2軸ガルバノスキャンヘッドシステムVantagePro®、走査角度±22.5°
![](https://www.thorlabs.co.jp/Images/GuideImages/14132_2DGalvos_1.jpg)
- 22.5° Scan Angle and Beam Diameters up to 45 mm
- Protected Silver, Nd:YAG, or CO2 Laser Mirror Coatings
- Easy to Integrate with OEM Systems
- Analog Control Electronics
Each system includes
a pair of matched
servo drivers.
QS30XY-AG
Mirrors for Ø30 mm Beams,
Protected Silver Coating
Servo Drivers Included with
Galvanometer Scanners for
Ø7 or Ø10 mm Beams
Servo Drivers Included with
Galvanometer Scanners for
Ø15 to Ø45 mm Beams
![](../../images/loading-red.gif)
Please Wait
Dual-Axis Galvanometer Scan Head Selection Guide | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Item # Prefix | Mirror Coatingsa | Max Beam Diameter | Position Detector | |||
-AG | -Y3 | -Y1 | -CD | |||
QS7XY | ![]() | ![]() | ![]() | - | 7 mm | Optical |
QS10XY | ![]() | ![]() | ![]() | - | 10 mm | |
QS15XY | ![]() | ![]() | ![]() | - | 15 mm | |
QS20XY | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() | 20 mm | |
QS30XY | ![]() | - | - | ![]() | 30 mm | Capacitive |
QS45XY | ![]() | - | - | ![]() | 45 mm | |
Power Supply & Command Cables |
用途
- レーザーマーキング
- Additive Manufacturing(3Dプリント技術)
- レーザ刻印
- レーザ溶接
- 微細加工
- レーザードリル
- レーザーアブレーション、表面加工
- レーザ切断、レーザースクライブ
- レーザ走査型顕微鏡
- レーザ投影
特長
- 可動磁石モータ設計で高速応答(Ø7 mmビーム用ミラー、0.4°駆動で250 µs)
- 高精密光学式または静電容量式のミラー位置検出(詳細は右の表をご覧ください)
- 4種類のミラーコーティングをご用意
- 保護膜付き銀コーティング:450 nm~10.6 µm
- Nd:YAGレーザ、第3高調波、355 nm
- Nd:YAGレーザ、1064 nm
- CO2レーザ、10.64 µm
- アライメントレーザは633 nmで高反射率
- 電流制動付きアナログPD制御回路
- 610 mm駆動ケーブルが付属
- 電源、電源ケーブル、コマンドケーブルは別売りです。
- ご要望に合わせて特注コーティングも承ります(詳細は当社までご相談ください)。
これらの高速走査型ガルバノミラー位置決めシステムVantagePro®は、組み込み用途(OEM用途)またはカスタム仕様のレーザービームステアリング用途向けに設計されています。ビーム径最大45 mmまでのモデルをご用意しております。各システムにはミラー付き2軸スキャンヘッドとドライバーカードが含まれます。寸法と取付部の特長については、下の型番横の赤いアイコン()をクリックするとご覧いただけます。対応する±15 V電源(オープンフレームまたは筐体付き)とコマンドケーブルは別売りです(下記参照)。ガルバノシステムとの対応表については「電源&ケーブル対応表」タブをご覧ください。
サーボドライバを操作するには、ファンクションジェネレータ、またはその他のアナログ電圧出力デバイスをご用意いただく必要があります。ミラーは右表のとおり、4種類のコーティングでご用意しております。ご要望に合わせてカスタムコーティングも承ります。詳しくは当社までお問い合わせください。これらのスキャンヘッドに使用されているガルバノスキャナで1軸のシステムもご用意しております。
サーボドライバーボード
これらの閉ループのサーボドライバ回路は、モータ内部の位置検出システムからの信号を処理し、指定した位置までミラーを回転させるのに必要な駆動電圧を供給します。高帯域幅により高い速度と確度でアナログのコマンド波形を追従します。
どちらのドライバも高度電流ダンピング付きPIDサーボドライバ回路で高性能を発揮します。ドライバには確度を向上させるために信号対雑音比を最大化する低ノイズコンポーネントと、温度変動の影響を少なくする低ドリフトコンポーネントが内蔵されています。それぞれのミラーとガルバノの組み合わせに対してノッチフィルタが選択、調整されているため、システム帯域幅が最大化され、より高速で確度の高い走査が実現します。これらのシステムはステップ走査、ベクタ走査(レーザーマーキングなど)、ラスタ走査(3Dプリンタ、レーザ走査顕微鏡)などの用途に適しています。
サーボはすべての用途において高速、そして精密な位置決め用の最適化されています。最大ビーム径≥15 mmのスキャナ用のサーボには、追加でデュアル出力のパワーアンプが付いているため、性能を損なうことなくより大きなモータに必要な電源供給が可能です。サーボドライバ回路はソフトスタート・ストップの動作、AGC開回路フェールセーフ、および過不足電圧保護機能が付いています。ステータスLEDは、サーボのステータスと故障の状態を示し、診断ポートにより位置、速度、誤差、そして電流情報が提供されます。ドライバ、ガルバノ、ミラーのセットごとに個別検査され、仕様を満たすよう調整されています。ガルバノのそれぞれのシリアルナンバはドライバーボードにも記されています。
Galvanometer Scanner Specs | |||||||
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Item # Prefix | QS7XY | QS10XY | QS15XY | QS20XY | QS30XY | QS45XY | |
Max Beam Diameter | 7 mm | 10 mm | 15 mm | 20 mm | 30 mm | 45 mm | |
Mirror Substrate | Fused Silica | Silicon Carbide | |||||
Step Response Time (0.4° Optical) | 250 µs | 350 µs | 600 µs | 650 µs | 1200 µs | 1200 µs | |
Mechanical and Electrical Specs | |||||||
Rated Excursion | ±22.5° Opticala | ||||||
Rotor Inertial Load | Recommended | 0.17 g·cm2 | 1.8 g·cm2 | 5.1 g·cm2 | |||
Max | 0.85 g·cm2 | 9 g·cm2 | 25 g·cm2 | ||||
Torque Constant | 40 000 dyne·cm/A | 180 000 dyne·cm/A | 280 000 dyne·cm/A | ||||
Coil Resistance | 1.3 Ω | 3.0 Ω | 5.8 Ω | ||||
Coil Inductance | 76 µH @ 1 kHz | 530 µH @ 1 kHz | 450 µH @ 1 kHz | ||||
Position Detector | |||||||
Type | Optical | Capacitive | |||||
Linearity | 99.8% @ ±20° | > 99.9% | |||||
Gain Drift | 50 ppm/°C | 50 ppm/°C | |||||
Offset Drift | 30 µrad/°C | 40 µrad/°C | |||||
Repeatability | 10 µrad | 15 µrad | |||||
Output Signal (Typ.) | Differential Mode | 7.1 µA/° Optical | 40 µA/° Optical | ||||
Common Mode | 385 µA | 2100 µA | |||||
Supply Current | 30 - 40 mA | 10 - 20 mA | |||||
General Specs | |||||||
Operating Temperature | 0 to 40 °C (Non-Condensing) | ||||||
Storage Temperature | -10 to 50 °C | ||||||
Servo Shaft Size | Ø14 mm x 26.3 mm | Ø22 mm x 50 mm | Ø30.5 mm x 30 mm |
Mirror Coating Specs | ||||
---|---|---|---|---|
Item # Suffix | -AG | -Y3 | -Y1 | -CD |
Coating Type | Protected Silver | Hard Dielectric, Nd:YAG Laser 3rd Harmonic | Hard Dielectric, Nd:YAG Laser Fundamental | Dielectric on Metal for CO2 Laser |
Absolute Reflectance | ≥92% (450 - 500 nm) ≥94.5% (500 - 2000 nm) ≥98% (2 - 10.6 µm) | ≥99% (355 nm) ≥80% (633 nm) | ≥98% (1064 nm) ≥80% (633 nm) | ≥99.5% (10.64 µm) ≥80% (633 nm) |
Surface Quality (Scratch-Dig) | 40-20 | 20-10 | 40-20 | 40-20 |
Servo Amplifier Specsa | ||
---|---|---|
Item # Prefix | QS7XY QS10XY | QS15XY QS20XY QS30XY QS45XY |
Inputs | ||
Command Input Range | ±5 V | |
Position Input Scale Factor | 0.22 V/° Optical | |
Command Input Impedance | 400 kΩ (Differential) 200 kΩ (Single Ended) | 20 kΩ ± 1% (Differential) 10 kΩ ± 1% (Single Ended) |
Position Offset Range | ±0.25 V | |
External Enable | TTL (Low: Disable Drive) | See Footnote b for Details |
Diagnostic Outputs | ||
Servo Ready | TTL | 12 V |
Position | 0.22 V/° Optical | |
Position Error | 0.22 V/° Optical | |
Velocity | Analog (Reference Only) | |
AGC Voltage | Analog (DC) | |
Coil Current | 1 V/A | |
Analog Output Impedance | Unbuffered | 1 kΩ ± 1% (For All Outputs) |
Power Supply (Not Included) | ||
Input Voltage | ±15 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise | ±15 to ±24 VDC < 100 mV Ripple < 0.5% DC to 30 MHz Noise |
Maximum Drive Current Limit | 3 A (RMS); 10 A (Peak) | 4 A (RMS); 10 A (Peak) |
Quiescent Current | 220 mA (Servo Enabled, Galvo at Rest) | |
Gain Drift | Up to 20 ppm/°C | |
Offset Drift | Up to 26 µrad/°C | Up to 30 µrad/°C |
General Specs | ||
Operating Temperature | 0 to 45 °C (With Appropriate Cooling) | |
Storage Temperature | -10 to 60 °C | |
Dimensions | 2.38" x 2.22" x 1.06" (60.5 mm x 56.4 mm x 27.0 mm) | 2.38" x 2.13" x 1.06" (60.5 mm x 54.1 mm x 27.0 mm) |
Mass (Weight) | 49 g (1.7 oz) | 74 g (2.6 oz) |
![Dual-Axis Galvo Scanning System](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/Scanning_Galvo_System_D2-400.gif)
ガルバノモータ/ミラーアセンブリ
当社のガルバノシステムは、シャフト上に光学ミラーが取り付けられたガルバノメータベースの走査型モータと制御ボードに位置フィードバックを送るディテクタで構成されています。QSシリーズのガルバノメータのモータは、固定磁石や回転式コイル設計ではなく可動磁石設計を採用し、高速応答と高い共振周波数をご提供できます。ミラー位置は、モータ筐体内にある光学または静電容量式センシングシステムを使ってエンコードされます。
回転シャフトの角加速度が大きいため、ミラーのサイズや形状、慣性モーメントは高性能ガルバノシステム設計において重要な要素となります。さらに、ミラーは大きな加速度に追従する時でも形状歪の無い状態(フラット性)を維持しなければいけません。ガルバノモータの特性に合わせてシステムの性能を最大限に高めるために、当社のガルバノシステムでは、これらの要素は全て最適化されています。
ガルバノミラーはフレクシャークランプを用いてモータ/ミラーアセンブリに固定します。ミラーホルダの位置は出荷時に設定済みですので、お客様側で変更はできません。
システムの操作
サーボドライバはDC電源、ガルバノモータ、入力電圧源に接続する必要があります(モニタ接続はオプションです)。連続スキャニング用途では、矩形波または正弦波出力ができるファンクションジェネレータによりガルバノミラーのすべての角度を走査することが可能です。さらに複雑なパターンを走査するには、DAQカードなどプログラム可能な電圧源を使用します。お客様が生成する加速プロファイルが滑らかな移動軌跡を推奨します。可能であれば、無制御のステップは避けてください。なお、これらのシステムには電源(別売り、下記参照)、ファンクションジェネレータ、あるいはDAQカードは付属しませんのでご注意ください。下記のドライバの入力電圧のミラー位置の比率は0.22 V/°、入力電圧は±5 VDCで工場設定済みです。それぞれが0.44 V/° と±10 VDCに設定されているドライバもご希望によりご提供いたします。当社までご連絡ください。制御回路は、ミラーの位置のトラッキングに必要なモニタ出力も提供します。また、駆動電流に比例した電圧もモータに供給され、コマンド位置と実際のミラー位置の差も制御回路によって提供されます。
なお、2軸システムにおいては、共用の電源を使用することからのクロストークを最小に抑えるために、2つのドライバをしっかりと共通のグランドに接地することが重要です。2軸システムにはすべて太い接地用ジャンパが付属しています。
閉ループミラーの位置決め
ミラーの角度方向(位置)は、ガルバノメータ筐体内部に組み込まれた光学または静電容量式センシングシステムを使って測定されています。 それによりガルバノミラーの方向を閉ループ動作で安定化させることが可能になります。
下表ではガルバノシステムを動作するために必要な電源とケーブルを示しています。ガルバノシステムを選択後、対応する電源とケーブルセットをご確認ください。 オープンフレーム電源ではケーブルをシステムにはんだ付けする必要があります。筐体付き電源ではケーブルを直接システムに接続することが可能です。 システムには、別途コントローラが必要です(付属しておりません)。
Galvo Compatability | ||
---|---|---|
Galvo | Compatible Power Supply (Supports up to Two Axes) | Compatible Cable Set (Choose One Per Axis) |
QS7 or QS10 | GPWR15 Open Frame Power Supplya | CBLS2F |
GPS011 Series Enclosed Power Supplyb | CBLS2P | |
QS15 or QS20 | GPWR15 Open Frame Power Supplya | CBLS3F |
GPS011 Series Enclosed Power Supplyb | CBLS3P | |
QS30 or QS45 | GPWR15 Open Frame Power Supplya | CBLS3F |
Posted Comments: | |
Andreas Gaarzmann
 (posted 2024-08-21 14:48:42.563) Hallo, welcher Hersteller wird für die Galvanometer verwendet. Können Sie mehr Spezifikationen über die Galvanometer bereitstellen? Rotor Inertia, Torque Constant, Thermal Resistance, Peak Current, RMS Current usw. Mit freundlichen Grüßen Andreas Gaarzmann cdolbashian
 (posted 2024-08-26 08:45:40.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry Andreas. You asked the following question: " Hello, which manufacturer is used for the galvanometers. Can you provide more specifications about the galvanometers? Rotor Inertia, Torque Constant, Thermal Resistance, Peak Current, RMS Current etc". Firstly, our QS- series galvos are designed and manufactured at our office in New Hampshire (Thorlabs Measurements Systems). Regarding some of these specifications in which you have inquired, some of these are on the "specs" tab of the product page (https://www.thorlabs.com/newgrouppage9.cfm?objectgroup_id=14115&tabname=specs), and regarding the ones not shown, I have reached out to you directly to discuss them. Hyojeong Shon
 (posted 2024-05-08 14:14:18.623) Hi.
Is there any information on the stability of this product?
(e.g. xx μrad (1σ))
I want to compare its stability with fast-steering mirror (part no. FSM75-P01). cdolbashian
 (posted 2024-05-24 02:57:18.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry. The typical instability of any given position is typically +/-2urad provided proper electrical grounding and a low-noise power supply. user
 (posted 2024-05-08 13:49:59.353) Hi!
Is there any information about the stability of this large aperture galvo system? (e.g. xx μrad (1σ))
I want to compare the stability spec with the fast-steering mirror (part#: FSM75-P01). Timothy Gillespie
 (posted 2023-12-13 21:55:28.233) Hi
Are any of your Galvanometer Scan Head vacuum compatible ( 1e-6 torr ) ?
I am after a 2D scan 15 mm beam +/- 2 deg optical with very fast settling time.
But the scan head must be inside the vacuum chamber.
Thanks for your help
cheers
Tim ksosnowski
 (posted 2023-12-18 02:42:38.0) Hello Tim, thanks for reaching out to Thorlabs. For vacuum chamber applications, we suggest using our flexure SS and SP series galvanometers. The flexure configuration eliminates the need for lubricants, which can be challenging in a chamber. The typical step response at 0.4 degrees optical is approximately 1200 microseconds. It is important to consider thermal management when operating a scanner within a vacuum. The magnetic rotor, which is suspended in the drive coil, experiences an increase in temperature. This thermal increase is exacerbated by the diminished heat dissipation resulting from the absence of airflow in a vacuum. We have reached out directly to discuss your application in greater detail. user
 (posted 2023-09-25 13:57:52.117) Dear Madam/Sir,
We have been using ThorLabs (Nutfiledtech) Dual-Axis VantagePro® Galvanometer Scan Head Systems, ±22.5° Scan Angle that came with the above-mentioned Drivers (Included with this Galvanometer Scanners for Ø15 to Ø45 mm Beams). As we were preparing the PO to purchase the connectors and other parts to connect this equipment to our control system, we found that connector shell Molex 51090-0400 that mates with the Servo Enable Connector J8 on the Main Board of the Galvanometer Driver is no longer available (please see links below). Same applies for the Molex connector 51090-0800 that mates with J12 of the Galvanometer Driver Main board. Alternatives are not offered, and short analysis of some proposed alternatives found that they are not really drop in alternatives (more likely they are only alternatives if both mating parts are changed to proposed alternatives).
Please advise if you have any suggestion on the alternative parts that could be used that would mate with the existing Molex connectors on the Galvanometer Driver module. Also, please let us know how this will be handled in the future.
https://www.molex.com/en-us/products/part-detail/510900400
https://www.digikey.ca/en/products/detail/molex/0510900400/1632893?s=N4IgTCBcDaIKwEYAMBOJBaJAWJSQF0BfIA
https://www.molex.com/en-us/products/part-detail/510900800
Thank you in advance, cdolbashian
 (posted 2023-10-19 10:07:31.0) Thank you for reaching out to us to let us know about this obsolescence. As of now, this is indeed on our radar, and we plan to switch connectors to one which has available subcomponents in the future. I have reached out to you directly to discuss this. William Pringlemeir
 (posted 2023-09-14 10:58:42.2) So for the (X,Y) pairs..
(+,+) | (-,+)
--------+----------
(+,-) | (-,-)
gives the signal quadrants for different voltages and .22v/deg describes the magnitude. Ie, what is the 'vector' for the motion and not just the magnitude. ksosnowski
 (posted 2023-11-22 02:58:05.0) Thanks for reaching out to Thorlabs. When applying a positive voltage with the polarity described in the servo board manual, if you are looking at the mirror's end of the motor shaft, the mirror shaft will turn counter-clockwise. Depending on the exact mounting orientation and use of other mirrors in your setup, the beam itself may appear to turn in different directions, however our mandrels wind each motor galvo motor with the same polarity. As the galvo motor performance is fully symmetric, many applications can simply reverse the applied drive signal polarity if you notice your beam is turning the opposite direction from what is intended. I have reached out directly to discuss your application in further detail. user
 (posted 2023-09-13 14:40:56.73) For dual axis systems, the 'Y' is positive for vertical and the 'X' is positive for left, or is there some wiring mixed up? I did not see the command coordinates anywhere, but I may have missed this. Sorry. ksosnowski
 (posted 2023-11-22 02:57:16.0) Thanks for reaching out to Thorlabs. When applying a positive voltage with the polarity described in the servo board manual, if you are looking at the mirror's end of the motor shaft, the mirror shaft will turn counter-clockwise. Depending on the exact mounting orientation and use of other mirrors in your setup, the beam itself may appear to turn in different directions, however our mandrels wind each motor galvo motor with the same polarity. As the galvo motor performance is fully symmetric, many applications can simply reverse the applied drive signal polarity if you notice your beam is turning the opposite direction from what is intended. I have reached out directly to discuss your application in further detail. user
 (posted 2023-09-08 15:17:02.067) Hi, in the manual for servo amplifier, single-ended operation is enabled by applying a solder bridge to R77. Is it also possible to enable this mode by simply connecting pin 3 and ground together at the input? Or bridge R77 is the only recommended method? cdolbashian
 (posted 2023-09-25 08:47:44.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry Vasili. While the recommended method of jumping these two pins would be a solder bridge, a simple wire jumper is also appropriate. user
 (posted 2023-09-01 10:00:43.797) Hi, in your manual you mention single-ended and differential operation. What does it mean? Can I connect negative command to the ground and apply command to positive end: sine wave with amplitude varying from +5 to -5V? What will be the mirrror response in that case? Thanks. cdolbashian
 (posted 2023-09-11 01:13:35.0) Thank you for contacting us with this inquiry. For a single ended configuration, the voltage is measured with respect to a 0V whereas when using a differential pair, your net applied voltage signal is measured as the difference between the (+) and (-) signals. I have reached out to you directly with some more specific examples of each of these driving configurations. Julien Camard
 (posted 2023-05-24 12:52:00.503) Hi! Could you please advise on the best way to clean the galvo mirror surface? Can I use isopropyl alcohol? Ethanol? cdolbashian
 (posted 2023-06-12 01:27:47.0) We would not recommend using these solvents on these mirrors without contacting us first. Different mirror coatings are more or less resilient, and using the wrong cleaning method on a certain coating may damage it. For any mirror coating though, dry compressed air is acceptable. Joseph Gaulin
 (posted 2023-05-23 09:35:31.893) Hi,
I am currently working on a volumetric projector. I would like to know if you have a tool that can reflect a laser in the infrared (1080 nm) and make it oscillate on an axis at a minimum frequency of 300 kHz. It can be X axis, Y axis or even Z axis. cdolbashian
 (posted 2023-05-24 08:40:41.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry. The galvo systems, unfortunately are not suitable for such an application. I have contacted you directly to discuss more specifics regarding your particular setup and requirements, and how we might fulfill them. ritwik podder
 (posted 2023-05-11 19:31:08.067) Hello, I am from nit silchar, we have bought QS30XY-AG, can you please send me software through which, the servo drivers can be operated for QS30XY-AG Mirrors for Ø30 mm Beams, cdolbashian
 (posted 2023-06-01 04:55:52.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry. These are analog components, and thus are driven with a -5 to +5V analog signal. This can be any waveform, and the galvo will move proportionally to such a signal. I have contacted you directly to discuss this further. user
 (posted 2022-11-28 19:25:10.543) Hi, I wanna consult you that how fast we can scan the whole scanning angle of the galvanometer (back-fly time). Thanks cdolbashian
 (posted 2022-12-02 04:26:32.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry. I have contacted you directly to discuss your question. For future discussion-based questions, please email techsupport@thorlabs.com. William Flanagan
 (posted 2022-10-25 12:41:36.99) Hi,
I'm using the QS7XY-AG and am noticing that the field is rotated after reflection from the galvos. Do you know how much this field rotation is meant to be?
Kind Regards,
Billy Flanagan cdolbashian
 (posted 2022-11-08 01:59:35.0) Thank you for reaching out to us Billy. For that particular device, one galvo axis is tilted ~15° with respect to the surface in which it would be mounted. You should expect to see a similar tilt to your image upon output. Joaquim Santos
 (posted 2022-03-22 14:08:27.857) Hi,
Is there any information on the mirror's surface flatness that you could provide me? Furthermore, do you have an estimate of the maximum scanning frequency for a triangular driving signal with 0V offset and an amplitude corresponding to an optical angle of +-10º?
Thanks,
Joaquim cdolbashian
 (posted 2022-04-01 02:45:55.0) Thank you for reaching out to us Joaquim. Galvo speeds are highly dependent on a variety of application specific parameters. For information that is relevant to your individual setup we recommend reaching out to us directly at Techsupport@thorlabs.com.
As for the mirror's surface flatness, we spec this at λ/4 @633nm. Steve Madden
 (posted 2022-02-09 23:46:43.683) Hi There,
can you advise please what the traingle and sawtooth waveform bandwidth is for the QS10 X-Y galvo pair? We have purchased two sets and want to know how fast we can safely drive them in sawtooth and triangle mode for 10-20 minute runs...
Thanks,
Steve cdolbashian
 (posted 2022-03-08 10:57:28.0) Thank you for reaching out to us with this inquiry Steve. Due to the nature of running a galvo, this answer is not so simple. In order to address this inquiry, we need information regarding your waveform, travel range, and driving current. I have reached out to you directly to discuss the specifics of your application. user
 (posted 2021-03-06 15:25:05.397) Hi,
I can probably determine max angular acceleration just based on Torque and load. However, not sure what current rating is required to achieve that acceleration or deacceleration. Can you please specify what is the max angular acceleration that can be achieved? Thanks YLohia
 (posted 2021-03-18 02:46:25.0) Hello, thank you for contacting Thorlabs. What is the step size and the waveform shape that you're hoping to use? Sine the speed is dependent on current and step size, we typically measure speed as the small angle step response time. The time in µs it takes the galvo to become 99% settled at 1% of the full scale angle. In the case of the QS45XY-AG, that speed is 700 µs. The engineering team for these galvos can be contacted directly by using the "Contact Us" button (tms-sales@thorlabs.com) on this page below. Stephen Uhlhorn
 (posted 2021-01-09 14:04:50.997) Can you send me a quote for the servo driver board only? In looking at the analog driver used with the larger aperture scanners (Nutfield QD-4000). YLohia
 (posted 2021-01-11 03:06:32.0) Hello, custom (or component) item quotes for these galvos can be requested by emailing tms-sales@thorlabs.com or by clicking the "Request Quote" button above. We will contact you directly. |
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Key Specsa | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Item # | Mirror Coating | Max Beam Diameter | Position Detector | Rated Excursion | Recommended Rotor Inertial Load | Step Response Time |
QS7XY-AG | Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm) | 7 mm | Optical | ±22.5° Optical | 0.17 g·cm2 | 250 µs |
QS7XY-Y3 | Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) | |||||
QS7XY-Y1 | Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) |
各システムにはガルバノスキャンヘッド、ドライバーボード、駆動ケーブルが含まれます。電源GPWR15とコマンド&電源ケーブルCBLS2F(2軸システムには2セット必要)、または電源GPS011-JPとコマンド&電源ケーブルCBLS2P(2軸システムには2セット必要)が対応します(別売り、下記参照)。
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Key Specsa | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Item # | Mirror Coating | Max Beam Diameter | Position Detector | Rated Excursion | Recommended Rotor Inertial Load | Step Response Time |
QS10XY-AG | Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm) | 10 mm | Optical | ±22.5° Optical | 0.17 g·cm2 | 350 µs |
QS10XY-Y3 | Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) | |||||
QS10XY-Y1 | Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) |
各システムにはガルバノスキャンヘッド、ドライバーボード、駆動ケーブルが含まれます。電源GPWR15とコマンド&電源ケーブルCBLS2F(2軸システムには2セット必要)、または電源GPS011-JPとコマンド&電源ケーブルCBLS2P(2軸システムには2セット必要)が対応します(別売り、下記参照)。
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Key Specsa | ||||||
---|---|---|---|---|---|---|
Item # | Mirror Coating | Max Beam Diameter | Position Detector | Rated Excursion | Recommended Rotor Inertial Load | Step Response Time |
QS15XY-AG | Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm) | 15 mm | Optical | ±22.5° Optical | 1.8 g·cm2 | 600 µs |
QS15XY-Y3 | Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) | |||||
QS15XY-Y1 | Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) |
各システムにはガルバノスキャンヘッド、ドライバーボード、駆動ケーブルが含まれます。電源GPWR15とコマンド&電源ケーブルCBLS3F(2軸システムには2セット必要)、または電源GPS011-JPとコマンド&電源ケーブルCBLS3P(2軸システムには2セット必要)が対応します(別売り、下記参照)。
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Key Specsa | ||||||
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Item # | Mirror Coating | Max Beam Diameter | Position Detector | Rated Excursion | Recommended Rotor Inertial Load | Step Response Time |
QS20XY-AG | Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm) | 20 mm | Optical | ±22.5° Optical | 1.8 g·cm2 | 650 µs |
QS20XY-Y3 | Nd:YAG Laser, 3rd Harmonic: Rabs ≥ 99% (355 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) | |||||
QS20XY-Y1 | Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) | |||||
QS20XY-CD | CO2 Laser: Rabs ≥ 99.5% (10.64 µm) Rabs ≥ 80% (633 nm) |
各システムにはガルバノスキャンヘッド、ドライバーボード、駆動ケーブルが含まれます。電源GPWR15とコマンド&電源ケーブルCBLS3F(2軸システムには2セット必要)、または電源GPS011-JPとコマンド&電源ケーブルCBLS3P(2軸システムには2セット必要)が対応します(別売り、下記参照)。
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Key Specsa | ||||||
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Item # | Mirror Coating | Max Beam Diameter | Position Detector | Rated Excursion | Recommended Rotor Inertial Load | Step Response Time |
QS30XY-AG | Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm) | 30 mm | Capacitive | ±22.5° Optical | 5.1 g·cm2 | 1200 µs |
QS30XY-Y1 | Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) | |||||
QS30XY-CD | CO2 Laser: Rabs ≥ 99.5% (10.64 µm) Rabs ≥ 80% (633 nm) |
各システムにはガルバノスキャンヘッド、ドライバーボード、駆動ケーブルが含まれます。対応する電源GPWR15とコマンド&電源ケーブルCBLS3F(2軸システムには2セット必要)は別売りでご用意しております(下記参照)。
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Key Specsa | ||||||
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Item # | Mirror Coating | Max Beam Diameter | Position Detector | Rated Excursion | Recommended Rotor Inertial Load | Step Response Time |
QS45XY-AG | Protected Silver: Rabs ≥ 92% (450 - 500 nm) Rabs ≥ 94.5% (500 - 2000 nm) Rabs ≥ 98% (2 - 10.6 µm) | 45 mm, Converging | Capacitive | ±22.5° Optical | 5.1 g·cm2 | 1200 µs |
QS45XY-Y1 | Nd:YAG Laser: Rabs ≥ 98% (1064 nm) Rabs ≥ 80% (633 nm) | |||||
QS45XY-CD | CO2 Laser: Rabs ≥ 99.5% (10.64 µm) Rabs ≥ 80% (633 nm) |
各システムにはガルバノスキャンヘッド、ドライバーボード、駆動ケーブルが含まれます。対応する電源GPWR15とコマンド&電源ケーブルCBLS3F(2軸システムには2セット必要)は別売りでご用意しております(下記参照)。
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- GPWR15:1軸および2軸ガルバノシステム用±15 V電源、1個の電源で2つまでのガルバノスキャナの電源供給が可能
- ガルバノスキャナVantagePro® QG/QS/SS/SPシリーズ
- フォーカサBLINK
- スキャンヘッドXGシリーズ
- 電源GPWR15の仕様
- オープンフレーム電源との接続は、ケーブルのはんだ付けが必要
- 入力:100~120または220~240 VAC
- 出力:±15 V @ 5 A(150 W Max Power)
- 動作温度:0~50 °C
- 寸法:356 mm x 124 mm x 90 mm
- CBLS2F:コマンドケーブル&電源ケーブル、ガルバノスキャナQS7/QS10シリーズおよび高速フォーカサBLINK用(1軸につき1セット必要です)
- CBLS3F:コマンドケーブル&電源ケーブル、ガルバノスキャナQG4/5およびQS15/20/30/45シリーズ用(1軸につき1セット必要です)
電源GPWR15は低ノイズのリニア電源で、良好なシステム分解能を得るために電気干渉を最小限に抑える設計がされています。 ガルバノスキャナQG/QS/SS/SPシリーズ、フォーカサBLINK、スキャンヘッドXGシリーズに対応します。電源の出力は5 Aで±15 VDC、100~120 VACに対応します。 オープンフレームのため、対応する電源ケーブルをシステムにはんだ付けすることができます。
コマンドケーブルと電源ケーブルのセットCBLS2Fは、電源GPWR15をQS7/10シリーズガルバノスキャナや、高速フォーカサBLINKに接続するのにご使用いただけます。電源ケーブルの片端にはQS7/10シリーズとBLINKに対応する4ピンコネクタが付いており、もう片端には電源GPWR15をはんだ付けするための3本のワイヤ素線が付いています。コマンドケーブルの片端にはQS7/10シリーズとBLINKに対応する2ピンコネクタが付いており、もう片端にはお手持ちのコントローラをはんだ付けするための3本のワイヤ素線が付いています。
電源ケーブルとコマンドケーブルのセットCBLS3Fは、電源GPWR15をガルバノスキャナQG4/5、およびQS15/20/30/45やSS、SPシリーズに接続するためにご使用いただけます。電源ケーブルの片端には3ピンコネクタが付いており、もう片端には電源GPWR15をはんだ付けするための3本のワイヤ素線が付いています。コマンドケーブルの片端には4ピンコネクタが付いており、もう片端にはお手持ちのコントローラをはんだ付けするための3本のワイヤ素線が付いています。
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- GPS011-JP:1軸および2軸ガルバノシステム用±15 V電源、1個の電源で2つまでのガルバノスキャナの電源供給が可能
- ガルバノスキャナVantagePro® QS7、QS10、QS15、QS20シリーズ
- フォーカサBLINK
- スキャンヘッドXGシリーズ
- 電源GPS011-JPの仕様
- システムにケーブルを直接接続できる筐体付き電源
- スイッチング電源:100 VAC / 50または60 Hz、115 VAC / 60 Hz、230 VAC / 50 Hz
- 出力: ±15 VDC @ 3 A
- 動作温度:5~40 °C
- 寸法(L×W×H):179 mm x 274 mm (Max) x 122 mm
- CBLS2P:コマンドケーブル&電源ケーブルセット、ガルバノスキャナQS7/10シリーズおよび高速フォーカサBLINK用
- CBLS3F:コマンドケーブル&電源ケーブルセット、ガルバノスキャナQG4/5とQS15/20シリーズ用
電源GPS011-JPは1軸または2軸のガルバノシステム用低ノイズのリニア電源で、良好なシステム分解能を得るために電気干渉を最小限に抑える設計がされています。ガルバノスキャナQG4/QG5/QS7/QS10/QS15/QS20シリーズ、フォーカサBLINK、スキャンヘッドXGシリーズに対応します。 電源の出力は3 A で±15 VDC、100 VACの入力に対応します。筐体付きの電源のため、電源ケーブルははんだ付けせずに直接接続できます。
なお、電源GPS011-JPは、ガルバノスキャナQS30/45シリーズの駆動には十分ではありませんのでご注意ください。また、対応するガルバノスキャナについてもRMSを1 A未満に維持することをお勧めいたします。
電動ケーブル&コマンドケーブルセットCBLS2Pは、電源GPS011-JPをガルバノスキャナQS7/10シリーズや高速フォーカサBLINKにつなげるのにご使用いただけます。電源ケーブルの片端にはGPS011-JPに対応する3ピンの円形コネクタ、もう片端にはフォーカサBLINKとガルバノスキャナQS7/10シリーズに対応する4ピンコネクタが付いています。コマンドケーブルの片端にはお手持ちのコントローラに対応するBNCコネクタ、もう片端にはフォーカサBLINKとガルバノスキャナQS7/10シリーズに対応する2ピンコネクタが付いています。
電動ケーブル&コマンドケーブルセットCBLS3Pは、電源GPS011-JPをガルバノスキャナQG4/5とQS15/20シリーズにつなげるのにご使用いただけます。電源ケーブルの片端にはGPS011-JPに対応する3ピンの円形コネクタ、もう片端にはガルバノスキャナQG4/5およびQS5/20シリーズに対応する3ピンコネクタが付いています。コマンドケーブルの片端にはお手持ちのコントローラに対応するBNCコネクタ、もう片端にはガルバノスキャナQG4/5およびQS15/20シリーズに対応する4ピンコネクタが付いています。