モジュール型電動直線移動ステージ、移動量25 mm、クロスローラーベアリング

25 mm Travel with Choice of Motorized Actuator
Low Angular Deviation and High Load Capacity
Integrated 3" Dovetails for Multi-Axis Construction
Side- or End-Mounted Actuators Available

XR25X

25 mm Stage, 1/4"-20 Taps
(Actuator and Actuator Mount
Sold Separately)

XR25-C1

Actuator Side-Mounting Kit

PIA25

Piezo Inertia Actuator

Z925B

DC Servo Motor

XR25X Stage with
XR25-C1 Side-Mounting Kit and
ZFS25B Compact Stepper Motor

Please Wait

概要
クイック接続型ステージ
電動ステージ
Feedback

Key Specs
Travel	25 mm
XY Stacked Orthogonality	< 25 µrad
Angular Deviation	< 150 µrad
Platform Size	4.33" x 2.98" (110.0 mm x 75.7 mm)
Platform Height	0.91" (23.0 mm)
Mounting Holes	22 x 1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps
Mating Dovetail Width	3"
Horizontal Load Capacity (Max)	180 lbs (81.9 kg)
Vertical Load Capacity (Max)	Limited by Actuator^a
Bearing Type	Crossed-Roller Bearings
Actuator Mounting Barrel Size^a	Ø3/8" (Ø9.525 mm)

アクチュエーターマウントとアクチュエータは下記にて別売りです。

Quick Links
Modular Stage
Step 1: Choose Mounting Threads
Step 2: Choose Actuator Mounting Kit
Step 3: Choose Actuator
Optional Accessories
Z-Axis Stage Assembly Kits
Mounting Adapters
Base Plate with Rotational Adjustment

特長

クロスローラーベアリングにより、高耐荷重と小さな角度偏差を実現
ステージ、アクチュエータ、アクチュエーターマウントは、カスタマイズできるように別売りになっています。
移動量25 mmの電動式アクチュエータは、ピエゾ慣性モータ、ステッピングモータまたはサーボモータからお選びいただけます。
アクチュエータはサイドまたはセンターに取付け可能
幅75.7 mmのアリ溝を使用してステージやアクセサリを素早く接続
- コンポーネントの一覧については「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。

25 mm移動ステージXR25X(/M)は、お客様がご自身で電動(または手動)アクチュエータを選択してカスタム仕様のステージを構築できるように、アクチュエータやアクチュエータ取付け用キットを別売りでご用意しています。まず、右の表に記載されている取付け用ネジをミリ規格またはインチ規格からお選びください(下記ステップ1)。次に、アクチュエータの取付け位置を、サイドまたはセンターからお選びください(下記ステップ2)。続いて、アクチュエータをステッピングモータ、DCサーボモータ、またはピエゾ慣性モータからお選びください(下記ステップ3)。垂直移動ステージの取付けなど、取付けの柔軟性を高めるためのアクセサリもご用意しています。

当社のXR25シリーズ直線移動ステージ(リニアステージ)の移動量は25 mmで、1軸当たりの全移動範囲におけるピッチ方向とヨー方向の偏差は150 µrad未満です。これらのステージでは、クロスローラーベアリングを用いて精密移動と高耐荷重を実現しています。上部および底部プレートは、内部応力を最小化して安定性を向上させるためにアルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工されています。

各ステージの上部と底部にはクイック接続型のアリ溝が付いており(下の写真参照)、他のハードウェアを追加せずに多軸システムを構築できます。ステージの位置はロックプレートで固定できますが、その際は2.0 mm六角レンチまたはボール(六角)ドライバを使用できます。右下の動画で、この仕組みを利用して多軸システムを素早く構築する方法をご覧いただけます。XR25シリーズステージの幅75.7 mmのアリ溝は、当社のXR50シリーズステージ、垂直移動ステージXRV1/M、回転ステージXRR1/Mの各アリ溝に直接取り付けることができます。ステージ底部にはM6用スロットがあり、これを用いてブレッドボードに直接取り付けることもできます。

多軸ステージを素早く構築
各ステージの上部プレートと底部プレートには幅75.7 mmのアリ溝が付いているため、多軸システムを素早く構築できます。上部プレートを貫通して挿入するような位置決めピンやネジは必要ありません。従ってXYステージを構築する際に、上のステージに取り付けられたコンポーネントを外す必要がありません。また、上のステージはアリ溝に沿ってどの位置でも固定できるので、粗い位置決めができます。

多軸アセンブリーキット、レールキャリア、回転アダプタ、レール、ステージポジショナなどのアクセサリのラインナップも豊富にご用意しており、様々な機能を追加することができます。これらのアクセサリは、幅75.7 mmのアリ溝を有するすべてのステージに対応します。幅50.7 mmのアリ溝の付いた小型25 mmステージを、幅75.7 mmのアリ溝付きステージに取り付けるためのアダプタープレートもございます。ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、高分解能で相対位置決めを行い、かつそれを保持できるように設計されています。その様な機能を持たないアクチュエータのために、組み合わせてお使いいただける位置エンコーダENCXR25もご用意しています。手動マイクロメータが搭載されたXR25シリーズステージなどのクイック接続型ステージおよびそのアクセサリ製品のラインナップは、上の「クイック接続型ステージ」タブでご覧いただけます。

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ステージ底部(写真では上側)の幅75.7 mmのメス型アリ溝と、別のステージの対応するオス型アリ溝を結合して、XYステージを構築できます。写真左側のメス型アリ溝は後方に引き込めるタイプのクランプアームになっており、これによりステージを所定の位置に差し込んで固定することができます。

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サイドに取り付けられたアクチュエータは、ロッキングプレートの位置を変えればどちら側にでも取り付けることができるため、右手系と左手系のどちらのステージでも構築可能です。

多軸ステージの構築

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Z軸アセンブリーキットを使用することで垂直面に取り付け可能

クイック接続用アリ溝

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ステージ底部のメス型アリ溝は他のステージのオス型アリ溝と結合できます。

XR & XRNシリーズのアリ溝付きステージおよびアクセサリ

当社のXRシリーズステージにはクイック接続型のアリ溝が付いており、取付けハードウェアを追加することなく多軸システムを構築できます。1つの固定用クランプの付いた共通のアリ溝機構を有することで、部品の取付け・取外しが素早く簡単にできるだけでなく、それらの直交性も維持されます。

当社の主なクイック接続型アリ溝付き製品は以下の通りです。

直線移動ステージ
- 積み重ね可能な1軸ステージ
- 組立て済みの2軸および3軸ステージ
回転ステージ
- 360°フラット回転型
- あおり調整(チップ＆チルト)可能なゴニオステージ
アダプタ
- Z軸アセンブリーキット
- 幅50.7 mmおよび幅75.7 mmのアリ溝同士の平行取付けおよび直交取付け用アダプタ
レールアクセサリ
- 固定型取付けプラットフォーム
- レールコンポーネント用ポジショナ
ベースプレートおよびレール

ほとんどの製品はコンパクト型(幅50.7 mmアリ溝)とフルサイズ型(幅75.7 mmアリ溝)の両方をご用意しています。この2つのサイズを接続するためのアダプタもございます。ご提供可能な製品については下の表をご覧ください。

Linear Translation Stages
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Items	Compact 25 mm Stages	Compact 9 mm Vertical Stage	Full-Size 25 mm Stages	Full-Size 50 mm Stages	14 mm Vertical Stage
Motion	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	Z (Vertical)	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	Z (Vertical)
Quick-Connect Dovetail	2" Dovetail		3" Dovetail
Additional Features

Rotation and Goniometric Stages
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Items	Compact Rotation Stage	Compact Goniometric Stages	Full-Size Rotation Stage
Motion	360° Rotation	±8° Tip/Tilt About Fixed Point Above Stage	360° Rotation
Quick-Connect Dovetail	2" Dovetail		3" Dovetail
Additional Features

Stage Adapters
Z-Axis Assembly Kits
Z-Axis Assembly Kits	Compact Z-Axis Assembly Kits, 2" Dovetails	Full-Size Z-Axis Assembly Kits, 3" Dovetails
Parallel Mounting Adapters
Parallel Mounting Adapters	Parallel Mounting Adapter, Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail	Parallel Mounting Adapter, Male 3" Dovetail to Female 3" Dovetail
Perpendicular Mounting Adapter
Perpendicular Mounting Adapter	Perpendicular Mounting Adapter Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail

Dovetail Accessories
Mounting Platforms
Mounting Platforms	2" Mounting Platforms	3" Mounting Platforms
Rail Positioners
Rail Positioners	2" Rail Positioners	3" Rail Positioners

Dovetail Bases
Base Plates
Base Plates	2" Dovetail Base Plate	3" Dovetail Base Plate with Rotational Adjustment
Rails / Extended Bases
Rails / Extended Bases	2" Dovetail Rails	3" Dovetail Rails

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC^®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。当社のモジュール式クイック接続型移動ステージXR25シリーズは、同じ原理で動作するピエゾ慣性アクチュエータPIA25で駆動できます。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec^®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC^® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage	ORIC^® PD2 Open-Loop 5 mm Stage	ORIC® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage
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Travel	4.5 mm	5 mm
Speed	1 mm/s (Typ.)^a	10 mm/s (Typ. Max)^b	8 mm/s (Typ.)^c
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	Z	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	45.0 mm x 42.0 mm	13 mm x 13 mm
Additional Details

この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC^® PD1 Open-Loop 20 mm Stage	ORIC^® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage	ORIC^® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage	ORIC^® PD3 Open-Loop 50 mm Stage
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Travel	20 mm			50 mm
Speed	3 mm/s (Typ. Max)^a		20 mm/s (Typ. Max)^b	10 mm/s^c
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	30 mm x 30 mm			80 mm x 30 mm
Additional Details

コントローラK-Cube KIM101使用時
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。

Piezoelectric Stages
Product Family	Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator	Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator	Modular XR25 Series 25 mm Stage	Elliptec^® 28 mm Stage	Elliptec^® 60 mm Stage	LPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel	20 µm + 5 mm Manual	25 µm + 1.5 mm Manual	25 mm	28 mm	60.0 mm	1.1 mm
Maximum Velocity	-		≤3.6 mm/min^a	180 mm/s	90 mm/s	-
Drive Type	Piezo with Manual Actuator		Piezo Inertia Drive	Resonant Piezoelectric Motor		Amplified Piezo
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, YZ, XZ, XYZ	X		Z
Mounting Surface Size	75 mm x 75 mm	30 mm x 30 mm	110.0 mm x 75.7 mm	15 mm x 15 mm		21 mm x 21 mm
Additional Details

一方向に移動している間、各デバイスのステップサイズには20%以下の変動があり、通常それに再現性はありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。これはKinesisでの設定に適用されます。
ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適しています。光学式エンコーダENCXR25(別売り)をご使用いただくと、精度10.0 µmでの位置の読み出しが可能になります。

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。これらのステージの多くは多軸移動機能を有していたり(PLSXY)、あるいは多軸ステージを組み立てることが可能であったりします(PLSX、クイック接続型XR25シリーズ、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product Family	MVSN1(/M) 13 mm Vertical Stage	PLS Series 1" Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	LNR Series 25 mm Stage	LNR Series 50 mm Stage
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Travel	13 mm	1" (25.4 mm)	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	5.0 mm/s	7.0 mm/s	2.0 mm/s	2.0 mm/s	50 mm/s
Possible Axis Configurations	Z	X, XY	X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	24.5 mm x 50.0 mm	3" x 3" (76.2 mm x 76.2 mm)	110.0 mm x 75.7 mm	60 mm x 60 mm	100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product Family	NRT Series 100 mm Stage	NRT Series 150 mm Stage	LTS Series 150 mm Stage	LTS Series 300 mm Stage	MLJ250 50 mm Vertical Stage
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Travel	100 mm	150 mm	150 mm	300 mm	50 mm
Maximum Velocity	30 mm/s		50 mm/s		3.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, XYZ		Z
Mounting Surface Size	84 mm x 84 mm		100 mm x 90 mm		148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product Family	MT Series 12 mm Stages	PT Series 25 mm Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	MTS Series 25 mm Stage	MTS Series 50 mm Stage
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Travel	12 mm	25 mm	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	2.6 mm/s		2.6 mm/s	2.4 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	61 mm x 61 mm	101.6 mm x 76.2 mm	110.0 mm x 75.7 mm	43 mm x 43 mm
Additional Details

DC Servo Motor Stages
Product Family	M30 Series 30 mm Stage	M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage	M150 Series 150 mm XY Stage	KVS30 30 mm Vertical Stage
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Travel	30 mm		150 mm	30 mm
Maximum Velocity	2.4 mm/s		X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s	8.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, Z	XY, XZ	XY	Z
Mounting Surface Size	115 mm x 115 mm		272.4 mm x 272.4 mm	116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product Family	DDS Series 50 mm Stage	DDS Series 100 mm Stage	DDS Series 220 mm Stage	DDS Series 300 mm Stage	DDS Series 600 mm Stage
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Travel	50 mm	100 mm	220 mm	300 mm	600 mm
Maximum Velocity	500 mm/s		300 mm/s	400 mm/s	400 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY		X, XY	X	X
Mounting Surface Size	60 mm x 52 mm		88 mm x 88 mm	120 mm x 120 mm
Additional Details

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ステップ 1:ステージ取付け用ネジの選択

ズーム

Compatible 3" Dovetail Stages
XR50 50 mm Translation Stages
XRV1 Vertical Translation Stage
XRR1 Rotation Stage

取付け面には深さ7.6 mmのM6 x 1.0ネジ穴(止まり穴)が22個
カスタム構成用のステージ単体(アクチュエータとアクチュエーターマウントは下記にて別売り)
アリ溝の固定用ネジを使用して多軸ステージを構築可能
- 固定用ネジの最大トルクは1.69 N・m
75.7 mmのアリ溝付きステージに直接取付け可能(右の表参照)

ステージXR25X/Mは、カスタム構成をするために、アクチュエータとアクチュエーターマウントを付けずにご提供しています。サイドまたはセンターにアクチュエータを取り付ければ、25 mmの移動が可能です(アクチュエータとアクチュエータ－マウントは下記にて別売り)。ステージの上部プレートにはM6 x 1.0タップ穴(止まり穴)が配列されており、ステージは側面のプレートを用いてロックできます(2.0 mm六角レンチ使用)。ステージの両端には取付け用のスロットがあり、これを使用すればM6 x 1.0ネジで光学テーブルに直接取り付けることができます。また、ベースプレートXR25-B1/M(下記にて別売り)を使用すれば、位置と回転角の粗調整が可能です。

このステージは、75.7 mmのアリ溝を使用することで、他のステージに積み重ねて固定することが簡単にできます。ステージは、5 mm六角レンチを用いて、1つのアリ溝式ロック機構により固定されます。

ステップ 2:アクチュエーターマウントキットの選択

ズーム

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センター取付け用アクチュエーターマウントキットXR25-C2

アクチュエーターマウントとアクチュエータの取付け方法

XR25-C1:サイド取付け用のアクチュエーターマウントキット
XR25-C2:センター取付け用のアクチュエーターマウントキット
XR25およびXR50シリーズステージに対応
Ø3/8" (Ø9.525 mm)の取付けバレル

XR25またはXR50シリーズステージのためのアクチュエーターマウントキットとして、サイド取付け用のXR25-C1とセンター取付け用のXR25-C2をご用意しています。アクチュエーターマウントおよびアクチュエータの取付け方法については右の動画をご覧ください。

注:既に取り付けられているアクチュエータを取り外すときは、事前に2 mm六角レンチを用いてスチール製ロッキングプレートのボタンヘッドネジを締め付けてステージを固定してください。

アクチュエータを左側に取り付ける方法
アクチュエータを左側に取り付けるには(こちらの写真または上記概要タブ内の写真参照)、予め装着されているロッキングプレートをステージの右側に付け替える必要があります。アクチュエータが取り付けられている場合は、ロッキングプレートから3つのすべてのボタンヘッドネジを外す前に、アクチュエータを完全に短縮させた状態にしておく必要があります。そうしないと、アクチュエータを取り外したときにステージが急激に初期位置に戻り、ステージの機構に損傷を与える場合があります。

ステップ3:アクチュエータの選択

Motorized 25.0 mm (0.98") Travel Actuators
Item #^a	Photo^b	Actuator Type	Max Speed	Max Acceleration	Vertical Load Capacity	Required Controller^c	Footprint^d	Side-Mounted Example^b,e
PIA25^f		Piezo Inertia	≤3.6 mm/min^g	N/A	N/A^h	KIM001 or KIM101	Side-Mounted: 122.7 mm x 112.2 mm End-Mounted: 180.3 mm x 78.0 mm
ZFS25B		Compact Stepper Motor	2.0 mm/s	10 mm/s²	2.2 lbs (1.0 kg)	KST201	Side-Mounted: 146.8 mm x 113.7 mm End-Mounted: 209.8 mm x 78.0 mm
ZST225B		Stepper Motor	2.0 mm/s	10 mm/s²	2.2 lbs (1.0 kg)	KST201	Side-Mounted: 208.8 mm x 97.7 mm End-Mounted: 271.8 mm x 78.0 mm
Z925B		DC Servo Motor	2.6 mm/s	4 mm/s²	3.3 lbs (1.5 kg)	KDC101	Side-Mounted: 217.9 mm x 97.1 mm End-Mounted: 280.9 mm x 78.0 mm

リンクをクリックすると製品情報をご覧いただけます。
クリックすると、拡大してご覧いただけます。
アクチュエータを駆動するにはコントローラと電源が必要です。どちらも別売りです。
移動量を最大にしたときの値。クリックすると外形図をご覧いただけます。
写真の各アクチュエータは、ステージXR25X(/M)にサイド取付け用アクチュエーターマウントキットXR25-C1を使用して取り付けられています。センター取付け用アクチュエーターマウントキットXR25-C2を使用した取付け例は、こちらのリンクからご覧いただけます(ピエゾ慣性アクチュエータPIA25、ステッピングモータZFS25B)
ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適しています。光学式エンコーダENCXR25(別売り)をご使用いただくと、精度10.0 µmでの位置の読み出しが可能になります。
一方向に移動しているとき、各デバイスのステップサイズには20%以下の変動があり、通常それに再現性はありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。これはKinesisでの設定に適用されます。
詳細についてはアクチュエータPIA25の製品紹介ページをご覧ください。

Z軸ステージアセンブリーキット

ズーム

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アセンブリーキットXR25-XZ(/M)を使用してXZステージを構築

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アセンブリーキットXR25-YZ(/M)を使用してYZステージを構築

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アセンブリーキットXR25-XZ(/M)を使用してXYZステージを構築

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アセンブリーキットXR25-XZ(/M)とベースプレートXR25-B1(/M)(下記参照)を使用して構築したZ軸ステージ

直角ブラケットとZ軸取付けプレートのキット
X、Z、XZ、YZまたはXYZ構成のステージ構築が可能
幅75.7 mmのアリ溝付きステージに対応
付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m

当社ではXR25またはXR50シリーズステージを互いに垂直に取り付けるためのアセンブリーキットを2種類ご用意しております。アセンブリーキットXR25-XZ/Mには取付けプレートと直角プレートが含まれており、下段ステージの移動方向に対して平行な面を有するZ軸プラットフォームを構築できます(XZ構成)。アセンブリーキットXR25-YZ/Mにも取付けプレートと直角プレートが含まれており、下段ステージの移動方向に対して垂直な面を有するZ軸プラットフォームを構築できます(YZ構成)。組み立てる際には、Z軸ステージを下方向に最大限移動させてもほかの部品と干渉しないようにご注意ください。

どちらの構成のステージを組み立てるにも、XR25および(または)XR50シリーズのステージを2つ(組合せは任意)と、アセンブリーキットをご購入いただく必要があります。直角ブラケットの一方の面のメス型アリ溝とX軸またはY軸ステージのタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合し、次に直角ブラケットのもう一方の面のアリ溝とZ軸ステージのタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合します。Z軸ステージにはXR25-XZ/MまたはXR25-YZ/Mに付属しているタップ穴付き取付けプレートを取り付けます。取り付けるときは、プレートのオス型アリ溝とステージのメス型アリ溝を結合します(右の写真参照)。Z軸ステージをこのように取り付けることで、アクチュエータは重力と内部のバネの力に確実に対抗するようになります。

各アセンブリーキットに付属する取付けプレートのM6 x 1.0タップ穴の配列は、ステージの上部プレートのタップ穴の配列と同じです。取付けプレートの背面には2つのM4用ザグリ穴が付いており、これにM4の取付け用タップ穴の付いたオプトメカニクス部品を直接取り付けることができます。なお、それらのオプトメカニクス部品は、取付けプレートをステージに固定する前に、M4キャップスクリュで取り付けておく必要があります。

Z軸ステージの構築
Z軸のみの移動ステージを構築する場合は、右の写真のように直角ブラケットXR25-XZ(/M)またはXR25-YZ(/M)のどちらかを、直接ベースプレートXR25-B1(/M)(下記参照)に固定します。

X軸ステージの構築
直角ブラケットXR25-XZ/Mは、Z軸ステージを構築するときだけでなく、垂直面にX軸移動ステージを取り付ける場合にもご使用いただけます。X軸ステージを直角ブラケットXR25-XZ/Mに固定し、その直角ブラケットを直接ベースプレートXR25-B1/M(下記参照)に固定します。

XYZステージの構築
XYZステージを構築する場合は、まず2つのステージを接続してXYステージを構築します。次に、アセンブリーキットXR25-YZ/MでZ軸ステージを追加します。XYZステージはアセンブリーキットXR25-XZ/Mを用いても構築可能です。XR25-YZ/Mで構築した場合とは、X軸ステージとY軸ステージが入れ替わるだけで機能は同じです。アセンブリーキットXR25-XZ/Mを使用して構築されたXYZステージは右の写真でご覧いただけます。

取付けアダプタ

ズーム

アダプタXRN-A1：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に直交方向に取り付けられるようにします。
アダプタXRN-A2：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に平行に取り付けられるようにします。
アダプタXR25-A2：幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネント同士を、平行に取り付けられるようにします。
アダプタによりコンポーネントの位置が7.0 mm高くなります。

こちらのアダプタは、当社の着脱が容易なクロスローラーベアリングステージに対して、下の写真のようにさらに取付け機能を追加するものです。アダプタXRN-A1を用いると、幅50.7 mmのメス型アリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのオス型アリ溝付きコンポーネントに直交する方向に取り付けることができます。一方、アダプタXRN-A2を用いると、それらのコンポーネントを平行に取り付けることができます。アダプタXR25-A2を用いると、幅75.7 mmのアリ溝を有するコンポーネント同士を平行に取り付けることができます。下の右端の写真のように構成すると、レールに沿った移動と、取り付けられたステージによる移動を平行にすることができます。

組み立てるときは、まず上側に載せるステージやアクセサリの端にあるアリ溝の固定ネジを緩めます。次に、下の写真に示すように、下側のステージまたはレールの上にアダプタを取り付け、そのアダプタに対して上側のステージの位置を合わせます。最後に、上側のステージやアクセサリの端にあるアリ溝固定ネジを、アセンブリ全体が固定されるまで締め付けます(最大トルク:1.69 N･m)。なお、アダプタ側面の奥深くに付いているネジは、お客様ご自身で調整するネジではありませんのでご注意ください。

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アダプタXR25-A2を使用してレール
XR25DRに取り付けたXR25シリーズステージ

Click to Assemble
アダプタXRN-A1を使用してXR25シリーズステージに取り付けたXRN25シリーズ小型ステージ

Mounting Adapter Compatibility
Item #	Orientation	Top Component	Bottom Component
XRN-A1	Perpendicular	XRN25 Series XRNV1 Series XRNR1 Series XRNG1 Series	XR25 Series XR50 Series XRV1 Series XRR1 Series
XRN-A2	Parallel	XRN25 Series XRNV1 Series XRNR1 Series XRNG1 Series
XR25-A2	Parallel	XR25 Series XR50 Series XRV1 Series XRR1 Series

回転調整機能付きベースプレート

ズーム

ステージをテーブルの穴の配列に合わせて回転角と並進位置の粗調整が可能
直交するオス型アリ溝によりステージの取付け方向を2つの方向から選択可能
幅75.7 mmのアリ溝付きステージに対応

ベースプレートXR25-B1/Mを使用すると、XR25およびXR50シリーズステージの光学テーブルへの取り付け方法の幅が広がります。このベースプレートには直交するオス型アリ溝が2組付いており、XR25またはXR50ステージの取付け方向を2つの方向から選択できます。中央のM6用ザグリ穴と円弧状の2つのザグリ穴スロットにより、テーブルのM6 x 1.0穴の配列に対する角度の粗調整が可能です。テーブルの穴配列の方向に合わせてステージを取り付ける場合は、テーブルに固定する前に、ベースプレートの両端にある長さ55.9 mmの長穴スロットを用いてベース位置の粗調整を行うことができます。

Z軸ステージの構築
Z軸のみの移動ステージを構築する場合は、直角ブラケットXR25-XZ/MまたはXR25-YZ/M(上記参照)のどちらかを直接このベースプレートに固定します。

X軸ステージの構築
直角ブラケットXR25-XZ/M(上記参照)は、Z軸ステージを構築するときだけでなく、垂直面にX軸移動ステージを取り付ける場合にもご使用いただけます。直角ブラケットXR25-XZ/MはベースプレートXR25-B1/Mに直接固定できます。

上の動画ではステージをアライメントする際のベースプレートXR25-B1(/M)の使用方法をご紹介しています。

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円弧状スロットと中央のザグリ穴により、ベースプレートをテーブルの穴の配列に対して回転調整することができます。2つのスロットと直交する取付け用のアリ溝により、360°の調整ができます。

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ベースプレートXR25-B1(/M)上部の直交するアリ溝により、ステージは2つの方向のどちら向きにも取り付けられます。

Item #	PDXZ1(/M)	PD2(/M)	PDX2(/M)
Positioning Performance	12.5 nm Optical Encoder Resolution	N/A	12.5 nm Optical Encoder Resolution
Mounting Holes	2-56 (M2), 8 Places 4-40, 4 Places M3, 4 Places 8-32 (M4), 8 Places 1/4"-20 (M6)	00-90 (M1.2), 6 Places
Load Capacity	Vertical: 2.2 lbs / 1 kg	Horizontal: 2.20 lbs / 1 kg Vertical: 0.11 lbs / 0.05 kg

Item #	PD1(/M) PD1V(/M) (Vacuum Compatible)	PD1D(/M)	PDX1(/M)	PD3(/M)
Positioning Performance	N/A	N/A	10 nm Optical Encoder Resolution	N/A
Mounting Holes	2-56 (M2), 4 Places 8-32 (M4), 6 Places	2-56 (M2), 4 Places #2 (M2) Counterbores, 2 Places 8-32 (M4), 4 Places #8 (M4) Counterbores, 2 Places	2-56 (M2), 4 Places 8-32 (M4), 6 Places	8-32 (M4), 16 Places
Load Capacity	Horizontal: 6.61 lbs / 3 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.1 kg			Horizontal: 6.61 lbs / 3 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.1 kg^a

Item #	NF15AP25(/M)	NFL5DP20(/M), NFL5DP20S(/M)	XR25X(/M) + PIA25	ELL17(/M), ELL17K(/M) (Stage + Controller)	ELL20(/M), ELL20K(/M) (Stage + Controller)	LPS710E(/M) (Stage + Controller)
Positioning Performance	Piezo Resolution: 0.6 nm (Theoretical)		N/A^b	Positioning Accuracy: 50 µm, Repeatability: 20 µm		Bidirectional Repeatability: ±0.03%
Mounting Holes	4-40 (M2), 5 Places 8-32 (M4), 1 Place	6-32 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 4 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places	4-40 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 1 Place		4-40 (M3), 4 Places
Load Capacity	Horizontal: 1.1 lbs / 0.5 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	Horizontal: 2.2 lbs / 1 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: N/A	0.44 lbs / 0.2 kg		0.66 lbs / 0.3 kg

Item #	MVSN1(/M)	PLSX, PLSXY	XR25X(/M) + ZFS25B, XR25X(/M) + ZST225B	LNR25ZFS(/M)	LNR502(/M), LNR502E(/M)
Positioning Performance	On-Axis Accuracy: 50 µm Repeatability: 2 µm	Bidirectional Repeatability: 5 µm	Repeatability: <5.0 m="" td="">	On-Axis Accuracy: 15 µm	Bidirectional Repeatability: 3.9 µm (Standard) 0.75 µm (w/ Optical Encoding)
Mounting Holes	4-40 (M2 x 0.4), 4 Places 6-32 (M3 x 0.5), 4 Places	4-40, 4 Places (with PLST(/M) Top Plate: 1/4"-20 (M6) 9 Places, 8-32 (M4) 12 Places)	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 13 Places
Load Capacity	10 N	PLSX: Horizontal: 33.1 lbs / 15.0 kg Vertical: 8.0 lbs / 3.6 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 2.2 lbs / 1.0 kg	Horizontal: 11 lbs / 5 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 105 lbs / 48 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg
Load Capacity	10 N	PLSXY: Horizontal: 31.8 lbs / 14.4 kg Vertical: 6.0 lbs / 2.7 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 2.2 lbs / 1.0 kg	Horizontal: 11 lbs / 5 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 105 lbs / 48 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	NRT100(/M)	NRT150(/M)	LTS150C(/M)	LTS300C(/M)	MLJ250(/M)
Positioning Performance	On-Axis Accuracy: 2.0 µm (Typical); 5.0 µm (Max)		Absolute On-Axis Accuracy: 20 µm Calibrated Accuracy: < ±5.0 µm		Unidirectional Repeatability: <10 m="" td="">
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 8 Places		1/4"-20 (M6), 16 Places		1/4"-20 (M6 x 1.0), 25 Places
Load Capacity	Horizontal: 44 lbs / 20 kg Vertical: 11 lbs / 5 kg		Horizontal: 33.1 lbs / 15 kg Vertical: 8.8 lbs / 4 kg		44 lbs / 20 kg

Item #	MT1-Z9 (MT1/M-Z9), MT3-Z9 (MT3/M-Z9)	PT1-Z9 (PT1/M-Z9), PT3-Z9 (PT3/M-Z9)	XR25X(/M) + Z925B	MTS25-Z8 (MTS25/M-Z8), KMTS25E(/M) (Stage + Controller)	MTS50-Z8 (MTS50/M-Z8), KMTS50E(/M) (Stage + Controller)
Bidirectional Repeatability	Uncompensated: 13 µm	Uncompensated: ±7 µm Compensated: ±0.8 µm	Uncompensated: ±7 µm Compensated: ±0.8 µm	1.6 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 16 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places	4-40 (M3), 18 Places 8-32 (M4), 1 Place
Load Capacity	Vertical (Motor Pushing Down): 4.4 lbs (2.0 kg) Vertical (Motor Pushing Up): 10 lbs (4.5 kg) Horizontal: 20 lbs (9.0 kg)	Vertical (Motor Pushing Down): 7 lbs (3.2 kg) Vertical (Motor Pushing Up): 10 lbs (4.5 kg) Horizontal:20 lbs (9.0 kg)	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 3.3 lbs / 1.5 kg	Horizontal: 25 lbs / 12 kg Vertical: 10 lbs / 4.5 kg

Item #	M30X(/M)	M30XY(/M)	M150XY(/M)	KVS30
Bidirectional Repeatability	±1.0 µm		±0.25 µm	±0.12 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 25 Places		1/4"-20 (M6 x 1.0 mm), 117 Places	1/4"-20 (M6), 25 Places 8-32 (M4), 16 Places
Load Capacity	Horizontal: 11.02 lbs / 5.0 kg Vertical: 4.41 lbs / 2.0 kg		22.0 lbs / 10 kg	15.4 lbs / 7.0 kg

Item #	DDS050(/M)	DDS100(/M)	DDS220(/M)	DDS300(/M)	DDS600(/M)
Bidirectional Repeatability	±1.5 µm		±0.25 µm
Mounting Holes	8-32 (M4), 10 Places 1/4"-20 (M6), 6 Places		4-40 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 5 Places	8-32 (M4), 16 Places 1/4"-20 (M6), 25 Places
Load Capacity	1.98 lbs / 0.9 kg		6.6 lbs / 3.0 kg	22.0 lbs / 10.0 kg