真空対応モーションコントロール製品(ステージ、アクチュエータ)

真空対応ステージは、真空環境の厳しい要件を満たすように設計されており、正確な位置決めと信頼性の高い性能を有します。ラインナップには、手動アリ溝式ステージ、ピエゾ慣性駆動ステージとアクチュエータ、高真空(HV)環境用に設計されたDCサーボアクチュエータなどがあります。真空に適合するように選択された材料、潤滑剤、コンポーネントにより、これらの製品は最小限のアウトガスと優れた耐久性があります。真空条件下での研究または産業工程を最適化する製品を下記からご覧ください。