モジュール型電動直線移動ステージ、コンパクト型、移動量25 mm、クロスローラーベアリング

25 mm Travel in a Compact Design with Choice of Motorized Actuator
Low Angular Deviation and High Load Capacity
Integrated 2" Dovetails for Multi-Axis Construction
Side- or End-Mounted Actuators Available

XRN25X

25 mm Stage, 1/4"-20 Taps
(Actuator and Actuator Mount
Sold Separately)

XRN-C1

Actuator Side-Mounting Kit

XRN25X Stage with
XRN-C1 Side-Mounting Kit and
ZFS25B Compact Stepper Motor Actuator

Z925B

DC Servo Motor Actuator

PIA25

Piezo Inertia Actuator

Please Wait

概要
Feedback
電動ステージ
クイック接続型ステージ

Key Specs
Travel	25 mm
XY Stacked Orthogonality	< 25 µrad
Angular Deviation	< 150 µrad
Platform Size	3.35" x 2.00" (85.0 mm x 50.7 mm)
Platform Height	0.91" (23.0 mm)
Mounting Holes	17 x 1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps
Mating Dovetail Width	2"
Horizontal Load Capacity (Max)	170 lbs (77.1 kg)
Vertical Load Capacity (Max)	Limited by Actuator^a
Bearing Type	Crossed-Roller Bearings
Actuator Mounting Barrel Size^a	Ø3/8" (Ø9.525 mm)

アクチュエーターマウントとアクチュエータは下記にて別売りです。

Table 1.1 Quick Links
DIY Stages
Step 1: Choose Mounting Threads
Step 2: Choose Actuator Mounting Kit
Step 3: Choose Actuator
Optional Accessories
Z-Axis Stage Assembly Kits
Mounting Adapters
Base Plate

特長

クロスローラーベアリングにより、高耐荷重と小さな角度偏差を実現
ステージ、アクチュエータ、アクチュエーターマウントは別売りのためカスタマイズが可能
移動量25 mmの電動式アクチュエータは、ピエゾ慣性モータ、ステッピングモータまたはサーボモータから選択可能
アクチュエータはサイドまたはセンターに取付け可能
幅50.7 mmのアリ溝を使用してステージやアクセサリを素早く接続
- コンポーネントの一覧については「クイック接続型ステージ」タブを参照

25 mm移動ステージXRN25X(/M)は、お客様がご自身で電動(または手動)アクチュエータを選択してカスタム仕様のステージを構築できるように、アクチュエータやアクチュエーターマウントを別売りでご用意しています。まず、Table 1.1に記載されているように取付け用ネジをミリ規格またはインチ規格からお選びください(ステップ1)。次に、アクチュエータの取付け位置をサイドまたはセンターからお選びいただき、それに適した取り付けキットを選択してください(ステップ2)。続いて、アクチュエータをステッピングモータ、DCサーボモータ、またはピエゾ慣性モータからお選びください(ステップ3)。垂直移動ステージの取付けなど、取付けの柔軟性を高めるためのアクセサリもご用意しています。

当社のステージXRN25X/Mの移動量は25 mmで、1軸当たりの全移動範囲におけるピッチ方向とヨー方向の偏差は150 µrad未満です。これらのステージでは、クロスローラーベアリングを用いて精密移動と高耐荷重を実現しています。上部および底部プレートは、内部応力を最小化して安定性を向上させるためにアルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工されています。ステージの位置はロックプレートで固定できます。

各ステージの上部と底部にはクイック接続型のアリ溝が付いており(Figure 1.2参照)、他のハードウェアを追加せずに多軸システムを構築できます。Video 1.4では、この設計を利用して多軸システムを素早く構築する方法を説明しています。XRN25X/Mステージの幅50.7 mmのアリ溝は、当社の垂直移動ステージXRNV1/M、回転ステージXRNR1/M、ゴニオステージXRNG1/Mの各アリ溝に直接取り付けることができます。ステージ底部にはM6用スロットがあり、これを用いてブレッドボードに直接取り付けることもできます。

Video 1.4 容易に多軸ステージを構築可能
ステージXRN25X/Mの上部プレートと底部プレートには幅50.7 mmのアリ溝が付いており、多軸システムを素早く構築できます。上部プレートを貫通して挿入しなければならないような位置決めピンやネジはありません。従ってXYステージを構築する際に、上側のステージに取り付けられたコンポーネントを外す必要がありません。また、上側のステージはアリ溝に沿ってどの位置でも固定できるので、粗い位置決めができます。

多軸アセンブリーキット、レールキャリア、回転アダプタ、レール、ステージポジショナなど、幅50.7 mmのアリ溝に対応するアクセサリのラインナップも豊富にご用意しており、様々な機能を追加することができます。これらのアクセサリは、幅50.7 mmのアリ溝を有するすべてのステージと組み合わせてご利用いただけます。コンパクトな幅50.7 mmのアリ溝付きステージを幅75.7 mmのアリ溝付きステージに取り付けるアダプタープレートもご用意しています。手動マイクロメータが搭載されたXRN25シリーズのステージやフルサイズのモジュール型電動ステージXR25X/Mなどのクイック接続型ステージと、そのアクセサリ製品のラインナップについては、上の「クイック接続型ステージ」タブでご覧いただけます。

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Figure 1.2 ステージ底部(写真では上側)の幅50.7 mmのメス型アリ溝と、別のステージの対応するオス型アリ溝を結合して、XYステージを構築できます。写真左側のメス型アリ溝は後方に引き込めるタイプのクランプアームになっており、これによりステージを適当な位置に差し込んで固定することができます。

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Figure 1.3 アクチュエータをサイドに取り付ける場合、ロッキングプレートの位置を変えればどちら側にでも取り付けることができるため、右手系と左手系のどちらのステージでも構築可能です。

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電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC^®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。当社のモジュール式クイック接続型移動ステージXR25シリーズは、同じ原理で動作するピエゾ慣性アクチュエータPIA25で駆動できます。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec^®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC^® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage	ORIC^® PD2 Open-Loop 5 mm Stage	ORIC^® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage	ORIC^® PDX4 Closed-Loop 12 mm Stage
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Travel	4.5 mm	5 mm		12 mm
Speed	1 mm/s (Typ.)^a	10 mm/s (Typ. Max)^b	8 mm/s (Typ.)^c	15 mm/s (Typ.)^a
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	Z	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	45.0 mm x 42.0 mm	13.0 mm x 13.0 mm		13.0 mm x 23.0 mm
Additional Details

この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube^® KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC^® PD1 Open-Loop 20 mm Stage	ORIC^® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage	ORIC^® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage	ORIC^® PD3 Open-Loop 50 mm Stage	Compact Modular XRN25X 25 mm Stage	Modular XR25X 25 mm Stage
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Travel	20 mm			50 mm	25 mm
Speed	3 mm/s (Typ. Max)^a		20 mm/s (Typ. Max)^b	10 mm/s^c	≤3.6 mm/min^d	≤3.6 mm/min^d
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, YZ, XZ, XYZ
Mounting Surface Size	30.0 mm x 30.0 mm			80.0 mm x 30.0 mm	85.0 mm x 50.7 mm	110.0 mm x 75.7 mm
Additional Details

Specified using KIM101 K-Cube Controller.
Specified using PDXC and PDXC2 Benchtop Controllers.
Specified using PDXC and PDXC2 Benchtop Controllers. For performance when controlled with a KIM001 or KIM101 K-Cube Controller, see the Specs tab of the PD2 or PD3 stage presentation.
For a given set of settings in Kinesis, while travelling in one direction, each device's step size may vary by up to 20% and is not normally repeatable. Due to the open loop design, component variance, change of direction and application conditions may further increase the scale of the variance.
The PIA25 piezo inertia actuator is ideal for set-and-hold applications that require high-resolution relative positioning.
For position readouts with 10.0 µm accuracy, we offer the ENCXR25 optical encoder (sold separately).

Piezoelectric Stages
Product Family	Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator	Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator	Elliptec^® 28 mm Stage	Elliptec^® 60 mm Stage	LPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel	20 µm + 5 mm Manual	25 µm + 1.5 mm Manual	28.0 mm	60.0 mm	1.1 mm
Speed	-		180 mm/s (Max)	90 mm/s (Max)	-
Drive Type	Piezo with Manual Actuator		Resonant Piezoelectric Motor		Amplified Piezo
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X		Z
Mounting Surface Size	75.0 mm x 75.0 mm	30.0 mm x 30.0 mm	15.0 mm x 15.0 mm		21.0 mm x 21.0 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。これらのステージの多くは多軸移動機能を有していたり(PLSXY)、あるいは多軸ステージを組み立てることが可能であったりします(PLSX、クイック接続型XR25シリーズ、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product Family	MVSN1(/M) 13 mm Vertical Stage	PLS Series 1" Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	LNR Series 25 mm Stage	LNR Series 50 mm Stage
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Travel	13 mm	1" (25.4 mm)	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	5.0 mm/s	7.0 mm/s	2.0 mm/s	2.0 mm/s	50 mm/s
Possible Axis Configurations	Z	X, XY	X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	24.5 mm x 50.0 mm	3" x 3" (76.2 mm x 76.2 mm)	110.0 mm x 75.7 mm	60 mm x 60 mm	100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product Family	NRT Series 100 mm Stage	NRT Series 150 mm Stage	LTS Series 150 mm Stage	LTS Series 300 mm Stage	MLJ250 50 mm Vertical Stage
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Travel	100 mm	150 mm	150 mm	300 mm	50 mm
Maximum Velocity	30 mm/s		50 mm/s		3.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, XYZ		Z
Mounting Surface Size	84 mm x 84 mm		100 mm x 90 mm		148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product Family	MT Series 12 mm Stages	PT Series 25 mm Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	MTS Series 25 mm Stage	MTS Series 50 mm Stage
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Travel	12 mm	25 mm	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	2.6 mm/s		2.6 mm/s	2.4 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	61 mm x 61 mm	101.6 mm x 76.2 mm	110.0 mm x 75.7 mm	43 mm x 43 mm
Additional Details

DC Servo Motor Stages
Product Family	M30 Series 30 mm Stage	M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage	M150 Series 150 mm XY Stage	KVS30 30 mm Vertical Stage
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Travel	30 mm		150 mm	30 mm
Maximum Velocity	2.4 mm/s		X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s	8.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, Z	XY, XZ	XY	Z
Mounting Surface Size	115 mm x 115 mm		272.4 mm x 272.4 mm	116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product Family	DDS Series 50 mm Stage	DDS Series 100 mm Stage	DDS Series 220 mm Stage	DDS Series 300 mm Stage	DDS Series 600 mm Stage
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Travel	50 mm	100 mm	220 mm	300 mm	600 mm
Maximum Velocity	500 mm/s		300 mm/s	400 mm/s	400 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY		X, XY	X	X
Mounting Surface Size	60 mm x 52 mm		88 mm x 88 mm	120 mm x 120 mm
Additional Details

多軸ステージの構築

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Figure 107B Z軸アセンブリーキットを使用することで垂直面に取り付け可能

クイック接続用アリ溝

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Figure 107A ステージ底部のメス型アリ溝は他のステージのオス型アリ溝と結合できます。

XR & XRNシリーズのアリ溝付きステージおよびアクセサリ

当社のXRシリーズステージにはクイック接続型のアリ溝が付いており、取付けハードウェアを追加することなく多軸システムを構築できます。1つの固定用クランプの付いた共通のアリ溝機構を有することで、部品の取付け・取外しが素早く簡単にできるだけでなく、それらの直交性も維持されます。

当社の主なクイック接続型アリ溝付き製品は以下の通りです。

直線移動ステージ
- 積み重ね可能な1軸ステージ
- 組立て済みの2軸および3軸ステージ
回転ステージ
- 360°フラット回転型
- あおり調整(チップ＆チルト)可能なゴニオステージ
アダプタ
- Z軸アセンブリーキット
- 幅50.7 mmおよび幅75.7 mmのアリ溝同士の平行取付けおよび直交取付け用アダプタ
レールアクセサリ
- 固定型取付けプラットフォーム
- レールコンポーネント用ポジショナ
ベースプレートおよびレール

ほとんどの製品はコンパクト型(幅50.7 mmアリ溝)とフルサイズ型(幅75.7 mmアリ溝)の両方をご用意しています。この2つのサイズを接続するためのアダプタもございます。ご提供可能な製品については下の表をご覧ください。

Linear Translation Stages
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Items	Compact 25 mm Stages	Compact 9 mm Vertical Stage	Full-Size 25 mm Stages (Modular Motorized Also Available)	Full-Size 50 mm Stages	14 mm Vertical Stage
Motion	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	Z (Vertical)	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	Z (Vertical)
Quick-Connect Dovetail	2" Dovetail		3" Dovetail
Additional Features

Rotation and Goniometric Stages
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Items	Compact Rotation Stage	Compact Goniometric Stages	Full-Size Rotation Stage
Motion	360° Rotation	±8° Tip/Tilt About Fixed Point Above Stage	360° Rotation
Quick-Connect Dovetail	2" Dovetail		3" Dovetail
Additional Features

Stage Adapters
Z-Axis Assembly Kits
Z-Axis Assembly Kits	Compact Z-Axis Assembly Kits, 2" Dovetails	Full-Size Z-Axis Assembly Kits, 3" Dovetails
Parallel Mounting Adapters
Parallel Mounting Adapters	Parallel Mounting Adapter, Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail	Parallel Mounting Adapter, Male 3" Dovetail to Female 3" Dovetail
Perpendicular Mounting Adapter
Perpendicular Mounting Adapter	Perpendicular Mounting Adapter Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail

Dovetail Accessories
Mounting Platforms
Mounting Platforms	2" Mounting Platforms	3" Mounting Platforms
Rail Positioners
Rail Positioners	2" Rail Positioners	3" Rail Positioners

Dovetail Bases
Base Plates
Base Plates	2" Dovetail Base Plate	3" Dovetail Base Plate with Rotational Adjustment
Rails / Extended Bases
Rails / Extended Bases	2" Dovetail Rails	3" Dovetail Rails

ステップ 1:ステージ取付け用ネジの選択

ズーム

Table G1.1 Compatible 2" Dovetail Stages
XRNV1 Vertical Translation Stage
XRNR1 Rotation Stage
XRNG1 Goniometric Stage

取付け面には深さ7.6 mmのM6 x 1.0ネジ穴(止まり穴)が17個
カスタム構成用のステージ単体(アクチュエータとアクチュエーターマウントは下記にて別売り)
クイック接続型のアリ溝を使用して多軸ステージを構築可能
- アリ溝固定用ネジの最大トルクは1.69 N・m
50.7 mmのアリ溝付きステージに直接取付け可能(Table G1.1参照)

ステージXRN25X/Mはカスタム構成用の製品で、アクチュエータやアクチュエーターマウントは付いていません。アクチュエータをサイドまたはセンターに取り付ければ、25 mmの移動が可能です(アクチュエーターマウントキットとアクチュエータは下記にて別売り)。ステージの上部プレートにはM6 x 1.0タップ穴(止まり穴)が配列されており、ステージの動きは側面のプレートをネジで締め付けることでロックできます(2.0 mm六角レンチ使用)。ステージの両端には取付け用のスロットがあり、これを使用してM6 x 1.0ネジで光学テーブルに直接取り付けることができます。また、ベースプレートXRN-B1/M(下記にて別売り)を使用すれば、位置の粗調整が可能です。

このステージは、50.7 mmのアリ溝を使用することで、簡単に他のステージに積み重ねて固定できます。ステージは、5 mm六角レンチを用いて、1つのアリ溝式ロック機構で固定します。

ステップ 2:アクチュエーターマウントキットの選択

ズーム

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Figure G2.2 センター取付け用アクチュエーターマウントキットXRN-C2

Video G2.1 アクチュエーターマウントとアクチュエータの取付け方法

XRN-C1:サイド取付け用のアクチュエーターマウントキット
XRN-C2:センター取付け用のアクチュエーターマウントキット
XRN25シリーズステージに対応
Ø9.525 mmの取付けバレル

XRN25シリーズステージのためのアクチュエーターマウントとして、サイド取付け用のXRN-C1とセンター取付け用のXRN-C2をご用意しています。アクチュエーターマウントとアクチュエータの取付け方法についてはVideo G2.1をご覧ください。

注:既に取り付けられているアクチュエータを取り外すときは、事前に2 mm六角レンチを用いてスチール製ロッキングプレートのボタンヘッドネジを締め付けてステージを固定してください。

アクチュエータをサイドに取り付ける方法
アクチュエータをサイドに取り付けるには(こちらの写真参照)、予め装着されているロッキングプレートを取り外すか、またはステージの反対側に付け替える必要があります。その際、内部のバネに引っ張られてステージ機構に損傷を与えることがないように、ステージのベースに対して可動部を手で固定しておく必要があります。

ステップ3:アクチュエータの選択

Motorized 25.0 mm (0.98") Travel Actuators
Item #^a	Photo^b	Actuator Type	Max Speed	Max Acceleration	Vertical Load Capacity	Required Controller^c	Footprint^d	Side-Mounted Example^b,e
PIA25^f		Piezo Inertia	≤3.6 mm/min^g	N/A	N/A^h	KIM001 or KIM101	Side-Mounted: 104.6 mm x 87.2 mm End-Mounted: 155.2 mm x 53.0 mm
ZFS25B		Compact Stepper Motor	2.0 mm/s	10 mm/s²	2.2 lbs (1.0 kg)	KST201	Side-Mounted: 134.4 mm x 88.7 mm End-Mounted: 184.9 mm x 53.0 mm
ZST225B		Stepper Motor	2.0 mm/s	10 mm/s²	2.2 lbs (1.0 kg)	KST201	Side-Mounted: 196.3 mm x 72.7 mm End-Mounted: 246.9 mm x 53.0 mm
Z925B		DC Servo Motor	2.6 mm/sⁱ	4 mm/s²	3.3 lbs (1.5 kg)	KDC101	Side-Mounted: 205.5 mm x 72.1 mm End-Mounted: 256.0 mm x 53.0 mm

リンクをクリックすると製品情報をご覧いただけます。
クリックすると、拡大してご覧いただけます。
アクチュエータを駆動するにはコントローラと電源が必要です。どちらも別売りです。
移動量を最大にしたときの値。クリックすると外形図をご覧いただけます。
写真の各アクチュエータは、ステージXRN25X(/M)にサイド取付け用アクチュエーターマウントキットXRN-C1を使用して取り付けられています。センター取付け用アクチュエーターマウントキットXRN-C2を使用した取付け例は、こちらのリンクからご覧いただけます(ピエゾ慣性アクチュエータPIA25、ステッピングモーターアクチュエータZFS25B)。
ピエゾ慣性アクチュエータPIA25は、高分解能での相対位置決めとその保持が求められる用途に適しています。
Kinesisで与えられた設定に対して、各デバイスが1方向に移動している間のステップサイズは最大20%変動する可能性があり、また一般にその再現性もありません。開ループ型であるため、コンポーネントのバラツキ、移動方向および使用条件などにより、この変動がさらに大きくなる可能性があります。
詳細についてはアクチュエータPIA25の製品紹介ページをご覧ください。
速度を2.6 mm/sまで上げると、速度リップルや加減速プロファイルの歪みが発生する可能性があります。制御性能を向上させたいときは、最大速度を2.3 mm/s以下に制限してください。

Z軸ステージアセンブリーキット

ズーム

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Figure G4.2 アセンブリーキットXRN-XZ(/M)を使用してXZステージを構築

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Figure G4.1 アセンブリーキットXRN-YZ(/M)を使用してYZステージを構築

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Figure G4.4 アセンブリーキットXRN-YZ(/M)を使用してXYZステージを構築

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Figure G4.3 アセンブリーキットXRN-XZ(/M)とベースプレートXRN-B1(/M)(下記参照)を使用して垂直面に取付けたX軸ステージ

直角ブラケットとZ軸取付けプレートのキット
X、Z、XZ、YZまたはXYZステージの構築が可能
幅50.7 mmのアリ溝付きステージに対応
付属のアリ溝固定用ネジの最大トルク:1.69 N・m

当社ではXRN25シリーズステージを互いに垂直に取り付けるためのアセンブリーキットを2種類ご用意しています。アセンブリーキットXRN-XZ/Mには取付けプレートと直角プレートが含まれており、下段ステージの移動方向に対して平行な面を有するZ軸プラットフォームを構築できます(XZ構成)。アセンブリーキットXRN-YZ/Mにも取付けプレートと直角プレートが含まれており、下段ステージの移動方向に対して垂直な面を有するZ軸プラットフォームを構築できます(YZ構成)。組み立てる際には、Z軸ステージを下方向に最大限移動させてもほかの部品と干渉しないようにご注意ください。

どちらの構成のステージを組み立てるにも、XRN25シリーズのステージを2つ(組合せは任意)と、アセンブリーキットをご購入いただく必要があります。直角ブラケットの一方の面のメス型アリ溝とX軸またはY軸ステージのタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合し、次に直角ブラケットのもう一方の面のアリ溝とZ軸ステージのタップ穴付きプラットフォームのオス型アリ溝を結合します。Z軸ステージの底面には、XRN-XZ/MまたはXRN-YZ/Mに付属しているタップ穴付き取付けプレートを取り付けます。取り付けるときは、プレートのオス型アリ溝とステージのメス型アリ溝を結合します(Figure G4.1、G4.2参照) Z軸ステージをこのように取り付けることで、アクチュエータは重力と内部のバネの力に確実に対抗するようになります。

各アセンブリーキットに付属する取付けプレートのM6 x 1.0タップ穴は、ステージの上部プレートのタップ穴と同じ配列を有しますが、穴の数はそれよりも一つ多くなって18個になっています。

Z軸ステージの構成
Z軸のみの移動ステージを構築する場合は、直角ブラケットXRN-XZ/MとXRN-YZ/Mのどちらの場合も直接ベースプレートXRN-B1/M(下記参照)に固定します。

X軸ステージの構成
直角ブラケットXRN-XZ/Mは、Z軸ステージを構築するときだけでなく、垂直面にX軸移動ステージを取り付ける場合にもご使用いただけます。Figure G4.3のようにX軸ステージを直角ブラケットXRN-XZ(/M)に固定し、直角ブラケットを直接ベースプレートXRN-B1/M(下記参照)に固定します。

XYZステージの構築
XYZステージを構築する場合は、まず2つのステージを接続してXYステージを構築します。その後、アセンブリーキットXRN-XZ/MでZ軸ステージを追加します。XYZ構成はアセンブリーキットXRN-YZ/Mを用いても構築可能です。XRN-XZ/Mで構築した構成とではX軸ステージとY軸ステージが入れ替わるだけで機能は同じです。アセンブリーキットXRN-YZ/Mを使用して構築されたXYZステージはFigure G4.4でご覧いただけます。

取付けアダプタ

ズーム

アダプタXRN-A1：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に直交方向に取り付けられるようにします。
アダプタXRN-A2：幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に平行に取り付けられるようにします。
アダプタによりコンポーネントの位置が7.0 mm高くなります。

これらのアダプタを使用すると、幅50.7 mmのメス型アリ溝の付いたクイック接続型クロスローラーベアリングステージやアクセサリを、幅75.7 mmのオス型アリ溝付きコンポーネントに取り付けることができます(Figure G5.1 、G5.2参照)。アダプタXRN-A1では直交方向に、アダプタXRN-A2では平行方向に取り付けられます。Figure G5.2のように構成すると、レールに沿った移動と、取り付けられたステージによる移動を平行にすることができます。

組み立てるときは、まず上側に載せるステージやアクセサリの端にあるアリ溝の固定ネジを緩めます。次に、Figure G5.1とG5.2に示すように、下側のステージまたはレールの上にアダプタを取り付け、そのアダプタに対して上側のステージの位置を合わせます。最後に、上側のステージやアクセサリの端にあるアリ溝固定ネジを、アセンブリ全体が固定されるまで締め付けます(最大トルク:1.69 N･m)。なお、アダプタ側面の奥深くに付いているネジは、お客様ご自身で調整するネジではありませんのでご注意ください。

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Figure G5.2 アダプタXRN-A2を使用してレールXR25DRに取り付けられたステージXRN25X(/M)

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Figure G5.1 アダプタXRN-A1を使用してフルサイズのステージXR25X(/M)に取り付けられた小型ステージXRN25X(/M)

Mounting Adapter Compatibility
Item #	Orientation	Top Component	Bottom Component
XRN-A1	Perpendicular	XRN25X Stage XRN25 Series XRNV1 Stage XRNR1 Stage XRNG Series	XR25X Stage XR25 Series XR50 Series XRV1 Stage XRR1 Stage
XRN-A2	Parallel		XR25X Stage XR25 Series XR50 Series XRV1 Stage XRR1 Stage

ベースプレート

ズーム

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Figure G6.1 ベースプレートXRN-B1(/M)上部の直交するアリ溝により、ステージは2方向のどちら向きにも取り付けられます。

取付けの柔軟性を高める長さ32.0 mmのM6ザグリ穴スロット
直交するオス型アリ溝によりステージの取付け方向を2方向から選択可能
幅50.7 mmのアリ溝付きステージに対応

ベースプレートXRN-B1/Mを使用することで、セットアップ内で移動ステージの位置の粗調整が柔軟にできるようになります。長さ32.0 mmの3つのM6用ザグリ穴スロットにより、ステージの大まかな移動調整が可能です。ベースプレートXRN-B1(/M)上部の直交するアリ溝により、ステージは2つの方向のどちら向きにも取り付けられます。中央のスロットは2個のM6キャップスクリュで光学テーブルまたはブレッドボードに固定できるように設計されており、ステージはテーブルまたはブレッドボードの穴配列に沿う方向にセットされます。

Z軸ステージの構築
Z軸のみの移動ステージを構築する場合は、直角ブラケットXRN-XZ/MまたはXRN-YZ/M(上記参照)のどちらかを直接このベースプレートに固定します。

X軸ステージの構築
直角ブラケットXRN-XZ/M(上記参照)は、Z軸ステージを構築するときだけでなく、垂直面にX軸移動ステージを取り付ける場合にもご使用いただけます。直角ブラケットXRN-XZ/Mは、ベースプレートXRN-B1/Mに直接固定できます。

Item #	PDXZ1(/M)	PD2(/M)	PDX2(/M)	PDX4(/M)
Positioning Performance	12.5 nm Optical Encoder Resolution	N/A	12.5 nm Optical Encoder Resolution
Mounting Holes	2-56 (M2), (8 Places) 4-40, (4 Places) M3, (4 Places) 8-32 (M4), (8 Places) 1/4"-20 (M6), (1 Place)	00-90 (M1.2 x 0.25), 6 Places		00-90 (M1.2 x 0.25), 13 Places #00 (M1.2) Counterbores, 4 Places
Load Capacity	Vertical: 2.2 lbs / 1 kg	Horizontal: 2.20 lbs / 1 kg Vertical: 0.11 lbs / 0.05 kg		Horizontal: 2.20 lbs / 1 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.10 kg

Item #	PD1(/M) PD1V(/M) (Vacuum Compatible)	PD1D(/M)	PDX1(/M)	PD3(/M)	XRN25X(/M) + PIA25^e	XR25X(/M) + PIA25^e
Positioning Performance	N/A	N/A	10 nm Optical Encoder Resolution	N/A	N/A	N/A^f
Mounting Holes	2-56 (M2), 4 Places 8-32 (M4), 6 Places	2-56 (M2), 4 Places #2 (M2) Counterbores, 2 Places 8-32 (M4), 4 Places #8 (M4) Counterbores, 2 Places	2-56 (M2), 4 Places 8-32 (M4), 6 Places	8-32 (M4), 16 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 17 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places
Load Capacity	Horizontal: 6.61 lbs / 3 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.1 kg			Horizontal: 6.61 lbs / 3 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.1 kg^a	Horizontal: 170 lbs / 77.1 kg Vertical: N/A	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: N/A

Item #	NFL5DP20(/M), NFL5DP20S(/M)	NF15AP25(/M)	ELL17(/M), ELL17K(/M) (Stage + Controller)	ELL20(/M), ELL20K(/M) (Stage + Controller)	LPS710E(/M) (Stage + Controller)
Positioning Performance	Piezo Resolution: 0.6 nm (Theoretical)	Piezo Resolution: 0.76 nm (Theoretical)	Positioning Accuracy: 50 µm, Repeatability: 20 µm		Bidirectional Repeatability: ±0.03%
Mounting Holes	6-32 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 4 Places	4-40 (M2), 5 Places 8-32 (M4), 1 Place	4-40 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 1 Place		4-40 (M3), 4 Places
Load Capacity	Horizontal: 2.2 lbs / 1 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 1.1 lbs / 0.5 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	0.44 lbs / 0.2 kg		0.66 lbs / 0.3 kg

Item #	MVSN1(/M)	PLSX, PLSXY	XR25X(/M) + ZFS25B, XR25X(/M) + ZST225B	LNR25ZFS(/M)	LNR502(/M), LNR502E(/M)
Positioning Performance	On-Axis Accuracy: 50 µm Repeatability: 2 µm	Bidirectional Repeatability: 5 µm	Repeatability: < 5.0 µm	On-Axis Accuracy: 15 µm	Bidirectional Repeatability: 3.9 µm (Standard) 0.75 µm (w/ Optical Encoding)
Mounting Holes	4-40 (M2 x 0.4), 4 Places 6-32 (M3 x 0.5), 4 Places	4-40, 4 Places (with PLST(/M) Top Plate: 1/4"-20 (M6) 9 Places, 8-32 (M4) 12 Places)	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 13 Places
Load Capacity	10 N	PLSX: Horizontal: 33.1 lbs / 15.0 kg Vertical: 8.0 lbs / 3.6 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 2.2 lbs / 1.0 kg	Horizontal: 11 lbs / 5 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 105 lbs / 48 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg
Load Capacity	10 N	PLSXY: Horizontal: 31.8 lbs / 14.4 kg Vertical: 6.0 lbs / 2.7 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 2.2 lbs / 1.0 kg	Horizontal: 11 lbs / 5 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 105 lbs / 48 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	NRT100(/M)	NRT150(/M)	LTS150C(/M)	LTS300C(/M)	MLJ250(/M)
Positioning Performance	On-Axis Accuracy: 2.0 µm (Typical); 5.0 µm (Max)		Absolute On-Axis Accuracy: 20 µm Calibrated Accuracy: < ±5.0 µm		Unidirectional Repeatability: < 10 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 8 Places		1/4"-20 (M6), 16 Places		1/4"-20 (M6 x 1.0), 25 Places
Load Capacity	Horizontal: 44 lbs / 20 kg Vertical: 11 lbs / 5 kg		Horizontal: 33.1 lbs / 15 kg Vertical: 8.8 lbs / 4 kg		44 lbs / 20 kg

Item #	MT1-Z9 (MT1/M-Z9), MT3-Z9 (MT3/M-Z9)	PT1-Z9 (PT1/M-Z9), PT3-Z9 (PT3/M-Z9)	XR25X(/M) + Z925B	MTS25-Z8 (MTS25/M-Z8), KMTS25E(/M) (Stage + Controller)	MTS50-Z8 (MTS50/M-Z8), KMTS50E(/M) (Stage + Controller)
Bidirectional Repeatability	Uncompensated: 13 µm	Uncompensated: ±7 µm Compensated: ±0.8 µm	Uncompensated: ±7 µm Compensated: ±0.8 µm	1.6 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 16 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places	4-40 (M3), 18 Places 8-32 (M4), 1 Place
Load Capacity	Vertical (Motor Pushing Down): 4.4 lbs (2.0 kg) Vertical (Motor Pushing Up): 10 lbs (4.5 kg) Horizontal: 20 lbs (9.0 kg)	Vertical (Motor Pushing Down): 7 lbs (3.2 kg) Vertical (Motor Pushing Up): 10 lbs (4.5 kg) Horizontal:20 lbs (9.0 kg)	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 3.3 lbs / 1.5 kg	Horizontal: 25 lbs / 12 kg Vertical: 10 lbs / 4.5 kg

Item #	M30X(/M)	M30XY(/M)	M150XY(/M)	KVS30
Bidirectional Repeatability	±1.0 µm		±0.25 µm	±0.12 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 25 Places		1/4"-20 (M6 x 1.0 mm), 117 Places	1/4"-20 (M6), 25 Places 8-32 (M4), 16 Places
Load Capacity	Horizontal: 11.02 lbs / 5.0 kg Vertical: 4.41 lbs / 2.0 kg		22.0 lbs / 10 kg	15.4 lbs / 7.0 kg

Item #	DDS050(/M)	DDS100(/M)	DDS220(/M)	DDS300(/M)	DDS600(/M)
Bidirectional Repeatability	±1.5 µm		±0.25 µm
Mounting Holes	8-32 (M4), 10 Places 1/4"-20 (M6), 6 Places		4-40 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 5 Places	8-32 (M4), 16 Places 1/4"-20 (M6), 25 Places
Load Capacity	1.98 lbs / 0.9 kg		6.6 lbs / 3.0 kg	22.0 lbs / 10.0 kg