直線移動ステージ(リニアステージ):移動量50.8 mm、手動アジャスター付き、クロスローラーベアリング
- Simple Micrometer or Differential Drive
- Solid All-Steel Construction
- Crossed-Roller Bearing Design
for High Load Capacity - Motorized Actuators Available
LNR50DD
Differential Drive Stage
LNR50P4
Base Plate
LNR50M
Micrometer Drive Stage
LNR50P2
Right-Angle Bracket
ENCLNR50
Stage Position Encoder
Attached to LNR50DD Stage
(Each Sold Separately)
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Key Specsa | |
---|---|
Travel | 50.8 mm (2") |
Bearings | Crossed Roller |
Horizontal Load Capacity | 30 kg (66 lbs) |
Vertical Load Capacity | 4 kg (8.8 lbs) |
Weight (Without Drives) | 1.8 kg (3.96 lbs) |
Runout Over Full Range | ±5 µm |
Top Plate Dimensions | 100.0 mm x 100.0 mm (3.94" x 3.94") |
Stage Height | 25.0 mm (0.98") |
Body Construction | All Steel |
概要
- 頑丈で熱的整合性のとれたスチール製ステージ
- 高耐荷重のクロスローラーベアリング
- 右手系および左手系のXYZ構成が可能
- 複数の種類のアクチュエータが使用可能
- マイクロメータ付きステージLNR50M/M
- 差動マイクロメータ付きステージLNR50D/M
- 上記以外のアクチュエータについては「その他のアクチュエータ」タブをご覧ください。
- 長寿命
TravelMax™シリーズのステージに付いているアクチュエータ用サイドクランプは取外しが可能なため、手動アクチュエータ、ピエゾエクステンダ、電動アクチュエータなどと組み合わせてご使用いただけます。こちらのステージは、マイクロメータ(型番LNR50M/M)または差動アジャスタ(型番LNR50DD/M)を予め取付けた状態で発送いたします。 当社では組立済みの電動ステージもご用意しております。また、ステージはアジャスタ無しでもご購入いただけますので、ご希望の際は当社までご連絡ください。電動アクチュエータやピエゾアクチュエータなど、これ以外のアクチュエータについては「その他のアクチュエータ」タブをご覧ください。
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3台のステージLNR50M(/M)にベースプレートLNR50P4(/M)と直角ブラケットLNR50P2(/M)を組み合わせて構成したXYZステージ
TravelMax™ Crossed-Roller Bearing Stages Selection Guide | |
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Manual | 25 mm (1") Travel |
50.8 mm (2") Travel | |
Motorized | 25 mm (0.98") Travel |
50 mm (1.97") Travel |
これらのステージには、優れた安定性、長い移動距離、高耐荷重、使用可能なアクチュエータの豊富さといった特長があり、様々な移動用途に対応することができます。高品質の直線レールを使用しているだけでなく、理想的でない条件下でも安定性を確保できるように、熱的整合性のとれた材料を使用することでさらに性能を高めています。オールスチール構造により高い剛性を有するとともに、高耐荷重のクロスローラーベアリングを使用していることで、50.8 mmの全移動範囲にわたり均一な性能が得られます。
アクチュエータ
アジャスタは用途要件に応じて2種類をご用意しております。ステージLNR50M/Mに取付けられている標準的なマイクロメータのネジピッチは0.1 mmで、移動量は50.8 mmです。目盛は10 µm単位で刻まれています。ステージLNR50DD/Mには差動アジャスタが取付けられています。粗移動では1回転につき0.5 mm、微移動では1回転につき50 μm移動します。差動アジャスタの微調整部には1 µm単位の目盛が刻まれています。
微細な位置決めを必要とする用途には、ステージのアクチュエータ用ストッパになっている静止ピン(static pin)をピエゾアクチュエータに交換することもできます。標準的な手動アクチュエータとピエゾアクチュエータを組み合わせることで、長距離移動と微調整が可能になります。開ループと閉ループのピエゾアクチュエータをご用意しており、どちらも移動量は20 µm~100 µmで最小分解能は5 nmです。
エンコーダ(別売り)
光学式エンコーダENCLNR50をLNR50シリーズ移動ステージに取付けることで、1.0 µmの分解能と10.0 µmの確度で位置情報を表示させることができます(単位はミリまたはインチ)。
様々な取付け方法
TravelMax™ステージは柔軟性と機能性を念頭に設計されています。LNRシリーズステージの上面と底面には、部品取付けの柔軟性を高めるために、M6 x 1.0タップ穴が広く配列されています。ステージの可動面には2つのザグリ加工された貫通穴があり、それらを用いてステージを作業面にボルトで簡単に固定できます。その際、左手系でも右手系でも構成することができます。
直角ブラケットLNR50P2/Mを用いると、LNR50シリーズのステージを垂直に取付けることができます。ベースプレートLNR50P4/Mと組みあわせることで、XZ、YZまたはXYZステージを構築できます。ベースプレートLNR50P4/Mを用いると取付けの方法が増え、またステージと作業面(取付け面)との間の隙間を増やすことができます(例えば、電動アクチュエータを取付ける場合などに有効)。
Item # | LNR50DD(/M) | LNR50M(/M) |
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Adjuster Type | Differential Adjusters | Micrometer |
Travel | 50.8 mm (2") | |
Screw Pitch | Coarse: 0.5 mm Fine: 50 µm | 0.1 mm |
Locking Mechanism | Collet Style | N/A |
Engraved Graduations | N/A | 10 µm |
Bearings | Crossed Roller | |
Horizontal Load Capacity | 30 kg (66 lbs) | |
Vertical Load Capacity | 4 kg (8.8 lbs) | |
Weight (Without Drives) | 1.8 kg (3.96 lbs) | |
Runouta Over Full Range | ±5 µm | |
Pitch Angular Deviation | 0.03° | |
Yaw Angular Deviation | 0.015° | |
Body Construction | All Steel |
Stage Fitmenta | Actuator Type | Item # | Travel Range | Description |
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Primary Actuators | Manual Differential Drive | DRV8 | 50.8 mm (2.00") | 差動アクチュエータDRV8はステージLNR50DD/Mに取付けられており、粗調整(500 µm/回転)は50.8 mm、微調整(50 µm/回転)は300 µmの移動が可能です。大きいノブには1.0 µmの目盛が付いており、移動範囲全体に渡り精密でスムーズな調整が可能です。 |
Stepper Motor Drives | DRV225 | 25.0 mm (0.98") | ステッピングモータDRV225の移動量は25 mm、DRV250の移動量は50 mmです。当社のステッピングモータ用コントローラBSC201、BSC202またはBSC203の何れかを使用した場合には、50 nmよりも高い分解能が得られます。このハイブリッドステッピングモータのロータは50個の独立した磁極から構成されており、マイクロステッピングの用途に適しています。1回転あたり409 600のマイクロステップを有するため、振動ノイズの少ないスムーズな低速移動も可能です。ステッピングモーターアクチュエータには台形ネジが採用されており、これにより標準的なネジに比べて高荷重でもより効率的に動作します。 | |
DRV250 | 50.0 mm (1.97") | |||
Secondary Piezo Actuators | Open-Loop Piezo Actuators | PAS005 | 20 µm | PASシリーズのピエゾアクチュエータには移動範囲として20 µmと40 µmの製品があり、それぞれの分解能は20 nmと40 nmです。駆動電圧は0~75 Vです。当社ではK-Cube™ピエゾコントローラ&ひずみゲージリーダーKPC101など、PASシリーズに適したピエゾコントローラを数種類ご用意しております。BNCコネクタ付きのドライバは、SMC-BNCアダプタMDC40211を用いることで使用可能になります。アクチュエータには写真のように予めフラットな先端部が取付けられていますが、当社のPAAシリーズの何れのアクチュエータ用先端部も取付けることができます。 |
PAS009 | 40 µm | |||
Closed-Loop Piezo Actuator | PAZ009 | 40 µm | 閉ループピエゾアクチュエータPAZ009の移動範囲は40 µm、分解能は10 nmです。駆動電圧は0~75 Vです。フィードバック信号は7ピンLEMOコネクタを介して出力され、当社のベンチトップ型ピエゾコントローラBPC301などのAPTシリーズのモーションコントローラと接続してお使いいただけます。BNCコネクタ付きのドライバは、SMC-BNCアダプタのMDC40211またはT4292を用いることで使用可能になります。アクチュエータには写真のように予めフラットな先端部が取付けられていますが、当社のPAAシリーズの何れのアクチュエータ用先端部も取付けることができます。 |
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手動リニアステージ
手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ&ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。
クロスローラーベアリングステージ
こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。
Crossed-Roller Bearing Stages | ||||||
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Product Family | LNR Series 25 mm Stages | LX Series 25 mm Stages | XRN Series 25 mm Stages | XR Series 25 mm Stages | XR Series 50 mm Stages | LNR Series 50.8 mm Stages |
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Travel | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 50 mm (1.97") | 50.8 mm (2") |
Drive Type | Multiple | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Multiple |
Platform Size | 2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm) | 2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm) | 2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm) | 2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm) | 2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm) | 3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm) |
Possible Axis Configurations | X, XZ, XY, XYZ | X, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, XY, XYZ |
Additional Details |
ボールベアリングステージ
こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。
Ball Bearing Stages | |||||
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Product Family | MS Series 1/4" Stages | T12 Series 1/2" Stages | MT Series 1/2" Stages | PT Series 1" Stages | LT Series 2" Stages |
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Travel | 1/4" (6.4 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25.4 mm) | 2" (50 mm) |
Drive Type | Multiple | Thumbscrew | Multiple | Multiple | Differential Micrometer |
Platform Size | 1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm) | 0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm) | 2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm) | 3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm) | 3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm) |
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
Additional Details |
アリ溝式ステージ
これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。
Dovetail Stages | |||
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Product Family | DT Series 1/2" Stages | DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available) | DTS Series 2" Stage |
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Travel | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25 mm) | 2" (50 mm) |
Drive Type | Thumbscrew | Thumbscrew | Thumbscrew |
Platform Size | 1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm) | 2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm) | 2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm) |
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZa | X, XY, XYZ |
Additional Details |
フレクシャーステージ
移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。
Flexure Stages | ||||
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Product Family | Nanoflex™ 1.5 mm Stage | Nanoflex™ 5 mm Stages | ||
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Travel | 1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo | 5 mm (0.20") | 5 mm (0.20") + 20 µm Piezo | |
Drive Type | Thumbscrew and Piezo Actuator | Differential Micrometer | Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator | Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator |
Platform Size | 1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm) | 2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm) | ||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
Additional Details |
垂直移動ステージ
当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。
Vertical Stages | ||||||
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Product Family | XRN Series 9 mm Vertical Stage | XR Series 14 mm Vertical Stage | MVS Series 1/2" Vertical Stage | MVS Series 1" Vertical Stage | VAP Series 4" Vertical Stage | VAP Series 10" Vertical Stage |
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Travel | 9.0 mm (0.35") | 14.0 mm (0.55") | 1/2" (13.0 mm) | 1" (25.0 mm) | 4" (101.6 mm) | 10" (254 mm) |
Drive Type | Worm-Gear Driven Lift Screw | Micrometer | Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning | |||
Platform Size | 2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm) | 2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm) | 2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm) | 3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm) | ||
Additional Details |
- マイクロメータまたは作動アクチュエータに対応(代替品については「その他のアクチュエータ」タブをご覧ください)
- 100.0 mm x 100.0 mmの上部プレートには、13個のM6 x 1.0ネジ穴と2個のM6用ザグリ穴
- 本体はEN8(AISI 1040)スチール製
LNR50シリーズのステージには、優れた安定性、長い移動距離、高耐荷重、使用可能なアクチュエータの豊富さといった特長があり、様々な移動用途に対応することができます。アジャスタは用途要件に応じて2種類をご用意しております。LNR50M/Mに付いている標準的なマイクロメータの移動量は50.8 mm、ネジピッチは0.1 mmです。バーニヤには10 µm単位の目盛が刻まれています。LNR50DD/Mには差動アジャスタが付いています。粗移動は1回転につき0.5 mm、微移動は1回転につき50 μm移動します。差動アジャスタの精密調整用スケールには1 µm単位の目盛が刻まれています。
これらの2つのステージを用いると、追加のアダプタを使用せずにXYステージを構成できます。一方、XYZステージを構成するには、3つのステージのほかにブラケットLNR50P2/M(下記掲載)が必要になります。右の写真のように、アダプタープレートAMA562/Mを用いると、NanoMax 6軸ステージをLNR50シリーズステージの上に取り付けることができます。
ENCLNR50 Encoder Kit Specifications | |
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On-Axis Accuracy | 10.0 µm (Typ.) |
Repeatability | 2.0 µm (Typ.) |
Resolution | 1.0 µm |
Power/Data Cable (Included) | 1 m USB Cable, Type A to Micro-B |
Power Supply (Sold Separately) | ー* |
- LNR50シリーズステージに取り付け可能な光学式位置エンコーダ
- ローカルな手動制御とオンボードのディスプレイでの位置読取りが可能
- USBおよびKinesisソフトウェアを介したリモート制御
- 長さ1 mのUSBケーブルが付属(電源は別売りです*)
ステージ用位置エンコーダENCLNR50は、当社のLNR50シリーズ移動ステージ用に設計されており、1.0 µmの分解能と10.0 µmの確度で位置情報を表示します(単位はミリまたはインチ)。このモジュールはステージに直接取り付ける光学式エンコーダースケールブラケットと、そのブラケットに取り付ける位置読取り用のアセンブリで構成されています。モジュールへの電源供給はUSB mini-Bコネクタを使用します。キットにはUSBケーブル(A to micro-B、長さ1 m)が付属しますが、電源は別売りです*。USB接続は、電源供給以外に、Kinesisソフトウェアを介してステージの位置を表示したりユニットを制御したりするのに使用されます。当社ではXR50シリーズステージ用位置エンコーダENCXR50、およびXR25シリーズステージ用位置エンコーダENCXR25もご用意しております。
エンコーダは、固定プレートが元々取り付けられていた位置と同じ側面(調整ノブとは反対側)に取り付ける必要があります(右の写真参照)。エンコーダを取り付ける前にまず固定プレートを取り外してください。
*5V2A以上のUSB Type-A出力の電源が必要です。ご不明な点がございましたら当社までお問い合わせください。
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ステージLNR50DD(/M)に取り付けられたエンコーダENCLNR50
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3台のステージLNR50M(/M)にベースプレートLNR50P4(/M)と直角ブラケットLNR50P2(/M)を組合わせて構成したXYZステージ
- LNR50シリーズの移動ステージの垂直面への取付け
- 位置決めピン用穴により直交性を維持(6本の位置決めピンが付属)
- 寸法(L×W×H):108.0 mm x 88.0 mm x 133.5 mm
直角ブラケットLNR50P2/Mを用いると、LNR50シリーズのステージを垂直に取り付けることができます。ベースプレートLNR50P4/Mと組みあわせることで、XZ、YZまたはXYZステージを構築できます。
ブラケットの底部にはM6 x 1.0キャップスクリュ用のザグリ穴が6個あり、LNR50シリーズステージの上部に取り付けたり、光学テーブルに直接取り付けたりすることができます。垂直面には2個のM6 x 1.0タップ穴と8個のØ6.6 mmタップ無し貫通穴があります。
右のXYZステージのアセンブリには、直角ブラケットLNR50P2、ベースプレートLNR50P4、および3台の移動ステージLNR50Mを使用しています。ステージのアライメントを補助するために、ベースプレートと直角ブラケットには位置決めピンが付属しています。