ください。カスタマイズやその他のオプションについては当社にご相談ください。

*この測定システムは現在開発段階にあり、すべての仕様は変更される可能性があります。
†MetLogixはMetLogix社の登録商標です。
‡RenishawはRenishaw社の登録商標です。

Exploring the Options?

当社のベースシステム、ビデオシステム、およびアクセサリの仕様を以下に示します。最も一般的に選択されているオプションは緑色でハイライト表示しています。

当社のビデオシステムのカスタマイズについては、「ビデオ構成」および「アクセサリ」の各タブをご覧いただくか、右のボックス内のContact Usボタンから当社までお問い合わせください。

ベースシステム

当社のベンチトップ型ビデオCMMシステムには、ブラシレスサーボが標準装備されています。

Specifications^a
XYZ Control
Stage Bearings		Mechanical
Stage Motors		Linear
Measurement Travel Range	X-Y	305 mm x 305 mm (12" x 12")
Measurement Travel Range	Z	100 mm (4")
Accuracy^b	X-Y (E2)	(2.5 + 5L/1000) µm
Accuracy^b	Z (E1)	(2.5 + 5L/1000) µm
Velocity	X-Y	150 mm/s
Velocity	Z	150 mm/s
Repeatability	Z	±3 µm (±0.00012") at High Magnification
Optical Encoder Resolution		0.1 µm
Unit Dimensions
Footprint^c	Width	775 mm (30.5")
Footprint^c	Depth	890 mm (35")
Total Height		825 mm (32.5")
Approximate Weight (Uncrated / Crated)		90 kg (200 lbs) / 122 kg (270 lbs)
General
Operating Temperature	Range	20 ± 0.5 °C (67 - 69 °F)
Operating Temperature	Rate	0.25 °C/hr (0.5 °F/hr)
Relative Humidity (Non-Condensing)		30% - 80%
Line Voltage		115 / 230 VAC, 50 / 60 Hz, Single Phase, 1.0 kW

こちらの製品はまだ開発段階にあり、仕様は変更される場合があります。
Lは点から点への移動距離、または対角移動距離です。これらの式は、認証済みのアーティファクト、2 µm以下のピクセル値、均等に分散された負荷、および標準測定面を使用して、20°Cで熱的に安定したシステムに適用されます。
この値には、ベースのエッジ部分を超えて最大限まで移動したステージ位置まで含まれますが、付属のPCやモニタの寸法は含まれません。

Camera Specifications
Resolution	1.3 MP	5 MP
Sensor Type	onsemi^®* PYTHON 1300 CMOS Color: NOIP1SE1300A-QDI	Sony^®† IMX264 CMOS Color: MX264LQR-C
Pixels (H x V)	1280 x 1024	2456 x 2054
Imaging Area (H x V)	6.14 mm x 4.92 mm	8.47 mm x 7.09 mm
Pixel Size	4.80 µm x 4.80 µm	3.45 µm x 3.45 µm
Optical Format	1/2"	2/3"
Frame Rate	88 fps	22 fps

*onsemi^®はSemiconductor Components Industries社の登録商標です。
†Sony^®はSony Groupの登録商標です。

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5メガピクセルカメラ

CMOSカメラ

当社の1.3メガピクセルおよび5メガピクセルカメラの仕様を右の表に示します。最も一般的に選択されているオプションは緑色でハイライト表示しています。

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上の透過率は補助レンズやエクステンションチューブを付けていない状態での値です。ARコーティングにより可視スペクトル域(およそ400～700 nm)における反射率は最小限に抑えられています。

ズームレンズ

ズームレンズシステムは、ズームレンズ、補助レンズ、エクステンションチューブの3つのモジュールで構成されています。各モジュールは下表の最初の3列に記載されています。3つのモジュールを組み合わせたシステム全体の倍率や視野などの仕様については、お選びいただいたモジュールの行の右側の欄をご覧ください。視野はご使用になるカメラのフォーマットに依存しますのでご注意ください。

最も一般的に選択されているオプションは緑色でハイライト表示しています。テレセントリックズームレンズをお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

同軸光入射ポート付きズームレンズ
側面に同軸光入射ポートが取付けられた倍率12Xおよび6.5Xのシステムの仕様は、以下の表の仕様と同じです。ただし、光は追加されたビームスプリッタを通過しなければならないため、透過率はわずかに低下する場合があります。また、倍率0.25X、0.5Xおよび0.75Xの補助レンズは、このタイプのズームレンズには対応しておりません。内部の同軸光は円形のエリアに照射されますが、その直径は倍率12Xのズームレンズで14 mm、倍率6.5Xのズームレンズで11 mmです。この範囲よりも視野が大きい場合は4隅が暗くなります。

倍率12Xのズームレンズシステムの仕様

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View^a (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size^b (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
12X	0.25X^c	0.5X	0.07 - 0.87	1/3": 85.71 - 6.89	2.33 - 5.8	341	66.66- 13.34	20.00 - 0.80
		0.67X	0.10 - 1.17	2/3": 72.00 - 9.35^d 1/3": 61.73 - 5.10	3.33 - 7.80
		1.00X	0.15 - 1.75	2/3": 75.88 - 6.28 1/3": 41.38 - 3.42	5.00 - 11.67
		1.33X	0.19 - 2.33	2/3": 57.89 - 4.72 1/3": 31.57 - 2.57	6.33 - 15.54
		2.0X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	9.67 - 23.34
		3.3X	0.48 - 5.78	2/3": 22.99 - 1.90 1/3": 12.54 - 1.04	16.59 - 40.53
	0.50X^c	0.5X	0.14 - 1.75	1/3": 42.85 - 3.42	2.59 - 5.82	165	37.04 - 6.66	6.17 - 0.19
		0.67X	0.19 - 2.35	2/3": 36.0 - 4.68^d 1/3": 30.87 - 2.55	3.60 - 7.68
		1.00X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	5.38 - 11.45
		1.33X	0.39 - 4.66	2/3": 18.96 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	7.22 - 15.51
		2.0X	0.58 - 7.00	2/3": 18.97 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	10.74 - 22.89
		3.3X	0.96 - 11.55	2/3": 11.50 - 0.95 1/3": 6.27 - 0.52	16.64 - 50.60
	0.75X^c	0.5X	0.22 - 2.62	1/3": 27.27 - 2.29	2.61 - 5.81	108	23.80 - 4.44	2.55 - 0.09
		0.67X	0.29 - 3.52	2/3": 24.3 - 3.12^d 1/3": 20.58 - 1.70	3.45 - 7.73
		1.00X	0.44 - 5.25	2/3": 25.30 - 2.09 1/3": 13.79 - 1.14	5.24 - 11.52
		1.33X	0.58 - 6.98	2/3": 18.96- 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	6.90 - 15.49
		2.0X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	10.35 - 23.05
		3.3X	1.44 - 17.33	2/3": 7.67 - 0.63 1/3": 4.18 - 0.35	16.62 - 46.34
	None (1.0X)	0.5X	0.29 - 3.49	1/3": 20.69 - 1.72	2.68 - 5.82	86	18.52 - 3.34	1.39 - 0.05
		0.67X	0.39 - 4.69	2/3": 18.20 - 2.34^d 1/3": 15.44 - 1.28	3.42 - 7.74
		1.00X	0.58 - 7.00	2/3": 18.79 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	5.09 - 11.55
		1.33X	0.77 - 9.31	2/3": 14.28 - 1.18 1/3": 7.79 - 0.64	7.13 - 5.54
		2.0X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	10.17 - 23.10
		3.3X	1.91 - 23.10	2/3": 5.75 - 0.48 1/3": 3.13 - 0.26	16.60 - 40.54
	1.5X	0.5X	0.43 - 5.23	1/3": 13.95 - 1.14	2.65 - 5.85	50	12.34 - 2.24	0.64 - 0.02
		0.67X	0.58 - 7.04	2/3": 12.20 - 1.55^d 1/3": 10.29 - 0.85	3.45 - 7.78
		1.00X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	5.18 - 11.60
		1.33X	1.16 - 14.00	2/3": 9.48 - 0.78 1/3": 5.17 - 0.44	7.15 - 15.68
		2.0X	1.74 - 21.00	2/3": 6.33 - 0.52 1/3": 3.45 - 0.29	10.74 - 23.34
		3.3X	2.87 - 34.65	2/3": 3.83 - 0.323 1/3": 2.09 - 0.17	16.62 - 40.77
	2.0X	0.5X	0.58 - 6.98	1/3": 10.34 - 0.85	2.61 - 5.79	37	9.00 - 1.66	0.35 - 0.01
		0.67X	0.78 - 9.38	2/3": 9.10 - 1.17^d 1/3": 7.72 - 0.64	3.42 - 7.79
		1.00X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	5.09 - 11.62
		1.33X	1.54 - 18.60	2/3": 7.14 - 0.59 1/3": 3.89 - 0.32	6.93 - 15.43
		2.0X	2.32 - 28.00	2/3": 4.75 - 0.40 1/3": 2.59 - 0.22	10.17 - 23.24
		3.3X	3.83 - 46.20	2/3": 2.88 - 0.24 1/3": 1.57 - 0.13	16.56 - 36.04
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ(MPS)は、最小特徴サイズが2つのピクセルにオーバーラップすることが可能なサイズで、MPS=1/2 x (最小特徴サイズ x システム倍率)で与えられます。これらは同軸光入射ポート付きズームレンズには対応していません。 0.9Xより小さいズーム設定ではケラレ(ビネット)が生じます。

倍率6.5Xのズームレンズシステムの仕様

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
6.5X	0.25X	0.5X	0.09 - 0.56	2/3": 91.40 - 19.52 1/3": 68.64 - 10.64	2.50 - 5.19	300	55.56 - 18.52	13.89 - 1.54
		0.67X	0.12 - 0.75	2/3": 93.62 - 14.66 1/3": 51.12 - 8.04	3.33 - 6.95
		1.00X	0.18 - 1.13	2/3": 62.84 - 9.76 1/3": 34.52 - 9.76	5.00 - 10.46
		1.33X	0.23 - 1.51	2/3": 47.25 - 7.34 1/3": 25.80 - 4.0	6.65 - 13.91
		2.0X	0.35 - 2.25	2/3": 31.42 - 4.88 1/3": 17.16 - 2.66	15.29 - 28.93
		3.3X	0.58 - 3.71	2/3": 19.04 - 2.96 1/3": 10.40 - 1.61	16.59 - 40.53
		5.0X	0.88 - 5.62	2/3": 12.56 - 1.96 1/3": 6.88 - 1.08	24.45 - 52.04
	0.50X	0.5X	0.18 - 1.13	2/3": 45.70 - 9.76 1/3": 34.32 - 5.32	2.73 - 5.38	175	30.30 - 9.52	4.13 - 0.41
		0.67X	0.23 - 1.50	2/3": 46.81 - 7.33 1/3": 25.56 - 4.00	3.48 - 7.14
		1.00X	0.35 - 2.25	2/3": 31.43 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	5.30 - 10.71
		1.33X	0.47 - 3.03	2/3": 23.63 - 3.68 1/3": 12.90 - 2.01	7.05 - 14.24
		2.0X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	10.61 - 21.42
		3.3X	1.16 - 7.43	2/3": 9.52 - 1.48 1/3": 5.20 - 0.81	15.44 - 39.08
		5.0X	1.75 - 11.25	2/3": 6.29 - 0.98 1/3": 3.43 - 0.53	26.51 - 53.55
	0.75X	0.5X	0.26 - 1.69	2/3": 30.50 - 6.52 1/3": 22.86 - 3.56	2.55 - 5.32	113	19.62 - 6.28	1.73 - 0.18
		0.67X	0.35 - 2.25	2/3": 31.21 - 4.89 1/3": 17.04 - 2.67	3.43 - 7.08
		1.00X	0.53 - 3.38	2/3": 20.95 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	5.20 - 10.63
		1.33X	0.70 - 4.54	2/3": 15.75 - 2.45 1/3": 8.59 - 1.34	6.92 - 14.13
		2.0X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	10.30 - 21.23
		3.3X	1.73 - 11.14	2/3": 6.35 - 0.99 1/3": 3.46 - 0.54	15.36 - 33.31
		5.0X	2.63 - 16.88	2/3": 4.19 - 0.65 1/3": 2.29 - 0.35	25.74 - 53.09
	None (1.0X)	0.5X	0.35 - 2.25	2/3": 22.90 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	2.54 - 5.28	92	14.50 - 4.70	0.95 - 0.10
		0.67X	0.47 - 3.00	2/3": 23.40 - 3.65 1/3": 12.77 - 2.01	3.41 - 7.04
		1.00X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	5.08 - 10.55
		1.33X	0.93 - 6.05	2/3": 11.81 - 1.83 1/3": 6.45 - 1.00	6.76 - 14.03
		2.0X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	10.15 - 21.11
		3.3X	2.31 - 14.85	2/3": 4.76 - 0.74 1/3": 2.60 - 0.40	15.29 - 29.11
		5.0X	3.50 - 22.50	2/3": 3.14 - 0.49 1/3": 1.72 - 0.27	25.38 - 52.76
	1.5X	0.5X	0.53 - 3.38	2/3": 15.00 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	2.60 - 5.32	51	9.80 - 3.14	0.43 - 0.04
		0.67X	0.70 - 4.50	2/3": 15.60 - 2.44 1/3": 8.52 - 1.33	3.43 - 7.09
		1.00X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	5.15 - 10.63
		1.33X	1.40 - 9.08	2/3": 7.88 - 1.22 1/3": 4.3 - 0.67	6.85 - 14.14
		2.0X	2.10 - 13.50	2/3": 5.24 - 0.81 1/3": 2.86 - 0.44	10.29 - 21.26
		3.3X	3.47 - 22.28	2/3": 3.18 - 0.49 1/3": 1.73 - 0.27	15.29 - 28.92
		5.0X	5.25 - 33.75	2/3": 2.10 - 0.33 1/3": 1.14 - 0.18	25.73 - 53.16
	2.0X	0.5X	0.70 - 4.50	2/3": 11.40 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	2.54 - 5.29	36	7.24 - 2.34	0.24 - 0.02
		0.67X	0.94 - 6.00	2/3": 11.70 - 1.83 1/3": 6.39 - 1.00	3.41 - 7.05
		1.00X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	5.08 - 10.58
		1.33X	1.86 - 12.10	2/3": 5.91 - 0.92 1/3": 3.22 - 0.50	6.76 - 14.07
		2.0X	2.80 - 18.00	2/3": 3.93 - 0.61 1/3": 2.15 - 0.33	10.15 - 21.15
		3.3X	4.62 - 29.70	2/3": 2.38 - 0.37 1/3": 1.30 - 0.14	15.30 - 28.70
		5.0X	7.00 - 45.00	2/3": 1.57 - 0.24 1/3": 0.86 - 0.13	25.38 - 52.88
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ(MPS)は、最小特徴サイズが2つのピクセルにオーバーラップすることが可能なサイズで、MPS=1/2 x (最小特徴サイズ x システム倍率)で与えられます。これらは同軸光入射ポート付きズームレンズには対応していません。 0.9Xより小さいズーム設定ではケラレ(ビネット)が生じます。

Probe Body Options
Series	TP20	TP200
Sensor Type	Kinematic	Strain Gauge
Application	Auto or Manual CMM, Suitable for Most Applications	Auto or Manual CMM with High Accuracy
Renishaw Stylus Range	M2 Threaded
Module Changing Racks	Manual and Motorized

Renishaw^®*タッチプローブ

当社のビデオシステムは、Renishaw社のTP20およびTP200シリーズの多くの3軸タッチトリガープローブに対応しています。これらはキットとして販売されており、あらかじめビデオシステムに組み込まれています。各キットにはプローブ本体、プローブモジュールおよびオプションの手動交換用または自動交換用のモジュールチェンジラックが含まれます。

Renishaw製プローブモジュールのラインナップと仕様については下の表をご覧ください。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。最も一般的に選択されているオプションは緑色でハイライト表示しています。

*RenishawはRenishaw社の登録商標です。

TP20 Series Probe Options and Specifications^a
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	Trigger Force (N) (Stylus Length^a)		Overtravel Force (N) (Stylus Length^a)			Overtravel Displacement			Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	XY^b	Z	XY	+Z	-Z	XY (deg.)	+Z (mm)	-Z (mm)	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, +Z	±0.60 µm	±0.35 µm	0.055	0.65	0.09	1.15	N/A	±14	3.1	N/A	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)		±0.80 µm	±0.35 µm	0.08	0.75	0.2 - 0.3	3.5	N/A	±14	4	N/A
Medium Force (MF)		±1.00 µm	±0.50 µm	0.10 (25 mm)	1.9 (25 mm)	0.2 - 0.4 (25 mm)	7 (25 mm)	N/A	±14	3.7	N/A
Extended Force (EF)		±2.00 µm	±0.65 µm	0.10 (50 mm)	3.2 (50 mm)	0.2 - 0.5 (50 mm)	10 (50 mm)	N/A	±14	2.4	N/A
6 Way (6W)	±X, ±Y, ±Z	±1.50 µm	±1.00 µm	0.14	1.60	0.25	2.5	9	±14	4.5	1.5

特に記載がない場合は、長さ10 mmのスタイラスを使用して480 mm/分の速度で測定しています。
測定圧力の低い方向(Low Force Direction)

TP200 Series Probe Options and Specifications
Module	Sense Direction	Unidirectional Repeatability		XY Form Measurement Deviation		XYZ Form Measurement Deviation		Trigger Force (N)		Overtravel Force^a (N)		Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	XY^b	Z	XY	Z	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, ±Z	±0.40 µm	±0.50 µm	±0.80 µm	±0.90 µm	±1 µm	±1.4 µm	0.02	0.07	0.1 - 0.15	1.6	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)										0.2 - 0.4	4.9
Extended Overtravel (EO)										0.2 - 0.4	4.9

変位量0.50 mmの場合
測定圧力の低い方向(Low Force Direction)

レーザーセンサ

Triangulation Displacement Sensor Specifications
Measuring Range		25 mm	50 mm
Measuring Range Spread	Start (SMR)	25 mm	35 mm
	Mid (MMR)	27.5 mm	60 mm
	End (EMR)	50 mm	85 mm
Linearity^b		≤ ±0.08%	≤ ±0.08%
Repeatability at Measuring Rate		1 µm	2 µm
Measuring Rate		2 kHz
Spot Diameter (±10%)	SMR	100 x 140 µm	90 x 120 µm
	MMR	120 x 130 µm	230 x 240 µm
	EMR	390 x 500 µm	630 x 820 µm
	Minimum	55 x 50 µm	70 x 65 µm
Laser Power		< 1 mw
Laser Color		Red (670 nm)
Laser Safety Class		Class 2 in Accordance with DIN EN 60825-1 : 2008-05

上記以外の測定範囲にも対応可能ですので、ご要望の際は当社までお問い合わせください。
リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。

三角測量方式レーザ変位センサは測定範囲に基づいて選択します。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。最も一般的に選択されているオプションは緑色でハイライト表示しています。

ビデオシステムのカスタマイズ

Exploring the Options?

ビデオCMMシステムのカスタマイズには、面照明やプロファイル照明、カメラ、ズームレンズシステムまたは両側テレセントリックレンズシステム、計測用ソフトウェアパッケージなどが必要です。システムのカスタマイズ用オプションについては、以下のセクションをクリックするとご覧いただけます。

金属プレス加工品の検査に使用されている当社のビデオシステム。プレス加工品の表面を電動式4分割ライトで照明しています。

照明

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各照明が取付けられたVideoMic CMM

LED照明

リングライト：面照明用
同軸ライト：反射光の少ない面照明用
4分割ライト：暗視野照明用、および照射角可変な照明用
リアライト：プロファイル照明用

ビデオ測定システムVideoMic^®は、リングライト、同軸ライト、4分割ライト、リアライトなどの面照明やプロファイル照明を組み合わせてカスタマイズすることができます。LEDベースの照明の寿命は10,000時間以上と長くなっています。すべての照明は、検査ルーチンの一部として、ソフトウェアを介して手動またはプログラムで制御できます。ソフトウェアで照明を手動調整する場合は、一度に1台ずつ調整します。ビデオシステムに取り付けられた各照明は、右の写真を拡大してご覧いただけます。照明の選択についてのご相談や、その他のご質問がありましたら当社までご連絡ください。

面照明
面照明には、リング型、同軸型および4分割型の照明器具が含まれます。リングライトにはLEDが40個付いており、ズームレンズの端に取り付けます。検査対象部分の表面形状を見るのに適した照明です。軸上照明は、反射率の高い面のイメージングや影を除去するのに適しています。当社では、倍率6.5倍または12倍のズームレンズの側面に取り付けられる同軸ライトをご用意しています。これには同軸入射の可能なズームレンズが必要になります。

当社の4分割ライトでは、内径92 mmの周囲に96個のLEDが付いています。これにより面に対して浅い角度で光を照射することができ、グレアを抑制できます。この4分割ライトは、右の写真のように、ズームレンズシステムに沿わせて取り付けます。位置は固定しておくこともできますし、カメラやレンズシステムとは独立にZ軸に沿って電動移動させることも可能です。

プロファイル照明
当社のプロファイル照明はステージ上のガラスの下に設置されますが、移動軸のX軸に接続されているためカメラと一緒に移動します。プロファイル照明の明るさは計測用ソフトウェアで直接調整できます。この照明は、エッジ検出、貫通穴の検出、透明な媒体の観察など、当社のビデオシステムがサポートする多数の機能を実行するうえで必要になります。

Lighting Options	Ring	Coaxial	Quadrant	Profile
Lighting Style	Top	Top	Top	Bottom
Angle of Incidence (AOI)	Off-Axis, High AOI	On-Axis	Off-Axis, Low AOI	N/A, Profile Light
Translation^a	N/A	N/A	Optional Z-Axis	N/A
LED Control	Manual or Programmatic Software Control
Applications	Near Coaxial Illumination Near Uniform Illumination Reduce Shadow Effects Surface Feature Analysis	Reduce Reflections Shadow-Free Image Highly Reflective Objects Surface Feature Analysis	Dark Field Illumination Edge Illumination Directionalized Illumination Surface Feature Analysis	Profile Lighting Tapped Holes and Bores Etching and Engravings Transparent Media
Light Source	LED
Color	White, 5500 K
Lifetime	>10 000 hr

カメラ(ガントリのXZ軸)およびステージの動きとは独立した追加の機能

カメラ

Camera Options	1.3 MP	5 MP
Sensor Type	onsemi PYTHON 1300 CMOS Color: NOIP1SE1300A-QDI	Sony IMX264 CMOS Color: MX264LQR-C
Pixels (H x V)	1280 x 1024	2456 x 2054
Imaging Area (H x V)	6.14 mm x 4.92 mm	8.47 mm x 7.09 mm
Pixel Size	4.80 µm x 4.80 µm	3.45 µm x 3.45 µm
Optical Format	1/2"	2/3"
Frame Rate	88 fps	22 fps

カメラ

1/2インチ光学フォーマットの1.3メガピクセルCMOSカラーカメラ
2/3インチ光学フォーマットの5メガピクセルCMOSカラーカメラ

当社ではビデオCMM用として1.3メガピクセルおよび5メガピクセルのCMOSカラーカメラをご用意しています。1.3メガピクセルのモデルには高品質の1/2インチ光学フォーマットセンサonsemi®* PYTHON 1300が搭載されており、その最大スピードは88 fpsです。ビデオステージに固定された大量の製品を素早くイメージングすることができます。5メガピクセルカメラには、2456 x 2054ピクセルの高解像度を有する2/3インチ光学フォーマットセンサ^®† IMX264LQR-Cが搭載されており、小さな物体の詳細な検査に適しています。1.3メガピクセルカメラと比較すると、5メガピクセルカメラの動作速度は22 fpsと低速になりますが、視野は広くなります。

当社の1.3メガピクセルおよび5メガピクセルのカメラ仕様を右の表に示します。

用途に適したカメラの選択に関するご相談は、当社までお問い合わせください。

*onsemi^®はSemiconductor Components Industries社の登録商標です。
†Sony^®はSony Groupの登録商標です。

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5 MP Camera

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Thorlabs' P800K 800 μm Pinhole Image Captured at 0.7X with a 5 MP Camera in Our Benchtop Video Measurement System

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Printed Circuit Board Image Captured at 0.7X with a 5 MP Camera in Our Benchtop Video Measurement System

ズームレンズシステム

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倍率12Xズームレンズおよび倍率0.67X補助レンズを使用した電動式ズームレンズシステム

ズームレンズシステム

倍率12Xの光学ズームレンズシステム
- 倍率0.25～2.0Xの補助レンズ
- 倍率0.5～3.3Xのエクステンションチューブ
倍率6.5Xの光学ズームレンズシステム
- 倍率0.25～2.0Xの補助レンズ
- 倍率0.5～5Xのエクステンションチューブ
各レンズには同軸光入射ポートの取り付けが可能

ズームレンズシステムは、ズームレンズ、補助レンズ、エクステンションチューブの3つのモジュールで構成されています。ズームレンズは、ベースとなる6.5Xまたは12Xの倍率を有します。補助レンズはズームレンズ筐体の端に取り付けて、ベースの倍率を増大または減少させます。エクステンションチューブは、それらの倍率の変化にかかわらず、カメラの位置を像面に一致させます。

各モジュールは下表の最初の3列に記載されています。システムの倍率や視野などの仕様は、お選びいただいたモジュールの行の右側の欄に示します。視野はご使用になるカメラのフォーマットに依存しますのでご注意ください。

最も一般的に選択されているシステムは緑色でハイライト表示しています。テレセントリックズームレンズをお探しの場合は、当社までお問い合わせください。

倍率12倍のズームレンズシステムの仕様

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View^a (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size^b (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
12X	0.25X^c	0.5X	0.07 - 0.87	1/3": 85.71 - 6.89	2.33 - 5.8	341	66.66 - 13.34	20.00 - 0.80
		0.67X	0.10 - 1.17	2/3": 72.00 - 9.35^d 1/3": 61.73 - 5.10	3.33 - 7.80
		1.00X	0.15 - 1.75	2/3": 75.88 - 6.28 1/3": 41.38 - 3.42	5.00 - 11.67
		1.33X	0.19 - 2.33	2/3": 57.89 - 4.72 1/3": 31.57 - 2.57	6.33 - 15.54
		2.0X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	9.67 - 23.34
		3.3X	0.48 - 5.78	2/3": 22.99 - 1.90 1/3": 12.54 - 1.04	16.59 - 40.53
	0.50X^c	0.5X	0.14 - 1.75	1/3": 42.85 - 3.42	2.59 - 5.82	165	37.04 - 6.66	6.17 - 0.19
		0.67X	0.19 - 2.35	2/3": 36.0 - 4.68^d 1/3": 30.87 - 2.55	3.60 - 7.68
		1.00X	0.29 - 3.50	2/3": 37.94 - 3.14 1/3": 20.69 - 1.71	5.38 - 11.45
		1.33X	0.39 - 4.66	2/3": 18.96 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	7.22 - 15.51
		2.0X	0.58 - 7.00	2/3": 18.97 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	10.74 - 22.89
		3.3X	0.96 - 11.55	2/3": 11.50 - 0.95 1/3": 6.27 - 0.52	16.64 - 50.60
	0.75X^c	0.5X	0.22 - 2.62	1/3": 27.27 - 2.29	2.61 - 5.81	108	23.80 - 4.44	2.55 - 0.09
		0.67X	0.29 - 3.52	2/3": 24.3 - 3.12^d 1/3": 20.58 - 1.70	3.45 - 7.73
		1.00X	0.44 - 5.25	2/3": 25.30 - 2.09 1/3": 13.79 - 1.14	5.24 - 11.52
		1.33X	0.58 - 6.98	2/3": 18.96- 1.57 1/3": 10.34 - 0.85	6.90 - 15.49
		2.0X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	10.35 - 23.05
		3.3X	1.44 - 17.33	2/3": 7.67 - 0.63 1/3": 4.18 - 0.35	16.62 - 46.34
	None (1.0X)	0.5X	0.29 - 3.49	1/3": 20.69 - 1.72	2.68 - 5.82	86	18.52 - 3.34	1.39 - 0.05
		0.67X	0.39 - 4.69	2/3": 18.20 - 2.34^d 1/3": 15.44 - 1.28	3.42 - 7.74
		1.00X	0.58 - 7.00	2/3": 18.79 - 1.57 1/3": 10.34 - 0.86	5.09 - 11.55
		1.33X	0.77 - 9.31	2/3": 14.28 - 1.18 1/3": 7.79 - 0.64	7.13 - 5.54
		2.0X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	10.17 - 23.10
		3.3X	1.91 - 23.10	2/3": 5.75 - 0.48 1/3": 3.13 - 0.26	16.60 - 40.54
	1.5X	0.5X	0.43 - 5.23	1/3": 13.95 - 1.14	2.65 - 5.85	50	12.34 - 2.24	0.64 - 0.02
		0.67X	0.58 - 7.04	2/3": 12.20 - 1.55^d 1/3": 10.29 - 0.85	3.45 - 7.78
		1.00X	0.87 - 10.50	2/3": 12.64 - 1.05 1/3": 6.89 - 0.57	5.18 - 11.60
		1.33X	1.16 - 14.00	2/3": 9.48 - 0.78 1/3": 5.17 - 0.44	7.15 - 15.68
		2.0X	1.74 - 21.00	2/3": 6.33 - 0.52 1/3": 3.45 - 0.29	10.74 - 23.34
		3.3X	2.87 - 34.65	2/3": 3.83 - 0.323 1/3": 2.09 - 0.17	16.62 - 40.77
	2.0X	0.5X	0.58 - 6.98	1/3": 10.34 - 0.85	2.61 - 5.79	37	9.00 - 1.66	0.35 - 0.01
		0.67X	0.78 - 9.38	2/3": 9.10 - 1.17^d 1/3": 7.72 - 0.64	3.42 - 7.79
		1.00X	1.16 - 14.00	2/3": 9.49 - 0.78 1/3": 5.18 - 0.43	5.09 - 11.62
		1.33X	1.54 - 18.60	2/3": 7.14 - 0.59 1/3": 3.89 - 0.32	6.93 - 15.43
		2.0X	2.32 - 28.00	2/3": 4.75 - 0.40 1/3": 2.59 - 0.22	10.17 - 23.24
		3.3X	3.83 - 46.20	2/3": 2.88 - 0.24 1/3": 1.57 - 0.13	16.56 - 36.04
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ（MPS）は、最小特徴サイズが2つのピクセルにオーバーラップすることが可能なサイズで、MPS=1/2 x (最小特徴サイズ x システム倍率)で与えられます。これらは同軸光入射ポート付きズームレンズには対応していません。 0.9Xより小さいズーム設定ではケラレ(ビネット)が生じます。

倍率6.5Xのズームレンズシステムの仕様

Zoom Lens	Auxiliary Lens Options	Extension Tube Options	System Optical Magnification	Field of View (mm) (High - Low)	Matching Pixel Size (µm) (Low - High)	Working Distance (mm)	Resolving Limit (µm) (Low - High)	Depth of Field (Low - High)
6.5X	0.25X	0.5X	0.09 - 0.56	2/3": 91.40 - 19.52 1/3": 68.64 - 10.64	2.50 - 5.19	300	55.56 - 18.52	13.89 - 1.54
		0.67X	0.12 - 0.75	2/3": 93.62 - 14.66 1/3": 51.12 - 8.04	3.33 - 6.95
		1.00X	0.18 - 1.13	2/3": 62.84 - 9.76 1/3": 34.52 - 9.76	5.00 - 10.46
		1.33X	0.23 - 1.51	2/3": 47.25 - 7.34 1/3": 25.80 - 4.0	6.65 - 13.91
		2.0X	0.35 - 2.25	2/3": 31.42 - 4.88 1/3": 17.16 - 2.66	15.29 - 28.93
		3.3X	0.58 - 3.71	2/3": 19.04 - 2.96 1/3": 10.40 - 1.61	16.59 - 40.53
		5.0X	0.88 - 5.62	2/3": 12.56 - 1.96 1/3": 6.88 - 1.08	24.45 - 52.04
	0.50X	0.5X	0.18 - 1.13	2/3": 45.70 - 9.76 1/3": 34.32 - 5.32	2.73 - 5.38	175	30.30 - 9.52	4.13 - 0.41
		0.67X	0.23 - 1.50	2/3": 46.81 - 7.33 1/3": 25.56 - 4.00	3.48 - 7.14
		1.00X	0.35 - 2.25	2/3": 31.43 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	5.30 - 10.71
		1.33X	0.47 - 3.03	2/3": 23.63 - 3.68 1/3": 12.90 - 2.01	7.05 - 14.24
		2.0X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	10.61 - 21.42
		3.3X	1.16 - 7.43	2/3": 9.52 - 1.48 1/3": 5.20 - 0.81	15.44 - 39.08
		5.0X	1.75 - 11.25	2/3": 6.29 - 0.98 1/3": 3.43 - 0.53	26.51 - 53.55
	0.75X	0.5X	0.26 - 1.69	2/3": 30.50 - 6.52 1/3": 22.86 - 3.56	2.55 - 5.32	113	19.62 - 6.28	1.73 - 0.18
		0.67X	0.35 - 2.25	2/3": 31.21 - 4.89 1/3": 17.04 - 2.67	3.43 - 7.08
		1.00X	0.53 - 3.38	2/3": 20.95 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	5.20 - 10.63
		1.33X	0.70 - 4.54	2/3": 15.75 - 2.45 1/3": 8.59 - 1.34	6.92 - 14.13
		2.0X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	10.30 - 21.23
		3.3X	1.73 - 11.14	2/3": 6.35 - 0.99 1/3": 3.46 - 0.54	15.36 - 33.31
		5.0X	2.63 - 16.88	2/3": 4.19 - 0.65 1/3": 2.29 - 0.35	25.74 - 53.09
	None (1.0X)	0.5X	0.35 - 2.25	2/3": 22.90 - 4.89 1/3": 17.16 - 2.67	2.54 - 5.28	92	14.50 - 4.70	0.95 - 0.10
		0.67X	0.47 - 3.00	2/3": 23.40 - 3.65 1/3": 12.77 - 2.01	3.41 - 7.04
		1.00X	0.70 - 4.50	2/3": 15.71 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	5.08 - 10.55
		1.33X	0.93 - 6.05	2/3": 11.81 - 1.83 1/3": 6.45 - 1.00	6.76 - 14.03
		2.0X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	10.15 - 21.11
		3.3X	2.31 - 14.85	2/3": 4.76 - 0.74 1/3": 2.60 - 0.40	15.29 - 29.11
		5.0X	3.50 - 22.50	2/3": 3.14 - 0.49 1/3": 1.72 - 0.27	25.38 - 52.76
	1.5X	0.5X	0.53 - 3.38	2/3": 15.00 - 3.26 1/3": 11.43 - 1.78	2.60 - 5.32	51	9.80 - 3.14	0.43 - 0.04
		0.67X	0.70 - 4.50	2/3": 15.60 - 2.44 1/3": 8.52 - 1.33	3.43 - 7.09
		1.00X	1.05 - 6.75	2/3": 10.48 - 1.63 1/3": 5.72 - 0.89	5.15 - 10.63
		1.33X	1.40 - 9.08	2/3": 7.88 - 1.22 1/3": 4.3 - 0.67	6.85 - 14.14
		2.0X	2.10 - 13.50	2/3": 5.24 - 0.81 1/3": 2.86 - 0.44	10.29 - 21.26
		3.3X	3.47 - 22.28	2/3": 3.18 - 0.49 1/3": 1.73 - 0.27	15.29 - 28.92
		5.0X	5.25 - 33.75	2/3": 2.10 - 0.33 1/3": 1.14 - 0.18	25.73 - 53.16
	2.0X	0.5X	0.70 - 4.50	2/3": 11.40 - 2.44 1/3": 8.58 - 1.33	2.54 - 5.29	36	7.24 - 2.34	0.24 - 0.02
		0.67X	0.94 - 6.00	2/3": 11.70 - 1.83 1/3": 6.39 - 1.00	3.41 - 7.05
		1.00X	1.40 - 9.00	2/3": 7.86 - 1.22 1/3": 4.29 - 0.67	5.08 - 10.58
		1.33X	1.86 - 12.10	2/3": 5.91 - 0.92 1/3": 3.22 - 0.50	6.76 - 14.07
		2.0X	2.80 - 18.00	2/3": 3.93 - 0.61 1/3": 2.15 - 0.33	10.15 - 21.15
		3.3X	4.62 - 29.70	2/3": 2.38 - 0.37 1/3": 1.30 - 0.14	15.30 - 28.70
		5.0X	7.00 - 45.00	2/3": 1.57 - 0.24 1/3": 0.86 - 0.13	25.38 - 52.88
視野はセンサの対角線に沿って測定したものです (水平視野 = 対角視野 x 0.8、垂直視野 = 対角視野 x 0.6)。視野は選択したカメラのフォーマットによって変わります。表では1/3インチおよび2/3インチのカメラフォーマットを使用したときの値を示しています。マッチングピクセルサイズ（MPS）は、最小特徴サイズが2つのピクセルにオーバーラップすることが可能なサイズで、MPS=1/2 x (最小特徴サイズ x システム倍率)で与えられます。これらは同軸光入射ポート付きズームレンズには対応していません。 0.9Xより小さいズーム設定ではケラレ(ビネット)が生じます。

両側テレセントリックレンズ

Bi-Telecentric Lens Options	0.128X	0.243X
Magnification Tolerance	±1%
Working Distance^a	179.0 mm	97.9 mm
C-Mount Flange Focal Distance	17.5 mm
Image Diagonal	11 mm (2/3" Format)
Max Distortion	0.16%	0.10%
Depth of Field^b	±15 mm	±11 mm
System f/#	f/7	f/8
Field of View (2/3" Format Sensor)^c	85.9 mm	45.3 mm
Telecentricity	0.03°
Modulation Transfer Function (MTF)^d	> 55%	> 51%
Coherent Transfer Function (CTF)^d	> 67%	> 63%
Image NA	0.071	0.062
Object NA	0.0091	0.015
Average Transmittance^e	94% Over 460 - 630 nm

作動距離は被写界深度の中心からレンズ筐体(最も近い部分)までの距離と定義します。
70 lp/mm、50% MTFにおける仕様
視野の仕様はセンサの対角方向で定義しています。
被写体全体が70 lp/mmの場合の仕様
460～630 nmにおける仕様

両側テレセントリックレンズ

倍率0.128Xの両側テレセントリックレンズ：最大2/3インチまでのセンサーフォーマット用
倍率0.243Xの両側テレセントリックレンズ：最大2/3インチまでのセンサーフォーマット用
物体の距離にかかわらず一定の倍率を保持

当社ではマシンビジョンの用途向けに両側テレセントリックレンズをラインナップしております。両側テレセントリックレンズの倍率は、像空間および物体空間における距離(被写界深度範囲内)や視野内での位置にかかわらず一定です。この特性はマシンビジョンの用途に適しています。テレセントリックレンズを使用して寸法計測をすると、物体の距離や位置が変わっても同じ計測値を得ることができます。

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倍率0.128Xの両側テレセントリックレンズ

ソフトウェア

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M3ソフトウェアのGUI

計測用ソフトウェアM3 MetLogix^®*

動作、照明、器具などを制御するカスタムルーチンのプログラムが可能
Microsoft Windows^®環境がオンラインヘルプ付きで使用できるため、トレーニングが容易
プログラムはCADデータから自動的に作成することも、あるいは手動で部品を測定しながらその過程を記録することで作成することも可能
選択的特徴量を計測するための拡張ビデオエッジ検出(VED)
線幅、円、重心、バッファなどの様々なビデオエッジ検出ツールにより測定プロセスを高速化
システムが特徴的な形体の位置と大きさを報告することで製造プロセスを最適化
デカルト座標、真位置、LMC、MMCに対する公差表示

ビデオ測定システムVideoMic^®にはソフトウェアパッケージM3 MetLogix^®が付属しています。このソフトウェアは、X、Yの2軸測定および精密Z軸測定をサポートしています。3次元容積測定には対応していませんのでご注意ください。ビデオエッジ検出(VED)ツールを使用すると、半径、直径、距離、角度の算出や、検査中の部品の自動アライメントが可能になります。単位変換と非線形誤差補正の機能が標準で付いています。

一体型のモーションコントロールソフトウェアにより、自動および半自動での測定や検査ルーチン、インタラクティブなグラフィックパーツマッピングが可能です。このシステムはタッチパネル機能を最大限に活用して、学習プロセスを強化しています。当社の三角測量用レーザーセンサを使用する場合には、このパッケージが必要です。

*MetLogixはMetLogix社の登録商標です。

アクセサリ(オプション)

Exploring the Options?

当社のビデオ測定機は、タッチトリガープローブと非接触レーザープローブを1台の機械に装備することで機能を向上させることができます。このマルチセンサの機能によりシステムの柔軟性が高められ、システムを切り替えることなく非常に複雑な部品の精密な測定や検査が可能になります。当社のアクセサリのラインナップについては、下記の各セクションをクリックし、展開してご覧ください。

当社のビデオシステムで製品を検査する様子。Renishaw^®タッチトリガープローブを使用しています。

Renishaw^® タッチプローブのオプション

Probe Body Options
Series	TP20	TP200
Sensor Type	Kinematic	Strain Gauge
Application	Auto or Manual CMM, Suitable for Most Applications	Auto or Manual CMM with High Accuracy
Renishaw Stylus Range	M2 Threaded	M2 Threaded
Module Changing Racks	Manual and Motorized

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当社のビデオシステムに取り付けられたキネマティックタッチトリガープローブRenishawTP20

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LF、SFおよびMFプローブモジュール、および様々な先端形状のM2スタイラス

Renishaw^®*タッチプローブのオプション

TP20シリーズの3軸キネマティックタッチトリガープローブ
TP200シリーズの3軸歪みケージタッチトリガープローブ

当社のビデオ測定システムは、Renishaw社のTP20およびTP200シリーズの多くの3軸タッチトリガープローブに対応します。これらはキットとして販売されており、あらかじめビデオシステムに組み込まれています。各キットにはプローブ本体、プローブモジュール、スタイラス、およびオプションの手動交換用または自動交換用のモジュールチェンジラックが含まれます。プローブアセンブリをビデオ測定システムに取り付けるときは、定位置にとどまるように構成したり、使用しない時にシステムを電動で後退させたりすることができます。

TP20シリーズ
TP20シリーズの設計は、2つのボールベアリングの間にロッドを配置した仕組みを3組、互いに約120°間隔で配置した、バネ負荷式のキネマティック構造になっています。スタイラスが部品に接触すると、内部のバネがそのわずかな力に抵抗しますが、ボールシートには変位と回転が生じます。この変位によってシステムにトリガ信号が送られ、測定を停止して信号が記録されます。

TP200シリーズ
TP200シリーズは、TP20シリーズと同様のキネマティック機構を使用してスタイラスを保持しますが、このシリーズは機械的な動作を利用してイベントをトリガすることはありません。その代わりに、1組のシリコンベースの歪ゲージがキネマティック機構の上に配置されています。これらのゲージは、任意の方向からスタイラスにかかる力を測定し、その力が設定値を超えると測定をトリガします。

Renishaw社製プローブモジュールのラインナップと仕様については下の表をご覧ください。カスタマイズやその他のオプションについては当社にご相談ください。

*RenishawはRenishaw社の登録商標です。

TP20 Series Probe Options and Specifications^a
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	Trigger Force (N) (Stylus Length^a)		Overtravel Force (N) (Stylus Length^a)			Overtravel Displacement			Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Pre-Travel Variation	Unidirectional Repeatability	XY^b	Z	XY	+Z	-Z	XY (deg.)	+Z (mm)	-Z (mm)	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, +Z	±0.60 µm	±0.35 µm	0.055	0.65	0.09	1.15	N/A	±14	3.1	N/A	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)		±0.80 µm	±0.35 µm	0.08	0.75	0.2 - 0.3	3.5	N/A	±14	4	N/A
Medium Force (MF)		±1.00 µm	±0.50 µm	0.10 (25 mm)	1.9 (25 mm)	0.2 - 0.4 (25 mm)	7 (25 mm)	N/A	±14	3.7	N/A
Extended Force (EF)		±2.00 µm	±0.65 µm	0.10 (50 mm)	3.2 (50 mm)	0.2 - 0.5 (50 mm)	10 (50 mm)	N/A	±14	2.4	N/A
6 Way (6W)	±X, ±Y, ±Z	±1.50 µm	±1.00 µm	0.14	1.60	0.25	2.5	9	±14	4.5	1.5

括弧内に特に記載がない場合は、長さ10 mmのスタイラスを使用して480 mm/分の速度で測定しています。
測定圧力の低い方向(Low Force Direction)

TP200 Series Probe Options and Specifications
Module	Sense Direction	Unidirectional Repeatability		XY Form Measurement Deviation		XYZ Form Measurement Deviation		Trigger Force (N)		Overtravel Force^a (N)		Repeatability of Stylus Changing
Module	Sense Direction	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	Trigger 1	Trigger 2	XY^b	Z	XY	Z	Repeatability of Stylus Changing
Low Force (LF)	±X, ±Y, ±Z	±0.40 µm	±0.50 µm	±0.80 µm	±0.90 µm	±1 µm	±1.4 µm	0.02	0.07	0.1 - 0.15	1.6	Motorized: ±0.50 μm Manual: ±1.0 μm
Standard Force (SF)										0.2 - 0.4	4.9
Extended Overtravel (EO)										0.2 - 0.4	4.9

変位量0.50 mmの場合
測定圧力の低い方向(Low Force Direction)

レーザーセンサ

三角測量方式のレーザ変位センサ

当社では、距離、面の輪郭、2次元プロファイルおよび厚さなどの測定を高精度で行うことができる三角測量方式の変位センサ(TDS)をご用意しております。

TDSは内蔵のCCDディテクタを用いてターゲットから反射した光を測定し、ターゲットの位置を測定します。この装置ではビームの出射方向と集光方向は同一線上にはなく、それらの間には一定の角度があります。このような設計にすることで、センサのスタンドオフ距離を大きくすることができます。

TDSでは対物レンズを使用しませんが、直接的な測定範囲をもとに選択します。システムの選択やその他のオプションについてのご質問等は、当社までお問い合わせください。

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三角測量用のレーザを用いて、当社の光学マウントの前面プレートの平面度を測定。

Triangulation Displacement Sensor Specifications
Measuring Range^a		25 mm	50 mm
Measuring Range Spread	Start (SMR)	25 mm	35 mm
	Mid (MMR)	27.5 mm	60 mm
	End (EMR)	50 mm	85 mm
Linearity^b		≤ ±0.08%	≤ ±0.08%
Repeatability at Measuring Rate		1 µm	2 µm
Measuring Rate		2 kHz
Spot Diameter (±10%)	SMR	100 x 140 µm	90 x 120 µm
	MMR	120 x 130 µm	230 x 240 µm
	EMR	390 x 500 µm	630 x 820 µm
	Minimum	55 x 50 µm	70 x 65 µm
Laser Power		< 1 mw
Laser Color		Red (670 nm)
Laser Safety Class		Class 2 in Accordance with DIN EN 60825-1 : 2008-05

上記以外の測定範囲にも対応可能ですので、ご要望の際は当社までお問い合わせください。
リニアリティは測定範囲において最もフィットする直線からの最大偏差を表します。測定範囲全体におけるパーセンテージで示しています。

ソフトウェアとハードウェア

ソフトウェアとハードウェアのアップグレード

インポート/エクスポート用のソフトウェアユーティリティ
EXCEL^®^aをベースにした統計的プロセス制御用ソフトウェアパッケージ
タッチパネル式モニタ

当社ではオプションとして、付属のLCDモニタおよびソフトウェアのアップグレードを行っております。詳細については当社までお問い合わせください。

インポート/エクスポート用のソフトウェアユーティリティ
これらのファイル変換ユーティリティは、CAD、アートワーク、ドリルファイル、ルートファイルなど、さまざまな種類のファイルをインポートおよびエクスポートするのに使用します。

統計的プロセス制御(SPC)用ソフトウェアパッケージ
SPCプログラムには、プロセスの動作、内部システムエラー、および生産上の問題点を管理するためのツールと手順が含まれています。これはEXCELをベースにしたパッケージで、すべてのビデオシステムに追加することができます。

モニタのオプションおよびシステムの設置
ベースシステムには標準的な24インチのLCDモニタが付属します。モニタは、タッチパネル式や大きな30インチ(対角)サイズにアップグレードすることもできます。

EXCELはMicrosoft社の登録商標です。

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ベンチトップ型ビデオ測定システム

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In the Budgetary Phase?

OEM or Custom Projects?

Want a System Demo?

検査用としての活用例

特長

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下のリンクをクリックすると仕様をご覧いただけます。

ベースシステム

CMOSカメラ

ズームレンズ

Renishaw®*タッチプローブ

レーザーセンサ

ビデオシステムのカスタマイズ

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照明

LED照明

カメラ

カメラ

ズームレンズシステム

ズームレンズシステム

両側テレセントリックレンズ

両側テレセントリックレンズ

ソフトウェア

計測用ソフトウェアM3 MetLogix®*

アクセサリ(オプション)

Exploring the Options?

Renishaw® タッチプローブのオプション

Renishaw®*タッチプローブのオプション

レーザーセンサ

三角測量方式のレーザ変位センサ

ソフトウェアとハードウェア

ソフトウェアとハードウェアのアップグレード

Renishaw^®*タッチプローブ

計測用ソフトウェアM3 MetLogix^®*

Renishaw^® タッチプローブのオプション

Renishaw^®*タッチプローブのオプション