Products Home / オプトメカニクス用部品 / 真空対応部品 / 高真空用CFフランジ(コンフラットフランジ)部品 / 高真空用CFフランジビューポート、Ø10 mm CVDダイヤモンドウィンドウ高真空用CFフランジビューポート、Ø10 mm CVDダイヤモンドウィンドウ
- CF Flange Viewports for High-Vacuum Systems
- Includes a Ø10 mm Polycrystalline CVD Diamond Window
- Ø6.0 mm Clear Aperture
VC206
Ø10.0 mm Flat Window
Viewport, CVD Diamond Window
Front
Back
VGA10
Annealed Copper Gaskets, 10 Pack
VMH6
Flange Mounting Hardware Pack (6 Bolts, 6 Nuts, & 12 Washers)
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CVDダイヤモンドウィンドウの吸収スペクトル
| Vacuum Specifications | |
|---|---|
| Vacuum Level | 1 x 10-8 Torr (Max) |
| Max Temperature | 150 °C |
| Thermal Gradient | 20 °C/min (Max) |
特長
- 真空度:1 x 10-8 Torr (Max)
- ベイク温度:50 °C (Max)
- 厚さ0.5 mmのØ10.0 mm CVDダイヤモンドウィンドウが付属
- 有効径Ø6.0 mm
- Ø12 mm～Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)レンズチューブ用SM05内ネジとØ25 mm～Ø25.4 mm(Ø1インチ)レンズチューブ用SM1内ネジ付き
- フランジ取付用ネジセットや銅製ガスケットは別売り(下記参照)
Ø10 mm 多結晶CVDダイヤモンドウィンドウ付き高真空対応Ø70 mm(Ø2.75インチ)(DN40)CFフランジビューポートは、 10-8 Torrまでの高真空システムへの光の入出力が可能です。このフランジには当社の 30 mmケージシステムに対応したケージロッド用の4つの#4-40取付穴のほか、同軸にØ12 mm～Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)レンズチューブ用SM05内ネジとØ25 mm～Ø25.4 mm(Ø1インチ)レンズチューブ用SM1内ネジが付いています。
ダイヤモンドは広い透過スペクトル幅(220 nm～50 µm以上)と高い熱伝導率(300 Kにおいて(2200 Wm-1K-1以上、425 Kにおいて1600 Wm-1K-1以上)を有します。付属のウィンドウの吸収スペクトルについては右のグラフをご覧ください。ダイヤモンドウィンドウは吸収係数が小さいため、高パワーのレーザ光をウィンドウに損傷を与えることなく透過させることができます。ダイヤモンドは生体適合性があるため、医療用としてもご使用いただける場合があります。また透過スペクトル幅が広いため、分光システムでは透過効率が向上します
当社のCFビューポートは、10-8Torrまでの高真空(HV)で使用できるように、金属とガラス間を気密にするバイトンOリングを使用しています。フランジは回転しません。また、付属のCVDダイヤモンドウィンドウのみにご使用ください。交換が必要な場合、ウィンドウ(型番 WGM1005)は別売りでご用意しています。
銅製ガスケットや、Ø70 mm(Ø2.75インチ) CFフランジ用の取付部品セットもご用意しております(下記参照)。 ビューポートには6つのM6貫通穴があり、ボルトで標準的なØ70 mm(Ø2.75インチ) CFフランジに取り付けることができます。また、Ø25.4 mm(Ø1インチ)ウィンドウ、Ø38.1 mm(Ø1.5インチ)ウィンドウ、Ø38.1 mm(Ø1.5インチ)ウェッジウィンドウ用の高真空対応CFビューポートもございます。
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図5:前面プレートのネジ締め付けの順序
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図4:前面プレートをネジ穴に揃えた取り付けたビューポート
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図3:ウィンドウ上にOリングを取り付けたビューポート
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図2:Oリング上にウィンドウを取り付けたビューポート
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図1:前面が取り外され、Oリングを取り付けたビューポート
当社の高真空ビューポートは、実験条件や必要に応じてウィンドウの交換・取り付けができる設計となっております。ウィンドウの取り付けは、比較的素早く簡単にできます。下記では当社の高真空CFフランジにウィンドウを取り付け、交換する手順を説明しています。
ステップ1:Oリングと台座に凹み、傷または汚れがないか調べます。圧縮空気で台座から埃などを取り除いたあと、Oリングを台座に取付けます(図1)。必要であれば、当社の光学素子のクリーニングチュートリアルを参照しながらウィンドウをクリーニングします。
ステップ2:ウィンドウをOリングの上に置き(図2)、その後2つ目のOリングをウィンドウの上に置きます(図3)。
ステップ3:前面プレートをウィンドウ上の上に置き、Oリングを前面プレートの溝にはめ込み、前プレートの6つの穴をフランジのネジ穴に合わせます(図4)。部品はウィンドウ表面上をスライドさせないようご注意ください。
ステップ4:6つのネジを全面プレートの穴に置き、2.0 mm六角レンチで前面プレートに接触する程度に締め付けます。
ステップ5:図5で示している順序で各ネジを1/4ずつ回します。これを前面プレートがフランジに完全に締め付けられるまで繰り返します。
Insights: 真空対応CF(コンフラット)フランジ
スクロールすると下記について説明しています。
- 真空対応CF(コンフラット)フランジの使い方
このほかにも実験・実習や機器に関するヒントをまとめて掲載しています。こちらからご覧ください。
真空対応CF(コンフラット)フランジの使い方
超高真空レベル(10-8 Torr (1.33 x 10-8 mbar、1.33 x 10-8 hPa)より高真空)を実現するための接続方法として、2つのCF(ConFlat®)フランジの間に金属ガスケットを挟んで締め付ける方法があります。ここでは、その接続方法を、ファイバーフィードスルーの付いたCFフランジとCFフランジの付いたT字管のポートを使用して実演しています。真空封止の品質と真空システムを目標とする真空レベルまで排気するのに必要な時間は、ボルトが正しく締め付けられていることを確認すれば決まるというわけではありません。ここでは、良好な結果を得るのに役立つ、真空部品や真空システムを取扱うための方法もいくつかご紹介します。
ナイフエッジの損傷、ボルトの乱暴な締め方、ガスケットの再使用などは、すべてCFフランジによる真空接続部にリーク(漏れ)を発生させる可能性があります。動画で実演されている方法は、これらの要因によるリスクを軽減します。これらの要因はすべて金属ガスケットの展性(可鍛性)に関係しています。ガスケットは、ナイフエッジにおける傷などの幅の狭い急峻な形状を埋めるほどには柔らかくないため、ナイフエッジは新品のままの状態であることが重要です。ボルトを何回にも分けて徐々に締めていくのは、ガスケットの円周の厚さを均一に保つうえで効果的です。各ボルトを一度に締め付けると、ガスケットの厚さにばらつきが生じ、均一にすることが困難あるいは不可能になる場合があります。これは金属ガスケットの流動性に限界があるためであり、それによってガスケットとナイフエッジの間に隙間が生じる可能性が有ります。ガスケットは、常に新しいものを使用されることをお勧めします。前回の使用時に部分的にしか圧縮しなかった場合でも、再利用したときにはナイフエッジの輪郭に適合するのに十分な展性がない場合があります。これは圧縮により金属がひずみ硬化(加工硬化)するためです。
真空システムの接続部にリークがあると、リークチェックを行って問題箇所を特定したり、それを解決するために真空システムを再度開いたりなど、多くの時間を費やすことになりかねません。そのほか、チャンバ内部やチャンバに取り付けられたコンポーネントに破損や動作不良があると、生産的な作業が遅れる場合もあります。そのため、ファイバーフィードスルーの取扱い方などに関しても、特に注意すべき点についてご紹介しています。
そのほかにも実験室でお使いいただけるヒント、工夫や方法などの動画がこちらからご覧いただけます。また、ウェビナーでは、当社の様々な製品に関する理論や実用的な事柄などをご紹介しています。
ConFlat®はAgilent Technologies社の登録商標です。
| Products Featured During Demonstration | |||
| Optical Fiber Feedthrough | 1/4-Hard Copper Gaskets | Fiber Inspection Scope | Nitrile Gloves |
| UHV Fiber Patch Cable | Solvent Dispenser | Fiber Connector Cleaner | Wipes |
最終更新日: 2022年9月21日
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ズーム
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ビューポートVC206の図面
- Ø70 mm(Ø2.75インチ)ビューポート、Ø10 mm CVDダイヤモンドウィンドウ
- Viton製Oリングで金属とガラス間を密閉
- 有効径: Ø6.0 mm
当社のØ70 mm(Ø2.75インチ)CFフランジビューポートは、10-8 Torrまでの高真空(HV)システムへの光の入出力を可能にします。ビューポートVC206は固定式(非回転)のフランジで、有効径Ø6.0 mmのØ10 mm CVDダイヤモンドウィンドウ付きです。 ビューポートには6つのM6貫通穴があり、ボルトで標準的なØ70 mm(Ø2.75インチ) CFフランジに取り付けることができます。なお、取付用部品は付属しておりません。
ビューポートには多結晶CVDダイヤモンドウィンドウが取り付けられております。ウィンドウの交換の際には、型番WGM1005のウィンドウをご使用ください。 交換前には「ウィンドウの取付け」タブの手順をご覧ください。
ズーム
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銅製ガスケットVGC10をビューポートVC206に取り付けた様子
- ステンレススチール製(18-8)取付用部品セットVMH6の内容
- ボルト6個(銀メッキ、1/4"-28 x 1.50"、12ポイント)
- ナット6個、ワッシャ12個
- Ø70 mm(Ø2.75インチ)CFフランジを用いて密閉する銅製ガスケット(1個使用)
- 101銅合金(純度99.99%)、OFHC(無酸素銅)
- VGC10:1/4硬質銅ガスケット
- VGC10:1/4硬質銅ガスケット VGA10:アニール済み銅ガスケット
当社ではØ70 mm(Ø2.75インチ)CFフランジを組み込むための取付用部品と銅製ガスケットをご用意しております。フランジは、ナイフエッジ機構を利用して、接合部品間を密閉します。密閉にはよく銅製ガスケットが採用されています。接合部のボルトをしっかりと締めた時に、ナイフエッジは銅製ガスケットに「噛み付き」、変形します。押し出された金属は全ての機械加工による凹みと表面欠損を埋め、漏れのない密閉を生み出します。
1/4硬質銅ガスケットならびにアニール済み銅ガスケットはそれぞれ10個セットでご用意しております。ほとんどの用途には1/4硬質銅ガスケットをお勧めします。ビューポートのようなデリケートなデバイスには、フランジの応力による光学部品の変形の可能性を低くするため、より柔らかいアニール銅ガスケットの使用をお勧めします。ステンレススチール製の取付用部品には、銀メッキボルト6個、ナット6個、ワッシャ12個が含まれます。ボルトの銀メッキが潤滑油としてボルトのステンレススチール面とナットの摩耗を防止します。
取付手順
まずはじめにCFフランジのナイフエッジ面に埃や傷がないことを確認してください。その後ボルト穴の向きを選び、ガスケットを(リーク溝があれば、それとアライメントさせながら)挿入します。ワッシャをスライドさせてボルト上に取り付け、ボルトをフランジに差しこみ、もう1個ワッシャをつけてからナットを締め付けます。ボルトは手で締め付け、その後2つのレンチを使用してボルト頭部を保持し、ナットを回します。ナットは星型の順番で徐々に1/8～1/4ほど締め付けていきます。
 高真空用ビューポート、Ø10 mmダイヤモンドウィンドウ |