真空対応光学ポート、フレアレス管継手用
- Ideal for Transmission of Beams into or out of Vacuum Systems
- Ø1/2" Tubes Compatible with Thorlabs' KF Flange to Compression Fitting Adapters
- Suitable for Pressures from 10-7 Torr to 5 psi at 25 °C
GC05WP
Optical Port with UVFS Wedged Window
GC05BP
Optical Port with UVFS Brewster Window
Application Idea
A GC05BP Optical Port can be fitted into a KF25C050 Flange for integration into a vacuum system.
GC05SP
Optical Port with Sapphire Wedged Window
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特長
- 光を真空システムに入出力
- 広い透過波長域
- 溶融石英ウィンドウ:185 nm~2.1 µm
- サファイアウィンドウ:200 nm~4.5 µm
- 25°Cで10-7 Torrまでの高真空に適した製品
- Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)パイプとチューブへの組み込み用の、KF25およびKF16フランジ-フレアレス管継手アダプタに対応
- カスタム仕様の溶融石英またはサファイア光学ポートもご提供可能です。詳細は当社までお問い合わせください。
当社の光学ポートは、真空チャンバに光を入力したり、チャンバ内のプロセスを観察するための製品です。ポートGC05BPは、Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)の溶融石英チューブに55.5°のブリュースタ角で溶融されたUV溶融石英ブリュースターウィンドウで構成されおり、光のP偏光成分をほぼゼロの反射損失で透過可能です。また、干渉縞が除去され、エタロン効果が低減されるよう30 arcminのウェッジウィンドウが付いた2種類の光学ポート(溶融石英チューブに溶融されたUV溶融石英ウィンドウ:型番GC05WP、アルミナチューブに溶融されたサファイアウィンドウ:型番GC05SP)もご用意しています。
UV溶融石英(UVFS)は、欠けやヒビができにくい耐久性のある材質で、185 nm~2.1 μmの波長で高い透過率を有します。サファイアは、優れた表面硬度を備えた化学的に不活性な材質で、150 nm~4.5 μmの波長で高い透過率を有し、赤外(IR)システムでのご使用に適しています。
当社では下記のすべてのポートが25 °Cで10-7 Torr までの真空から5 psiまでの圧力において耐性があることを確認するために真空およびヘリウムリークテストにより試験しています。 製造後のポートは、超音波洗浄(メタノールによるリンス)され、First Contact™*ポリマがコーティングされます。このコーティングは、光学素子を傷や欠けから保護し、ポートを使用する前に簡単にはがすことができます。ポートは発送時には真空パッケージされていません。真空のセットアップでポートを使用する際には、メタノールで洗浄することをお勧めいたします。
これらのポートの外径はØ12.7 mm(Ø1/2インチ)で、フランジ-フレアレス管継手アダプタKF16C050またはKF25C050を用いると、それぞれKF16およびKF25シリーズ真空システムに組み込みが可能です。リブにより、フレアレス管継手に取り付けて真空に引くと、ポートが動かなくなります。
ウィンドウやコーティングの変更などカスタム仕様のポートをご希望の場合には、当社までお問い合わせください。
*First ContactはPhotonic Cleaning Technologies社の登録商標です。
透過率
UV溶融石英(UVFS)の屈折率とブリュースタ角
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このグラフは偏光した光をコーティング無しのUV溶融石英(UVFS)に入射したときの反射率(計算値)を入射角の関数として示しています。P偏光の反射率はブリュースタ角でゼロになります。
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このグラフはUV溶融石英(UVFS)の屈折率(計算値)を波長の関数として示しています。
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このグラフは光が空気中からUV溶融石英(UVFS)に入射するときのブリュースタ角(計算値)を波長の関数として示しています。
UV溶融石英(UVFS)の屈折率は上のグラフのように波長に依存し、式では以下のように表されます。
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上式をご使用になる場合は、波長の単位をμmにしてください。ブリュースタ角は、次の式で求めることができます。
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ここでθBはブリュースタ角、niは入射側媒体の屈折率(空気では1.0003)、ntは透過側媒体の屈折率(溶融石英は633 nmで1.45701)です。従って、上のグラフのようにブリュースタ角もまた波長依存性を示します。
上の図はブリュースターウィンドウで反射されるS偏光と透過するP偏光を示しています。S偏光の一部はウィンドウを透過します。
ブリュースターウィンドウ
ブリュースターウィンドウは、レーザ共振器内で偏光子として用いられることもあります。ブリュースタ角(633 nmで55° 32')にセットすると、光のP偏光成分は損失無く透過しますが、S偏光成分の一部はブリュースターウィンドウで反射されます。ブリュースターウィンドウがレーザ共振器内で用いられるときは、基本的に偏光子として機能します。
ブリュースタ角は、次の式で求めることができます。
θBはブリュースタ角です。
niは入射側の媒体の屈折率(空気中では1.0003)です。
ntは透過側媒体の屈折率(溶融石英は633 nmで1.45701)です。
屈折率は波長に依存する点にご注意ください。溶融石英の屈折率は次の式で表されます。
上式をご使用になる場合は、波長の単位をμmにしてください。
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Item # | GC05BP |
---|---|
Window | BW1302 |
Minor Diameter | 13.0 mm |
Minor Diameter Tolerance | +0.0 / -0.1 mm |
Thickness | 2.0 mm |
Thickness Tolerance | ±0.1 mm |
Brewster Angle | 55.5° 32' @ 633 nm |
Minor Axis Diameter | 0.51" (13.0 mm) |
Clear Aperture | > Ø8 mm (Minor Axis) |
Parallelism | ≤ 5 arcsec |
Transmitted Wavefront Errora | < λ/10 @ 633 nm Over Clear Aperture |
Surface Quality | 20-10 Scratch-Dig |
Wavelength Range | 185 nm - 2.1 μm (Uncoated) |
Reflectance vs AOIa | |
Transmission Data (Click for Graph) | Raw Data |
Substrate | UV Fused Silicab |
Usage Pressure Range | 10-7 Torr to 5 psi @ 25 °C |
- UV溶融石英(UVFS)ブリュースターウィンドウ
- 185 nm~2.1 µmの波長域での透過率
- 633 nmにおけるブリュースタ角55.5°で密閉されているため、P偏光の反射損失はほぼゼロ
- 外径がØ12.7 mm(Ø1/2インチ)の溶融石英チューブ
- 25 °Cで10-7 Torr~5 psiの圧力に適した製品
光学ポートGC05BPは、コーティング無しブリュースターウィンドウ BW1302(右表参照)を55.5°で密閉しているため、入射光のS偏光成分の透過を抑えながら、P偏光成分をほぼゼロの損失で反射させます(詳細は、「ブリュースターウィンドウ」タブをご覧ください)。外径がØ12.7 mm(Ø1/2インチ)のチューブに、当社のフランジ-フレアレス管継手アダプタKF16C050またはKF25C050が取り付け可能なため、それぞれKF16 およびKF25シリーズ真空システムに組み込みが可能です。ポートの開口部から19.5 mmの位置にあるガラス製のリブにより、ポートをフレアレス管継手に取り付けた際、真空下で動かないようになります。
Item # | GC05WP |
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Window | WW40530 |
Wedge Angle | 30 ± 10 arcmin |
Diameter | 1/2" (12.7 mm) |
Diameter Tolerance | +0.0 / -0.2 mm |
Thickness | 3.0 mm |
Thickness Tolerance | ±0.4 mm |
Clear Aperture | > Ø8 mm |
Surface Flatnessa | ≤ λ/20 Over Central Ø5 mm ≤ λ/10 Over Full Clear Aperture |
Surface Quality | 10-5 Scratch-Dig |
Wavelength Range | 185 nm - 2.1 μm (Uncoated) |
Transmission Data (Click for Graph) | Raw Data |
Substrate | UV Fused Silicab |
Usage Pressure Range | 10-7 Torr to 5 psi @ 25 °C |
- ウィンドウの30 arcminのウェッジにより干渉縞が除去され、エタロン効果が低減されます。
- 外径がØ12.7 mm(Ø1/2インチ)の溶融石英チューブ
- 25 °Cで10-7 Torr~5 psiの圧力に適した製品
ウィンドウポートGC05WPは、コーティング無しウェッジウィンドウ WW40530(右表参照)で密閉しており、30 arcminのウェッジにより干渉縞が除去され、エタロン効果が低減されます。外径がØ12.7 mm(Ø1/2インチ)のチューブに、当社のフランジ-フレアレス管継手アダプタKF16C050またはKF25C050が取り付け可能なため、それぞれKF16 およびKF25シリーズ真空システムに組み込みが可能です。ポートの開口部から17.0 mmの位置にあるガラス製のリブにより、ポートをフレアレス管継手に取り付けた際、真空下で動かないようになります。
Item # | GC05SP |
---|---|
Window | WW30530 |
Wedge Angle | 30 ± 10 arcmin |
Diameter | 1/2" (12.7 mm) |
Diameter Tolerance | +0.0 / -0.2 mm |
Thickness | 3.0 mm |
Thickness Tolerance | ±0.1 mm |
Clear Aperture | >Ø8 mm |
Surface Flatnessa | ≤λ/2 Over Central Ø5 mm ≤λ Over Full Clear Aperture |
Surface Quality | 60-40 Scratch-Dig |
Wavelength Range | 200 nm - 4.5 μm (Uncoated) |
Transmission Data (Click for Graph) | Raw Data |
Substrate | Sapphireb |
Usage Pressure Range | 10-7 Torr to 5 psi @ 25 °C |
- サファイアウィンドウは200 nm~4.5 µmの広い透過波長域を有します。
- ウィンドウの30 arcminのウェッジにより干渉縞が除去され、エタロン効果が低減されます。
- 外径がØ12.7 mm(Ø1/2インチ)のアルミナチューブ
- 25 °Cで10-7 Torr~5 psiの気圧に適した製品
ウィンドウポートGC05SPは、コーティング無しのサファイアウェッジウィンドウWW30530(右表参照)で密閉しており、30 arcminのウェッジにより干渉縞が除去され、エタロン効果が低減されます。外径がØ12.7 mm(Ø1/2インチ)のチューブに、当社のKFフランジ-フレアレス管継手アダプタKF16C050またはKF25C050が取り付け可能なため、それぞれKF16 およびKF25シリーズ真空システムに組み込みが可能です。ポートの開口部から17.0 mmの位置にあるアルミナ製のリブにより、ポートをフレアレス管継手に取り付けた際、真空下で動かないようになります。