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フランジ-フレアレス管継手用アダプタKF25100Cに取り付けられたガラス製ネジ付き光学ポートGC1TP。ポートにはエンドキャップ GC1 を用いてサファイアウィンドウWG31050-Dが取付けられています。

特長

• 真空システムに光を入出射するための長さ60 mmのガラス製ポート
• 開口径：Ø20 mm(ポート全長を貫通)
• 片端に付いているØ28 mmのGL-32ネジを用いて、Ø25.4 mmウィンドウの取付けおよび交換が可能
• 外径Ø25.4 mmまたはØ25 mmのパイプに対応するフランジ-フレアレス管継手用アダプタKF25C100に適合
• 25 °Cで10^-7 Torr～5 psi(～34kPa)の真空圧力に適した製品
• カスタム仕様の設計や製造も承ります(当社までお問い合わせください)

ガラス製ネジ付き光学ポートGC1TPは、真空チャンバ内に光を入射したり、チャンバ内のプロセスを観察したりするための製品です。ネジ付き光学ポートGC1TPの片端にはGL-32に準拠した外径Ø28 mmのガラス製外ネジが付いており、Ø25.4 mm(厚さ3～5 mm)のフラットウィンドウやウェッジウィンドウを、ネジ付きエンドキャップGC1を用いて固定することができます。もう一方の端の外径はØ25.4 mmになっており、外径Ø25.4 mmまたはØ25 mmのパイプに対応するフランジ-フレアレス管継手用アダプタKF25C100に取付けることができます。 ガラス製のリブは、ポートを加熱して押し出すことで、ポート全周にわたって形成されています。これにより、フレアレス管継手に取り付けて真空に引いても、ポートは動きません。KFフランジを用いた真空封止の方法については「用途」タブをご覧ください。

ポートの全長が60 mmあるため、フレアレス管継手への取付け・取外しが容易であり、またキャップGC1をポートに完全にねじ込むことができます。また、エンドキャップGC1を取り付けた状態でもØ20 mmの開口径が維持されるため、ポートへの光の入出射が適切に行えます。

このネジ付き光学ポートGC1TPはホウケイ酸ガラス製です。このガラスは欠けたり割れたりしにくい丈夫な素材で、350 nm～2200 nmで高い透過率を有します。10^-7Torrから5 psi(～34kPa)までの真空圧力範囲でお使いいただけます。製造後は、超音波洗浄を行った後、メタノールで洗浄しています。さらに、ポートを真空システムに接続して真空リーク試験も行っています。ポート出荷時のパッケージは真空封止されていませんので、真空システム内にセットする前に、前述と同様のクリーニングを行うことをお勧めします。

KFフランジを用いた真空封止の方法

当社のKF25C100を使用して、光学ポートへのガスの流出入を制御することができます。当社のガラス製ネジ付き光学ポートGC1TPの片端はØ25.4 mmのチューブになっており、フランジ-フレアレス管継手用アダプタKF25C100に挿入することができます。

以下では、この光学ポートをKF25フランジの付いた真空システムに取り付ける方法をご紹介します。

1. 洗浄された点検済みのセンタリングOリングKF25CR-Fに真空用グリースを塗布し、ベースポストまたはパイプの上に置きます。
2. センタリングOリングKF25WNC の上にフランジ-フレアレス管継手用アダプタKF25C100を置き、ウィングナットクランプKF25WNCで固定します。
3. フランジ-フレアレス管継手用アダプタのローレット加工された固定ノブを緩め、ノブ、Oリング、およびシールリングを外して結合面を点検します。また付属のOリングに真空用グリースを塗布します。こうすることで、光学ポートがシステムに挿入されたときに真空封止が可能になります。
4. 光学ポートのØ25.4 mmのチューブを、まずローレット加工された固定用ノブの上側(Thorlabsの刻印側)から挿入し、次にシールリング(Oリング用のザグリ穴がアダプタ本体方向に向くように)、およびフランジ-フレアレス管継手用アダプタのOリング(この順番で)に挿入します。
5. 続いてフランジアダプタ本体に挿入し、Oリング、シールリング、固定用ノブをアダプタ本体まで移動させます。最後に、固定用ノブを手で締め付けます。

組立てられた状態のフランジ-フレアレス管継手用アダプタに、ガラス管を直接挿入することはお勧めしません。ガラス製チューブの鋭端部でOリングを傷つけ、真空封止ができない場合があります。