Products Homeレチクル
- Crosshair, Scaled Crosshair, or Concentric Circle Crosshair Pattern
- UV Fused Silica Substrate Offers High Transmission
- 19.0 mm, 21.0 mm, or 1" Diameters
R1DS2P
Positive
R1DS3N
Negative
R1DS3P2
Positive
Concentric Circles Crosshair Pattern
Scaled Crosshair Pattern
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| Common Specifications | |
|---|---|
| Diameter Tolerance | +0.0/-0.1 mm |
| Substrate | UV Fused Silicaa |
| Substrate Thickness | 1.5 mm (0.06") |
| Transmitted Wavefront Error | < λ at 633 nm |
| Surface Quality | 60-40 Scratch-Dig |
| OD of Chrome Coating (Typ.) | ≥3.0 at 430 nm |
| Clear Aperture | >90% |
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図1.ネガティブ型レチクルR1DS3Nと拡散板DG10-1500。すりガラス面側をレチクルに向けて設定しています。この組合せで、キネマティックアダプタKAD11Fと移動マウントLM1XY(/M)に取り付けられた半導体レーザーモジュールCPS520用のアライメントターゲットを構成しています。光は拡散板の研磨面側に入射されています。
特長
- ポジティブとネガティブの十字線パターン、目盛付き十字線パターン、同心円パターン
- サイズ：Ø19.0 mm、Ø21.0 mm、Ø25.4 mm(Ø1インチ)
- 基板：UV溶融石英(UVFS)
- 厚さ0.120 µmのクロム層から成るパターン
レチクルはパターンをまたは空間フィルタの光に重ねて使用できます。 レチクルのパターンは基準位置となり、対象物やビームの中心出しや測定が可能となります。当社のレチクルの多くはポジティブまたはネガティブのパターンを選択いただけます。ポジ型のレチクルは高反射率の真空スパッタリングクロムパターンを透明基板にメッキしたもので、イメージングシステムの像面に配置し、パターンを画像に重ね合わせて使用することが多いです。ネガ型のレチクルの基板にも同様のクロムコーティングが施されており、パターン部分は透明です。こちらはアライメントターゲットとして(図1-3参照)使用さたり、バックライトや高照度の用途で使用されています。バックライトで照らすと、ネガ型レチクルのパターンを暗い画像に投影することができます。種類については「仕様」タブをご参照ください。
透過用途で使用されるため、当社のテストターゲットがソーダライムガラス製であるのに対し、レチクルはUV溶融石英基板で作られています。UV溶融石英基板は、赤外線域からＵＶ域まで高い透過率を有しています。
こちらの部品はすべて米国サウスカロライナ州にあるThorlabs Spectral Worksにて製造しています。幅広い生産能力により、イメージングシステムの校正や測定の課題を解決する様々な製品をご提供可能です。パターンは、マスクアライナを用いた接触型フォトリソグラフィによりガラス基板上に加工されています。パターン加工後には、基板に化学エッチングを施し、クラス100のクリーンルーム内で洗浄します。
当社では、イメージングシステム用のテストターゲット、校正用ターゲットも取り扱っております。
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図3.図1のレチクルを通して見たレーザがミスアライメント時の画像
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図2.図1のレチクルを通して見たレーザがアライメント時の画像
| Common Specifications | |
|---|---|
| Diameter Tolerance | +0.0/-0.1 mm |
| Substrate | UV Fused Silicaa |
| Substrate Thickness | 1.5 mm (0.06") |
| Transmitted Wavefront Error | < λ at 633 nm |
| Surface Quality | 60-40 Scratch-Dig |
| OD of Chrome Coating (Typ.) | ≥3.0 at 430 nm |
| Clear Aperture | >90% |
| Scaled Crosshair Reticles | ||||
|---|---|---|---|---|
| Item # | Diameter | Positive/Negative | Tick Mark Spacing | Line Thickness (Typ.) |
| R1DS3P2 | 1" (25.4 mm) | Positive | Minor Ticks: 10 µm, Major Ticks: 100 µm (Up to 1 mm from Center); Minor Ticks: 100 µm, Major Ticks: 1 mm (1 mm from Center to the Edge of the Optic) | 2 µm (Up to 1 mm from Center), 10 µm (1 mm from Center to the Edge of the Optic) |
| R1DS3N2 | 1" (25.4 mm) | Negative | ||
| Concentric Circles & Crosshair Reticles | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| Item # | Diameter | Positive/Negative | # of Circles | Pitcha | Diameter of Largest Circle | Line Thickness |
| R19DS13P | 19.0 mm | Positive | 10 | 1 mm | 10 mm | 10 µm |
| R21DS7P | 21.0 mm | Positive | 10 | 1 mm | 10 mm | 10 µm |
| R1DS2P2 | 1" (25.4 mm) | Positive | 20 | 0.5 mm | 10 mm | 10 µm (Typ.) |
| R1DS2P | 1" (25.4 mm) | Positive | 10 | 1 mm | 10 mm | 10 µm |
| R1DS2P1 | 1" (25.4 mm) | Positive | 4 | 5 mm | 20 mm | 250 µm (Typ.) |
| R1DS2N2 | 1" (25.4 mm) | Negative | 20 | 0.5 mm | 10 mm | 10 µm (Typ.) |
| R1DS2N | 1" (25.4 mm) | Negative | 10 | 1 mm | 10 mm | 10 µm |
| R1DS2N1 | 1" (25.4 mm) | Negative | 4 | 5 mm | 20 mm | 250 µm (Typ.) |
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クロムコーティングとUV溶融石英(UVFS)の反射率
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UV溶融石英(UVFS)基板上のクロムコーティングの光学濃度
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透過率曲線は、厚さ1.0 mmのUV溶融石英基板を用い、垂直入射で測定されています。こちらのページでご紹介しているレチクルは厚みが1.5 mmあるため、透過率はこのグラフより若干低くなります。
| Customization Parameters | ||
|---|---|---|
| Substrate Sizea | Min | 8 mm x 8 mm (5/16" x 5/16") |
| Max | 85 mm x 85 mm (3.35" x 3.35") | |
| Substrate Materials | Soda Lime Glass UV Fused Silica Quartz | |
| Coating Material | Chromeb Low-Reflectivity Chromec | |
| Coating Optical Density | ≥3d or ≥6e @ 430 nm | |
| Minimum Pinhole/Spot | Ø1 µm | |
| Minimum Line Width | 1 µm | |
| Line Width Tolerance | -0.25 / +0.50 µm | |
| Maximum Line Density | 500 lp/mm | |
カスタムおよび組み込み用途(OEM用途)向けテストターゲットとレチクル
当社のフォトリソグラフィ設計と製造能力により、様々なパターン素子を作ることが可能です。米国サウスカロライナ州コロンビアにある当社の施設では、テストターゲット、グリッド型歪テストターゲット、レチクルを製造しております。 これらは顕微鏡、イメージングシステム、光学アライメントのセットアップなど様々な用途に適用されてきました。
標準品のテストターゲットやレチクルに加え、ソーダ石灰基板、UV溶融石英(UVFS)基板、石英基板から8 mm x 8 mm～85 mm x 85 mmまでのカスタムクロムパターンのテストターゲット等をご提供可能です。基板はご用途に応じた形状に切断可能です。フォトリソグラフィによるコーティングプロセスにより、1 µmまでのクロムパターンが可能です。下ではサンプルパターンがご覧いただけます。またこの下の例のようにポジパターンとネガパターンで作成可能です。
カスタム仕様のテストターゲットやレチクルのお見積りについては、当社までお問い合わせください。
サンプルパターン
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Click to Enlarge用途例
- エッチングレチクル
- グレースケールマスク
- 高分解能レチクル
- 測定用レチクル
- レクリエーション用スコープ
- ノッチ付きレチクル
- アイピース目盛
- 照明用十字レチクル
- オブストラクションターゲット
- 双眼鏡レチクル
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ポジパターンとネガパターンの十字ターゲット
こちらでは当社のエンジニアが推奨するレチクル、テストターゲット、歪みターゲット、校正ターゲットの適切なクリーニング方法をご紹介いたします。
クリーニング手順
- できればポリビニルアルコール(PVA)製の清潔な濡れスポンジを使用し、食器用洗剤でレチクルやターゲットの正面と裏面を優しくこすります。
- 水ですすぎます。
- 清潔で乾燥した空気によるブローで乾かすか、清潔な面にレチクルやターゲットを置いて自然乾燥させます。
タオルや布、またはワイプを使用して拭くことはお勧めしません。汚れがまだ残る場合には、レチクルやターゲットを食器洗剤を混ぜた水溶液に1時間付け置き、必要であればこれを繰り返します。
| Posted Comments: | |
user
(posted 2024-07-23 15:45:06.79) Can you please add a graph of the reflectivity of the chrome coating out to 12µm+? I'm fairly sure your spectrophotometer in optics can do this, so it should be a straightforward task. Thanks! cdolbashian
(posted 2024-07-29 11:36:23.0) Thank you for this suggestion. Upon your suggestion, we are working on gathering such additional information for the web presentation. Austin Linder
(posted 2024-06-07 08:29:12.513) Hello, it would be nice if there was a ground glass option for this reticle. Thanks! cdolbashian
(posted 2024-06-28 11:01:14.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry. I have reached out to you directly in order to discuss the possibility of a custom. 誠一 阿部
(posted 2023-02-17 20:02:25.997) お世話になります。
R1DS2P、R1DS2Nは、1mmピッチだと思いますが、0.5mmピッチもございますでしょうか？ cdolbashian
(posted 2023-04-03 09:37:27.0) Translation: Thank you very much for your help. I think R1DS2P and R1DS2N have 1mm pitch, but do you also have 0.5mm pitch?
Thank you for your request! Indeed this is something we can do as a custom. I have put you in contact with your local tech support team, and our custom team in order to facilitate this for you. Mark Wilder
(posted 2021-06-25 13:58:05.987) I've used this reticle extensively in a number of setups, with alignment telescopes and theodolites. I find the crosshair to actually be a bit too narrow to be able to readily see. It would be great if you could make a 20 and/or a 40 micron version. YLohia
(posted 2021-06-28 10:18:34.0) Thank you for your feedback. We will consider offering a thicker crosshair in the future. Carla Coltharp
(posted 2021-02-23 11:50:37.81) Hi,
What is the tolerance for the centration of the pattern relative to the part's outer diameter?
Thanks! YLohia
(posted 2021-02-24 10:08:45.0) Hello, we do not have a strict tolerance for the centration of the R1D2SN, but we expect it to be off by up to +/-0.25 mm in the worst case scenario. Daniel Schlenk
(posted 2020-07-17 07:59:34.737) Dear Sir or Madame,
can you also provide customized reticles?
Our design would be very simple: A filled circle in the center of a round substrate. Please finde more details below.
Thank you for your efforts.
Best regards,
Daniel Schlenk
Color: Black / Dark (visible wavelength range)
Reticle Diameter: 46mm (42mm to 48mm possible)
Reticle Thickness: about 3.0mm (other thickness possible)
8Design: one filled circle in the center, 6mm diameter. What is the accuracy in the position of the circle? (required: a few µm) YLohia
(posted 2020-07-17 10:36:00.0) Hello Daniel, thank you for contacting Thorlabs. Custom reticles can be requested by emailing your local Thorlabs Tech Support team (in your case, europe@thorlabs.com). We will reach out to you directly to discuss this further. user
(posted 2019-10-02 04:53:29.167) what is the thickness tolerance of the 1,5mm thick substrate? YLohia
(posted 2019-10-02 09:52:38.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. The tolerance on the thickness of the R19DS11P is 1.4986 mm +0.000/-0.2032 mm. The diameter tolerance is +0.0/-0.1 mm. jijin
(posted 2019-01-31 20:49:47.887) * Is it possible to get a customized Positive Concentric Circle Reticle YLohia
(posted 2019-01-31 09:32:42.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. Custom reticles can be requested by emailing techsupport@thorlabs.com with your exact requirements and order quantity. We will reach out to you directly to discuss this further. user
(posted 2017-03-16 17:49:03.593) Negative Crosshair Reticle, 19mm, UVFS and both positive and negative reticles at 0.5" diameter would be very useful/helpful. Thanks! tfrisch
(posted 2017-03-23 09:55:03.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. If you are interested in a custom version, please reach out to us at TechSupport@Thorlabs.com, we may be able to offer something suitable for your application. schneider
(posted 2014-12-09 10:22:11.213) Hello. I am using the R19DS13P for alignment. Looking at the reticle under a simple microscope and assuming the cicles to be 1mm apart (500µm line separation) the line width seems to be less than 25 µm (10-15µm). Is this correct? From the description:"The pattern is formed from lines that are 25 µm wide." myanakas
(posted 2015-01-14 02:15:59.0) Response from Mike at Thorlabs: Thank you for your feedback. The linewidth of the concentric circles should be 10 um, while the linewidth of the crosshairs should be 25 um. We are currently working to get this updated on the website. michael.wegner
(posted 2013-11-14 12:49:17.18) Dear Sirs
For a high precision alignment telescope built
almost solely of Thorlabs components :-) I use
your reticles R1DS3N and R1DS3P.
Now there is my question: Can you please tell me
how precise the shape of the circles is deviating from the ideal circular shape? This question I should answer to my project steering comitee here.
Thanks in advance and best Regards
Michael Wegner
Senior Engineer
Metrology Department
Swissoptic AG
Heerbrugg, Switzerland
P.S. Please answer by E-Mail:
michael.wegner@swissoptic.com jlow
(posted 2013-12-11 08:49:51.0) Response from Jeremy at Thorlabs: The centration tolerance is ±125µm. The outer diameter tolerance is +0.0/-0.2mm. I will contact you via e-mail to discuss about this. user
(posted 2013-07-07 21:04:15.717) The custom reticles tab shows some useful reticles. Why don't you sell those too? tcohen
(posted 2013-07-11 16:24:00.0) Response from Tim at Thorlabs: Thank you for contacting us! The custom reticles tab was made to describe our capabilities for customs. There is a large tooling cost for releasing a new reticle and so we chose the most popular versions for initial release. We also have more test targets at http://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=4338. We appreciate feedback on designs that would be most useful for you as we continue to release new products. I see that you didn’t leave any contact information but we would be interested in your feedback. To discuss this further please contact us at techsupport@thorlabs.com. |
ズーム
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十字パターン
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取付けアダプタSM1AD19に取り付けられたR19DS11P
- エッジ部分まで伸びた十字線
- ポジティブ型の十字線レチクルは、Ø19.0 mm、Ø21.0 mm、Ø25.4 mm(Ø1インチ)から選択可能
- Ø25.4 mm(Ø1インチ)のネガティブ型の十字線レチクルもご用意
- 幅10 µmまたは25 µmの十字線
当社の十字線レチクルは、イメージング対象物に基準パターンを重ねてご使用いただけます。 幅25 µmまたは10 µm(Ø25.4 mm(Ø1インチ)光学素子のみ)の十字線がレチクルの直径にわたって刻印されています。 厚さ1.5 mmのUV溶融石英基板の片面にはクロムめっきが施されており、また、200～1200 nmの波長範囲において90%以上の透過率を有しています。
Ø19.0 mmのレチクルは、取付けアダプタAD19TまたはSM1AD19に挿入することでØ25.4 mm(Ø1インチ)のマウントに取り付け可能です。 AD19Tにはネジ切り加工がないので、標準のØ25.4 mm(Ø1インチ)マウントに取り付け可能です。一方、SM1AD19にはSM1の外径ネジ切り加工があるので、SM1シリーズのネジ付きオプトメカニクス部品に適用できます。
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目盛付き十字線のパターン
- エッジ部分まで伸びた目盛付きの十字線
- 目盛間隔：
- 中心から1 mmまで：10 µm目盛
- 中心から12 mmまで：100 µmと1 mm目盛
- 直径25.4 mmのレチクルはポジティブおよびネガティブ型をご用意
目盛付きの十字線レチクルは、イメージング対象物に基準パターンを重ねてご使用いただけます。十字線はレチクルの直径まで伸びており、中心から12 mmまでは目盛も付いています。1種類目の目盛は幅2 µmで、中心から1 mmまで10 µm間隔で付いています(この半径内の十字線も幅2 µmです)。2種類目の目盛は幅10 µmで、中心から1 mmの位置から12 mmまで100 µm間隔で付いています(中心から1 mmの位置から端までの十字線も幅10 µmです)。厚さ1.5 mmのUV溶融石英基板の片面にはクロムめっきが施されています。UV溶融石英基板の透過率は200～1200 nmの波長範囲において90%以上です。
Ø19.0 mmのレチクルは、取付アダプタAD19TまたはSM1AD19に挿入することでØ25.4 mm(Ø1インチ)のマウントに取り付け可能です。AD19Tにはネジ切り加工がないので、標準のØ25.4 mm(Ø1インチ)マウントに取り付け可能です。一方、SM1AD19にはSM1の外径ネジ切り加工(1.035"-40)があるので、SM1シリーズのネジ付きオプトメカニクス部品に適用できます。
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番号付き同心円のパターン(型番R19DS13P)
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取付アダプタAD19Tに取り付けられたR19DS13P
- 十字線上にある同心円
- 円の間隔：0.5 mm、1 mmまたは5 mm
- ポジティブパターンは、Ø19.0 mm、Ø21.0 mm、Ø25.4 mm(Ø1インチ)から選択可能
- ネガティブパターンはØ25.4 mm(Ø1インチ)でご用意
同心円レチクルは、十字線付きで、同心円は0.5 mm、1 mm、5 mm間隔で構成されています。円は1 mmごと(ピッチが0.5 mmおよび1 mmの円)または5 mmごと(ピッチが5 mmの円)に番号が割り振られています。パターンは幅10 µmの線(ピッチが0.5 mmおよび1 mmの円)または幅250 µmの線(ピッチが5 mmの円)で形成されています。厚さ1.5 mmのUV溶融石英基板の片面にはクロムめっきが施されています。UV溶融石英基板の透過率は200～1200 nmの波長範囲において90%以上です。
Ø19.0 mmのレチクルは、取付アダプタAD19TまたはSM1AD19に挿入することでØ25.4 mm(Ø1インチ)のマウントに取り付け可能です。AD19Tにはネジ切り加工がないので、標準のØ25.4 mm(Ø1インチ)マウントに取り付け可能です。一方、SM1AD19にはSM1の外径ネジ切り加工(1.035"-40)があるので、SM1シリーズのネジ付きオプトメカニクス部品に適用できます。
 レチクル |