手動ステージ、自動(電動)ステージセレクションガイド(製品一覧)

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手動ステージ
電動ステージ
回転マウント＆回転ステージ
多軸ステージ
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手動リニアステージ

手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ＆ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。

クロスローラーベアリングステージ

こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。

Crossed-Roller Bearing Stages
Product Family	LNR Series 25 mm Stages	LX Series 25 mm Stages	XRN Series 25 mm Stages	XR Series 25 mm Stages	XR Series 50 mm Stages	LNR Series 50.8 mm Stages
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Travel	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	25 mm (0.98")	50 mm (1.97")	50.8 mm (2")
Drive Type	Multiple	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Micrometer	Multiple
Platform Size	2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm)	2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm)	2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm)	2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm)	2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm)	3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XZ, XY, XYZ	X, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

ボールベアリングステージ

こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。

Ball Bearing Stages
Product Family	MS Series 1/4" Stages	T12 Series 1/2" Stages	MT Series 1/2" Stages	PT Series 1" Stages	LT Series 2" Stages
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Travel	1/4" (6.4 mm)	1/2" (12.7 mm)	1/2" (12.7 mm)	1" (25.4 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Multiple	Thumbscrew	Multiple	Multiple	Differential Micrometer
Platform Size	1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm)	0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm)	2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm)	3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm)	3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

アリ溝式ステージ

これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。

Dovetail Stages
Product Family	DT Series 1/2" Stages	DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available)	DTS Series 2" Stage
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Travel	1/2" (12.7 mm)	1" (25 mm)	2" (50 mm)
Drive Type	Thumbscrew	Thumbscrew	Thumbscrew
Platform Size	1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm)	2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm)	2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ^a	X, XY, XYZ
Additional Details

XYZステージを構築するためのアルマイト加工済み直角ブラケットDTSA03は、真空対応ステージDTS25V/Mにもご使用いただけますが、真空には対応しておりません。
移動量25 mmのDTSシリーズには、アルマイト加工されたステージDTS25(/M)と、10^-6 Torrまでの真空に対応するDTS25V(/M)がございます。

フレクシャーステージ

移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。　

Flexure Stages
Product Family	Nanoflex™ 1.5 mm Stage	Nanoflex™ 5 mm Stages
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Travel	1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo	5 mm (0.20")	5 mm (0.20") + 20 µm Piezo
Drive Type	Thumbscrew and Piezo Actuator	Differential Micrometer	Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator	Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator
Platform Size	1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm)	2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm)
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Additional Details

垂直移動ステージ

当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。　

Vertical Stages
Product Family	XRN Series 9 mm Vertical Stage	XR Series 14 mm Vertical Stage	MVS Series 1/2" Vertical Stage	MVS Series 1" Vertical Stage	VAP Series 4" Vertical Stage	VAP Series 10" Vertical Stage
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Travel	9.0 mm (0.35")	14.0 mm (0.55")	1/2" (13.0 mm)	1" (25.0 mm)	4" (101.6 mm)	10" (254 mm)
Drive Type	Worm-Gear Driven Lift Screw		Micrometer		Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning
Platform Size	2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm)	2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm)	2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm)		3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm)
Additional Details

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC^®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。当社のモジュール式クイック接続型移動ステージXR25シリーズは、同じ原理で動作するピエゾ慣性アクチュエータPIA25で駆動できます。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec^®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC^® PDXZ1 Closed-Loop 4.5 mm Vertical Stage	ORIC^® PD2 Open-Loop 5 mm Stage	ORIC^® PDX2 Closed-Loop 5 mm Stage	ORIC^® PDX4 Closed-Loop 12 mm Stage
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Travel	4.5 mm	5 mm		12 mm
Speed	1 mm/s (Typ.)^a	10 mm/s (Typ. Max)^b	8 mm/s (Typ.)^c	15 mm/s (Typ.)^a
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	Z	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	45.0 mm x 42.0 mm	13.0 mm x 13.0 mm		13.0 mm x 23.0 mm
Additional Details

この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube^® KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時

Piezoelectric Stages
Product Family	ORIC^® PD1 Open-Loop 20 mm Stage	ORIC^® PD1D Open-Loop 20 mm Monolithic XY Stage	ORIC^® PDX1 Closed-Loop 20 mm Stage	ORIC^® PD3 Open-Loop 50 mm Stage	Compact Modular XRN25X 25 mm Stage	Modular XR25X 25 mm Stage
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Travel	20 mm			50 mm	25 mm
Speed	3 mm/s (Typ. Max)^a		20 mm/s (Typ. Max)^b	10 mm/s^c	≤3.6 mm/min^d	≤3.6 mm/min^d
Drive Type	Piezoelectric Inertia Drive
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ	XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, YZ, XZ, XYZ
Mounting Surface Size	30.0 mm x 30.0 mm			80.0 mm x 30.0 mm	85.0 mm x 50.7 mm	110.0 mm x 75.7 mm
Additional Details

Specified using KIM101 K-Cube Controller.
Specified using PDXC and PDXC2 Benchtop Controllers.
Specified using PDXC and PDXC2 Benchtop Controllers. For performance when controlled with a KIM001 or KIM101 K-Cube Controller, see the Specs tab of the PD2 or PD3 stage presentation.
For a given set of settings in Kinesis, while travelling in one direction, each device's step size may vary by up to 20% and is not normally repeatable. Due to the open loop design, component variance, change of direction and application conditions may further increase the scale of the variance.
The PIA25 piezo inertia actuator is ideal for set-and-hold applications that require high-resolution relative positioning.
For position readouts with 10.0 µm accuracy, we offer the ENCXR25 optical encoder (sold separately).

Piezoelectric Stages
Product Family	Nanoflex™ 20 µm Stage with 5 mm Actuator	Nanoflex™ 25 µm Stage with 1.5 mm Actuator	Elliptec^® 28 mm Stage	Elliptec^® 60 mm Stage	LPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel	20 µm + 5 mm Manual	25 µm + 1.5 mm Manual	28.0 mm	60.0 mm	1.1 mm
Speed	-		180 mm/s (Max)	90 mm/s (Max)	-
Drive Type	Piezo with Manual Actuator		Resonant Piezoelectric Motor		Amplified Piezo
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X		Z
Mounting Surface Size	75.0 mm x 75.0 mm	30.0 mm x 30.0 mm	15.0 mm x 15.0 mm		21.0 mm x 21.0 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。これらのステージの多くは多軸移動機能を有していたり(PLSXY)、あるいは多軸ステージを組み立てることが可能であったりします(PLSX、クイック接続型XR25シリーズ、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product Family	MVSN1(/M) 13 mm Vertical Stage	PLS Series 1" Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	LNR Series 25 mm Stage	LNR Series 50 mm Stage
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Travel	13 mm	1" (25.4 mm)	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	5.0 mm/s	7.0 mm/s	2.0 mm/s	2.0 mm/s	50 mm/s
Possible Axis Configurations	Z	X, XY	X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	24.5 mm x 50.0 mm	3" x 3" (76.2 mm x 76.2 mm)	110.0 mm x 75.7 mm	60 mm x 60 mm	100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product Family	NRT Series 100 mm Stage	NRT Series 150 mm Stage	LTS Series 150 mm Stage	LTS Series 300 mm Stage	MLJ250 50 mm Vertical Stage
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Travel	100 mm	150 mm	150 mm	300 mm	50 mm
Maximum Velocity	30 mm/s		50 mm/s		3.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, XYZ		Z
Mounting Surface Size	84 mm x 84 mm		100 mm x 90 mm		148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product Family	MT Series 12 mm Stages	PT Series 25 mm Stages	Modular XR25 Series 25 mm Stage	MTS Series 25 mm Stage	MTS Series 50 mm Stage
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Travel	12 mm	25 mm	25 mm	25 mm	50 mm
Maximum Velocity	2.6 mm/s		2.6 mm/s	2.4 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY, XYZ		X, XY, YZ, XZ, XYZ	X, XY, XYZ
Mounting Surface Size	61 mm x 61 mm	101.6 mm x 76.2 mm	110.0 mm x 75.7 mm	43 mm x 43 mm
Additional Details

DC Servo Motor Stages
Product Family	M30 Series 30 mm Stage	M30 Series 30 mm Monolithic XY Stage	M150 Series 150 mm XY Stage	KVS30 30 mm Vertical Stage
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Travel	30 mm		150 mm	30 mm
Maximum Velocity	2.4 mm/s		X-Axis: 170 mm/s Y-Axis: 230 mm/s	8.0 mm/s
Possible Axis Configurations	X, Z	XY, XZ	XY	Z
Mounting Surface Size	115 mm x 115 mm		272.4 mm x 272.4 mm	116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product Family	DDS Series 50 mm Stage	DDS Series 100 mm Stage	DDS Series 220 mm Stage	DDS Series 300 mm Stage	DDS Series 600 mm Stage
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Travel	50 mm	100 mm	220 mm	300 mm	600 mm
Maximum Velocity	500 mm/s		300 mm/s	400 mm/s	400 mm/s
Possible Axis Configurations	X, XY		X, XY	X	X
Mounting Surface Size	60 mm x 52 mm		88 mm x 88 mm	120 mm x 120 mm
Additional Details

回転マウント＆回転ステージのセレクションガイド

当社では手動式および電動式の回転マウントと回転ステージを豊富にご用意しております。回転マウントの内孔はØ12 mm～Ø12.7 mm(Ø1/2インチ)、Ø25 mm～Ø25.4 mm(Ø1インチ)、またはØ50 mm～Ø50.8 mm(Ø2インチ) の光学素子取付け用に設計されております*。また回転ステージには、様々な部品やシステムが取り付けられるようにタップ穴が配置されております。電動式は、DCサーボモータ、2相ステッピングモータ、あるいはElliptec™共振ピエゾモータにより駆動されます。いずれも360°の連続回転が可能です。　

*下表のマウントは、Ø12.7 mm、Ø25.4 mm、Ø50.8 mmの光学素子に対して最適設計されています。Ø12.0 mm、Ø25.0 mm、Ø50.0 mmなどの少し小さい光学素子に対してもご使用いただけますが、光学素子の偏心が重要ではない用途でのご使用をお勧めします。

手動回転マウント

Rotation Mounts for Ø1/2" Optics
Item #	MRM05(/M)	RSP05(/M)	CRM05	PRM05(/M)^a	SRM05	KS05RS	CT104
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Features	Mini Series	Standard	External SM1 (1.035"-40) Threads	Micrometer	16 mm Cage-Compatible	±4° Kinematic Tip/Tilt Adjustment Plus Rotation	Compatible with 30 mm Cage Translation Stages and 1/4" Translation Stages^b
Additional Details

こちらのマウントはPRM05GL5/M(回転マウントPRM05/Mと偏光プリズムマウントSM05PM5のセット)に含まれております。
CT104は当社のアダプタープレートMS103/Mを用いることで、移動量6.4 mm(1/4インチ)の移動ステージに取り付けられます。
CT104は30 mmケージシステム用移動ステージCT1B/M に対応します。

Rotation Mounts for Ø1" Optics
Item #	RSP1(/M)	LRM1	RSP1D(/M)	DLM1(/M)	CLR1(/M)	RSP1X15(/M)	RSP1X225(/M)	PRM1(/M)^a
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Features	Standard	External SM1 (1.035"-40) Threads	Adjustable Zero	Two Independently Rotating Carriages	Rotates Optic Within Fixed Lens Tube System	Continuous 360° Rotation or 15° Increments	Continuous 360° Rotation or 22.5° Increments	Micrometer
Additional Details

こちらのマウントはPRM1GL10/M(回転マウントPRM1/Mと偏光プリズムマウントSM1PM10のセット)に含まれております。

Rotation Mounts for Ø1" Optics
Item #	LM1-A & LM1-B(/M)	CRM1T(/M)	CRM1LT(/M)	CRM1PT(/M)	KS1RS	K6XS
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Features	Optic Carriage Rotates Within Mounting Ring	30 mm Cage-Compatible^a	30 mm Cage-Compatible for Thick Optics^a	30 mm Cage-Compatible with Micrometer^a	±4° Kinematic Tip/Tilt Adjustment Plus Rotation	Six-Axis Kinematic Mount^a
Additional Details

こちらのマウントには回転ダイヤルにM3穴が4つ付いており、プリズム取付け用プラットフォームK6A1/Mを取り付けられます。

Rotation Mounts for Ø2" Optics
Item #	RSP2(/M)	RSP2D(/M)	PRM2(/M)	LM2-A & LM2-B(/M)	LCRM2A(/M)	KS2RS	K6X2
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Features	Standard	Adjustable Zero	Micrometer	Optic Carriage Rotates Within Mounting Ring	60 mm Cage-Compatible	±4° Kinematic Tip/Tilt Adjustment Plus Rotation	Six-Axis Kinematic Mount
Additional Details

Rotation Drive Mechanism and Adjustment Range	Manual, 360° Continuous		Coarse: Manual, 360° Continuous; Fine: ±7° Micrometer	Manual, 360° Continuous
Optic Mounting	Internally SM2-Threaded Carriage			Internal SM2 Threads in LM2-A	Internally SM2-Threaded Carriage
Maximum Accepted Optic Thickness	0.51" (13 mm)	0.54" (13.7 mm)	0.48" (12.2 mm)	0.46" (11.7 mm)	0.52" (13.2 mm)	0.47" (12 mm)	0.53" (13.4 mm)
Post Mounting	8-32 (M4) Tap			8-32 (M4) Tap in LM2-B	8-32 (M4) Tap	Four Counterbores for 8-32 (M4) Cap Screws	Six Counterbores for 8-32 (M4) Cap Screws
Cage System Compatibility	N/A		Four 4-40 (M3) Taps on Rotation Dial with 60 mm Spacing	N/A	Four Bores for Ø6 mm Cage Rods with 60 mm Spacing	N/A	N/A

手動回転ステージ

Manual Rotation Stages
Item #	RP005(/M)	PR005(/M)	MSRP01(/M)	RP01(/M)	RP03(/M)	QRP02(/M)
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Features	Standard					Two Hard Stops
Additional Details

Manual Rotation Stages
Item #	XRNR1(/M)	XRR1(/M)	PR01(/M)	CR1(/M)	XYR1(/M)	OCT-XYR1(/M)
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Features	Fine Rotation Adjuster and 2" Wide Dovetail Quick Connect	Fine Rotation Adjuster and 3" Wide Dovetail Quick Connect	Fine Rotation Adjuster and SM1-Threaded Central Aperture	Fine Pitch Worm Gear	Rotation and 1/2" Linear XY Translation
Additional Details

ステージをネジスロットで取り付けた場合、75.7 mmアリ溝を使用して他のステージまたはアクセサリに重ねて取り付けた場合よりも高くなります。
ステージOCT-XYR1/MにはプレートXYR1Aが付いています。このプレートを取り外すとステージXYR1/Mと同様の取付け機能となります。

電動回転マウント＆ステージ

Motorized Rotation Mounts and Stages with Central Clear Apertures
Item #	DDR25(/M)	PDR1C(/M)	PDR1(/M)	PDR1V(/M)	PDXR1(/M)
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Features	Compatible with SM05 Lens Tubes, 16 mm Cage System, & 30 mm Cage System	Compatible with 16 mm Cage System	Compatible with SM05 Lens Tubes & 30 mm Cage System	Vacuum-Compatible; Also Compatible with SM05 Lens Tubes & 30 mm Cage System	Compatible with SM05 Lens Tubes & 30 mm Cage System
Additional Details

Motorized Rotation Mounts and Stages with Central Clear Apertures
Item #	K10CR1(/M)	PRM1Z8(/M)^a	DDR100(/M)	ELL14	HDR50(/M)
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Features	Compatible with SM1 Lens Tubes & 30 mm Cage System		Compatible with SM1 Lens Tubes, 16 mm Cage System, 30 mm Cage System	Compatible with SM1 Lens Tubes, Open Frame Design for OEM Applications	Compatible with SM2 Lens Tubes
Additional Details

こちらのステージはKPRMTE/M(電動回転ステージPRMTZ8/MとK-Cube^® DCサーボモーターコントローラ KDC101)に含まれております。

Motorized Rotation Mounts and Stages with Tapped Platforms
Item #	PRMTZ8(/M)^a	ELL18(/M)^b
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Features	Tapped Mounting Platform for Mounting Prisms or Other Optics	Tapped Mounting Platform, Open Frame Design for OEM Applications
Additional Details

こちらのステージはKPRM1E/M(電動回転ステージPRMT1Z8/MとK-Cube DCサーボモーターコントローラ KDC101などのセット)に含まれております。
こちらのステージはELL18K/M(インターフェイスボード、取付け用ブラケットならびにPC制御用コントローラがセット)に含まれております。

多軸ステージセレクションガイド

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Figure 83A 上の使用例では、NanoMax 3軸フレクシャーステージを6軸ステージの前に置き、高さ調整アダプタAMA554(/M)を使用してデッキ高112.5 mmに整合させています。

3軸ステージ
当社では3種類の3軸ステージをご用意しております。フレクシャーステージNanoMax、コンパクトフレクシャーステージMicroBlock、長距離移動ステージRollerBlockです。どのステージも公称デッキ高は62.5 mmです。3軸ステージのNanoMaxのラインナップには、内蔵型の閉ループまたは開ループのピエゾアクチュエータのほかに、ステッピングモータや差動アクチュエータ、その他のピエゾアクチュエータなどのモジュール型駆動製品をご用意しております。MicroBlockステージには、差動マイクロメーターアクチュエータや精密つまみネジが付いていますが、それらのアクチュエータは取り外しができません。RollerBlockステージのアクチュエータは、Ø9.5 mmの取付けバレルが付いたアクチュエータであれば交換可能です。

4軸ならびに5軸ステージ
当社の4軸ならびに5軸ステージは、3軸ならびに6軸の高性能アライメントステージと比較した場合、導波路や複雑な光学素子の静的な位置決めにより適しています。5軸ステージの公称高さは、62.5 mmまたは112.5 mmになります。3軸または4軸ステージの高さを5軸MicroBlockあるいは6軸NanoMaxステージに合わせて112.5 mmに上げたい場合には、ライザーブロック(高さ調整ブロック)AMA554(/M)をご使用いただけます。

6軸ステージ
当社のNanoMax 6軸ナノポジショナは複雑な多軸ポジショニングシステムに適しており、公称デッキ高は112.5 mmです。こちらのステージは共通の回転中心を有しています。また特許取得済みの平行フレクシャ設計により、すべてのアクチュエータがベースに直接結合し、システム内の不要な動きを最小限に抑えています。ピエゾ素子はオプションで閉ループでも開ループでも組み込めます。モジュール型設計のためアクチュエータを交換することができ、すべての軸で手動式、またはピエゾ素子による電動式にすることが可能です。アクチュエータが付属しないタイプについては、右手系、左手系のどちらの構成でもご用意しております。 3軸ステージの高さを112.5 mmに上げたい場合には、Figure 83Aのように高さ調整アダプタAMA554(/M)のご使用をお勧めいたします。

当社の多軸ステージのラインナップならびに比較は下の表でご覧ください。

3軸ステージ

Item #	MAX313D	MAX312D	MAX311D	MAX383	MAX381	MAX303	MAX302	MAX301	MBT602	MBT616D	RB13M	RBL13D
Stage Type	NanoMax Flexure Stages								MicroBlock Compact Flexure Stages		RollerBlock Long Travel Stages
Included Drives	DRV3 Differential Micrometers			DRV208 Stepper Motor Actuators		N/A			Fine Thread Thumbscrews	Differential Micrometers	148-801ST Micrometer Drives	DRV304 Differential Micrometers
Built-in Piezos	N/A	Open Loop	Closed Loop	N/A	Closed Loop	N/A	Open Loop	Closed Loop	N/A		N/A
Travel (X, Y, Z)	4 mm (0.16")										13 mm (0.51")
Deck Height (Nominal)	62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)	75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)	1 kg (2.2 lbs)										4.4 kg (9.7 lbs)
Thermal Stability	1 µm/°C										-
Weight	1.00 kg (2.20 lbs)								0.64 kg (1.40 lbs)		0.59 kg (1.30 lbs)

4軸ステージ

Item #		MBT401D MBT401D/M	MBT402D MBT402D/M
Stage Type		4-Axis Thin-Profile MicroBlock Device Stage	4-Axis Low-Profile MicroBlock Device Stage
Included Drives		Differential Micrometers
Built-in Piezos		N/A
Travel	Horizontal Axis (Y)^a	13 mm (0.51")
	Vertical Axis (Z)	6 mm (0.24")
	Pitch (θ_y)	±5°
	Yaw (θ_z)	±5°
Deck Height (Nominal)		62.5 mm (2.46")
Optical Axis Height (Nominal)		75 mm (2.95")
Load Capacity (Max)		0.5 kg (1.1 lbs)

光軸(X)に対して垂直

5軸ステージ

Item #		MBT401D (MBT401D/M) or MBT402D (MBT402D/M) with MBT501	PY005
Stage Type		5-Axis MicroBlock Stage System	Compact 5-Axis Stage
Included Drives		Differential Micrometers	100 TPI Actuators
Built-in Piezos		N/A
Travel	Optical Axis (X)	13 mm (0.51")	3 mm (0.12")
	Horizontal Axis (Y)	13 mm (0.51")	3 mm (0.12")
	Vertical Axis (Z)	6 mm (0.24")	3 mm (0.12")
	Pitch (θ_y)	±5°	±3.5°
	Yaw (θ_z)	±5°	±5°
Deck Height (Nominal)		112.5 mm (4.43")	62.5 mm (2.46")^a
Optical Axis Height (Nominal)		125 mm (4.92")	75 mm (2.95")^a
Load Capacity (Max)		0.5 kg (1.1 lbs)	0.23 kg (0.5 lbs)

公称デッキ高62.5 mmと光軸高さ75 mmを得るには高さ調整アダプタPY005A2(/M)ならびに取付けプレートMMP1(/M)を使用してください。

6軸ステージ

Item #		MAX601D MAX601D/M	MAX602D MAX602D/M	MAX603D MAX603D/M	MAX681 MAX681/M	MAX682 MAX682/M	MAX683 MAX683/M	MAX607 MAX607/M MAX607L^a MAX607L/M^a	MAX608 MAX608/M MAX608L^a MAX608L/M^a	MAX609 MAX609/M MAX609L^a MAX609L/M^a
Stage Type		6-Axis NanoMax Flexure Stage
Included Drives		DRV3 Differential Micrometers			DRV208 Stepper Motor Actuators			N/A
Built-in Piezos		N/A	Open Loop	Closed Loop	N/A	Open Loop	Closed Loop	N/A	Open Loop	Closed Loop
Travel	X, Y, Z	4 mm (0.16")
Travel	θ_x, θ_y, θ_z	6°
Deck Height (Nominal)		112.5 mm (4.43")
Optical Axis Height (Nominal)		125 mm (4.92")
Load Capacity (Max)		1.0 kg (2.2 lbs)

左手系のバージョン

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Item #	LNR25D(/M), LNR25M(/M)	LX10(/M), LX20(/M), LX20XZ(/M), LX20YZ(/M), LX30(/M)	XRN25P(/M), XRN25C(/M), XRN25P-K1(/M), XRN25P-K2(/M)	XR25P(/M), XR25C(/M), XR25P-K1(/M), XR25P-K2(/M)	XR50P(/M), XR50C(/M)	LNR50DD(/M), LNR50M(/M)
Resolution	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Drive)	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	0.5 mm/rev	Down to 0.05 mm/rev (Dependent on Drive)
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 17 Places	1/4"-20 (M6), 22 Places	1/4"-20 (M6), 26 Places	1/4"-20 (M6), 13 Places
Load Capacity	Horizontal: 44 lbs / 20 kg Vertical: 17.6 lbs / 8 kg	Horizontal: 90 lbs / 41 kg Vertical: 8.8 lbs / 4 kg	Horizontal: 170 lbs / 77.1 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 8.8 lbs / 4.0 kg	Horizontal: 66 lbs / 30 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	MS1(/M), MS1S(/M), MS3(/M)	T12X(/M), T12XY(/M), T12XZ(/M), T12XYZ(/M)	MT1(/M), MT1A(/M), MT1B(/M), MT3(/M), MT3A(/M)	PT1(/M), PT1A(/M), PT1B(/M), PT3(/M), PT3A(/M)	LT1(/M), LT3(/M)
Resolution	Down to 0.25 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	0.25 mm/rev	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	Down to 0.025 mm/rev (Dependent on Chosen Drive)	Coarse: 0.055" / rev Fine: 0.010" / rev
Mounting Holes	#4 (M3) Counterbore, 2 Places 4-40 (M3), 2 Places 8-32 (M4), 5 Places	2-56 (M2), 4 Places	Top: 1/4"-20 (M6), 7 Places Bottom: 1/4"-20 (M6), 7 Places and 8-32 (M4), 4 Places	1/4"-20 (M6), 16 Places	1/4"-20 (M6), 24 Places
Load Capacity	Horizontal: 7 lbs / 3.2 kg Vertical: 2.5 lbs / 1.1 kg	Horizontal: 5 lbs / 2.2 kg Vertical: N/A	Horizontal: 90 lbs / 41 kg Vertical: 4.4 lbs / 2 kg	Horizontal: Up to 90 lbs / 41 kg Vertical: Up to 8.8 lbs / 4.0 kg (Dependent on Chosen Drive)	Horizontal: 70 lbs / 31 kg Vertical: 40 lbs / 18 kg

Item #	DT12(/M), DT12XY(/M), DT12XZ(/M), DT12XYZ(/M)	DTS25(/M) DTS25V(/M)^b	DTS50(/M)
Resolution	0.35 mm/rev	1.0 mm/rev
Mounting Holes	8-32 (M4), 1 Place	1/4"-20 (M6), 13 Places	1/4"-20 (M6), 17 Places
Load Capacity	Horizontal: 2.5 lbs / 1.2 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	Horizontal: 88 lbs / 40 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	NF15AP25(/M)	NFL5D(/M)	NFL5DP20(/M)	NFL5DP20S(/M)
Resolution	Manual: 0.25 mm/rev Piezo: 0.76 nm (Theoretical)	Coarse: 0.5 mm/rev Fine: 50 µm/rev	Coarse: 0.5 mm/rev Fine: 50 µm/rev Piezo: 0.6 nm (Theoretical)
Mounting Holes	4-40 (M2), 5 Places 8-32 (M4), 1 Place	6-32 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 4 Places
Load Capacity	Horizontal: 1.1 lbs / 0.5 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	Horizontal: 2.2 lbs / 1 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg

Item #	XRNV1(/M)	XRV1(/M)	MVS05(/M)	MVS1(/M)	VAP4(/M)	VAP10(/M)
Precision	0.01" (0.25 mm) per Adjuster Revolution		0.025" (0.5 mm) per Adjuster Revolution		0.05" (1.27 mm) per Adjuster Revolution
Mounting Holes	6-32 (M4), 8 Places 1/4"-20 (M6), 16 Places		8-32 (M4), 12 Places 1/4"-20 (M6), 13 Places		8-32 (M4), 31 Places 1/4"-20 (M6), 33 Places
Load Capacity	Horizontal: 22.2 N (5.0 lbs) Inverted: 6.67 N (1.50 lbs)	Horizontal: 44.5 N (10.0 lbs) Inverted: 8.9 N (2.0 lbs)	4.4 lbs / 2 kg		50 lbs / 23 kg (Max Moment: 150 in-lbs / 16.9 N•m)

Item #	PDXZ1(/M)	PD2(/M)	PDX2(/M)	PDX4(/M)
Positioning Performance	12.5 nm Optical Encoder Resolution	N/A	12.5 nm Optical Encoder Resolution
Mounting Holes	2-56 (M2), (8 Places) 4-40, (4 Places) M3, (4 Places) 8-32 (M4), (8 Places) 1/4"-20 (M6), (1 Place)	00-90 (M1.2 x 0.25), 6 Places		00-90 (M1.2 x 0.25), 13 Places #00 (M1.2) Counterbores, 4 Places
Load Capacity	Vertical: 2.2 lbs / 1 kg	Horizontal: 2.20 lbs / 1 kg Vertical: 0.11 lbs / 0.05 kg		Horizontal: 2.20 lbs / 1 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.10 kg

Item #	PD1(/M) PD1V(/M) (Vacuum Compatible)	PD1D(/M)	PDX1(/M)	PD3(/M)	XRN25X(/M) + PIA25^e	XR25X(/M) + PIA25^e
Positioning Performance	N/A	N/A	10 nm Optical Encoder Resolution	N/A	N/A	N/A^f
Mounting Holes	2-56 (M2), 4 Places 8-32 (M4), 6 Places	2-56 (M2), 4 Places #2 (M2) Counterbores, 2 Places 8-32 (M4), 4 Places #8 (M4) Counterbores, 2 Places	2-56 (M2), 4 Places 8-32 (M4), 6 Places	8-32 (M4), 16 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 17 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places
Load Capacity	Horizontal: 6.61 lbs / 3 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.1 kg			Horizontal: 6.61 lbs / 3 kg Vertical: 0.22 lbs / 0.1 kg^a	Horizontal: 170 lbs / 77.1 kg Vertical: N/A	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: N/A

Item #	NFL5DP20(/M), NFL5DP20S(/M)	NF15AP25(/M)	ELL17(/M), ELL17K(/M) (Stage + Controller)	ELL20(/M), ELL20K(/M) (Stage + Controller)	LPS710E(/M) (Stage + Controller)
Positioning Performance	Piezo Resolution: 0.6 nm (Theoretical)	Piezo Resolution: 0.76 nm (Theoretical)	Positioning Accuracy: 50 µm, Repeatability: 20 µm		Bidirectional Repeatability: ±0.03%
Mounting Holes	6-32 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 4 Places	4-40 (M2), 5 Places 8-32 (M4), 1 Place	4-40 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 1 Place		4-40 (M3), 4 Places
Load Capacity	Horizontal: 2.2 lbs / 1 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 1.1 lbs / 0.5 kg Vertical: 0.55 lbs / 0.25 kg	0.44 lbs / 0.2 kg		0.66 lbs / 0.3 kg

Item #	MVSN1(/M)	PLSX, PLSXY	XR25X(/M) + ZFS25B, XR25X(/M) + ZST225B	LNR25ZFS(/M)	LNR502(/M), LNR502E(/M)
Positioning Performance	On-Axis Accuracy: 50 µm Repeatability: 2 µm	Bidirectional Repeatability: 5 µm	Repeatability: < 5.0 µm	On-Axis Accuracy: 15 µm	Bidirectional Repeatability: 3.9 µm (Standard) 0.75 µm (w/ Optical Encoding)
Mounting Holes	4-40 (M2 x 0.4), 4 Places 6-32 (M3 x 0.5), 4 Places	4-40, 4 Places (with PLST(/M) Top Plate: 1/4"-20 (M6) 9 Places, 8-32 (M4) 12 Places)	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 13 Places
Load Capacity	10 N	PLSX: Horizontal: 33.1 lbs / 15.0 kg Vertical: 8.0 lbs / 3.6 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 2.2 lbs / 1.0 kg	Horizontal: 11 lbs / 5 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 105 lbs / 48 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg
Load Capacity	10 N	PLSXY: Horizontal: 31.8 lbs / 14.4 kg Vertical: 6.0 lbs / 2.7 kg	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 2.2 lbs / 1.0 kg	Horizontal: 11 lbs / 5 kg Vertical: 1.1 lbs / 0.5 kg	Horizontal: 105 lbs / 48 kg Vertical: 22 lbs / 10 kg

Item #	NRT100(/M)	NRT150(/M)	LTS150C(/M)	LTS300C(/M)	MLJ250(/M)
Positioning Performance	On-Axis Accuracy: 2.0 µm (Typical); 5.0 µm (Max)		Absolute On-Axis Accuracy: 20 µm Calibrated Accuracy: < ±5.0 µm		Unidirectional Repeatability: < 10 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 8 Places		1/4"-20 (M6), 16 Places		1/4"-20 (M6 x 1.0), 25 Places
Load Capacity	Horizontal: 44 lbs / 20 kg Vertical: 11 lbs / 5 kg		Horizontal: 33.1 lbs / 15 kg Vertical: 8.8 lbs / 4 kg		44 lbs / 20 kg

Item #	MT1-Z9 (MT1/M-Z9), MT3-Z9 (MT3/M-Z9)	PT1-Z9 (PT1/M-Z9), PT3-Z9 (PT3/M-Z9)	XR25X(/M) + Z925B	MTS25-Z8 (MTS25/M-Z8), KMTS25E(/M) (Stage + Controller)	MTS50-Z8 (MTS50/M-Z8), KMTS50E(/M) (Stage + Controller)
Bidirectional Repeatability	Uncompensated: 13 µm	Uncompensated: ±7 µm Compensated: ±0.8 µm	Uncompensated: ±7 µm Compensated: ±0.8 µm	1.6 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 7 Places	1/4"-20 (M6), 16 Places	1/4"-20 (M6 x 1.0) Taps, 22 Places	4-40 (M3), 18 Places 8-32 (M4), 1 Place
Load Capacity	Vertical (Motor Pushing Down): 4.4 lbs (2.0 kg) Vertical (Motor Pushing Up): 10 lbs (4.5 kg) Horizontal: 20 lbs (9.0 kg)	Vertical (Motor Pushing Down): 7 lbs (3.2 kg) Vertical (Motor Pushing Up): 10 lbs (4.5 kg) Horizontal:20 lbs (9.0 kg)	Horizontal: 180 lbs / 81.9 kg Vertical: 3.3 lbs / 1.5 kg	Horizontal: 25 lbs / 12 kg Vertical: 10 lbs / 4.5 kg

Item #	M30X(/M)	M30XY(/M)	M150XY(/M)	KVS30
Bidirectional Repeatability	±1.0 µm		±0.25 µm	±0.12 µm
Mounting Holes	1/4"-20 (M6), 25 Places		1/4"-20 (M6 x 1.0 mm), 117 Places	1/4"-20 (M6), 25 Places 8-32 (M4), 16 Places
Load Capacity	Horizontal: 11.02 lbs / 5.0 kg Vertical: 4.41 lbs / 2.0 kg		22.0 lbs / 10 kg	15.4 lbs / 7.0 kg

Item #	DDS050(/M)	DDS100(/M)	DDS220(/M)	DDS300(/M)	DDS600(/M)
Bidirectional Repeatability	±1.5 µm		±0.25 µm
Mounting Holes	8-32 (M4), 10 Places 1/4"-20 (M6), 6 Places		4-40 (M3), 4 Places 8-32 (M4), 4 Places 1/4"-20 (M6), 5 Places	8-32 (M4), 16 Places 1/4"-20 (M6), 25 Places
Load Capacity	1.98 lbs / 0.9 kg		6.6 lbs / 3.0 kg	22.0 lbs / 10.0 kg

Rotation Drive Mechanism and Adjustment Range	Manual, 360° Continuous			Coarse: Manual, 360° Continuous; Fine: Micrometer, ±7°	Manual, 360° Continuous
Optic Mounting	Internally SM05-Threaded Carriage
Maximum Accepted Optic Thickness	0.23" (5.8 mm)	0.23" (5.8 mm)	0.26" (6.5 mm)	0.23" (5.9 mm)	0.24" (6.0 mm)	0.41" (10.4 mm)	0.29" (7.3 mm)
Post Mounting	4-40 (M3) Stud	8-32 (M4) Tap	None	8-32 (M4) Tap	None	Two Counterbores for 8-32 (M4) Cap Screws	Two Counterbores for 4-40 (M3) Cap Screws
Cage System Compatibility	N/A				Four Bores for ∅4 mm Cage Rods with 16 mm Spacing	N/A	N/A^c

Rotation Drive Mechanism and Adjustment Range	Manual, 360° Continuous					Manual, Continuous: 360°; Discrete: 15°	Manual, Continuous: 360°; Discrete: 22.5°	Coarse: Manual, 360° Continuous; Fine: Micrometer, ±7°
Optic Mounting	Internally SM1-Threaded Carriage
Maximum Accepted Optic Thickness	0.47" (11.9 mm)	0.34" (8.6 mm)	0.51" (12.9 mm)	0.25" (6.4 mm)	0.27" (6.8 mm)	0.50" (12.7 mm)	0.50" (12.7 mm)	0.50" (12.7 mm)
Post Mounting	8-32 (M4) Tap	N/A	8-32 (M4) Tap
Cage System Compatibility	N/A							Four 4-40 (M3) Taps on Rotation Dial with 30 mm Spacing

Rotation Drive Mechanism and Adjustment Range	Manual, 360° Continuous
Mounting Platform
Diameter	Ø1.00" (Ø25.4 mm)	Ø1.00" (Ø25.4 mm)	Ø1.40" (Ø35.6 mm)	Ø2.07" (Ø52.8 mm)	Ø4.29" (Ø109.0 mm)	Ø2.00" (Ø50.8 mm)
Height	0.67" (17.0 mm)	0.75" (19.1 mm)	0.51" (13.1 mm)	0.63" (16.1 mm)	0.70" (17.8 mm)	1.00" (25.4 mm)
Taps	Six 4-40 (M3) One 1/4"-20 (M6)	One 8-32 (M4) Eight 4-40 (M3)	Four 4-40 (M3) One 8-32 (M4)	Four 8-32 (M4) One 1/4"-20 (M6)	Eight 6-32 (M4) Sixteen 8-32 (M4) Thirteen 1/4"-20 (M6)	Four 6-32 (M4) Four 8-32 (M4) Five 1/4"-20 (M6)
Additional Holes	Two Ø0.13" (Ø3.2 mm) Holes for FiberBench Accessories	-	Four Clearance Holes for 4-40 (M3) Cap Screws	-	-	-
Platform Adapter Plate(s)	-	-	-	-	-	-
Base
Dimensions	1.50" x 1.50" (38.1 x 38.1 mm)	1.50" x 1.50" (38.1 x 38.1 mm)	1.78" x 1.40" (45.2 x 35.6 mm)	2.45" x 2.45" (62.2 x 62.2 mm)	4.65" x 4.65" (118.1 x 118.1 mm)	2.55" x 2.55" (64.8 x 64.8 mm)
Mounting Holes	Four Clearance Holes for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Four Clearance Holes for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Four Clearance Holes for 4-40 (M3) Cap Screws	Four Clearance Holes for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Four Clearance Holes for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Four Counterbores for 1/4"-20 (M6) Cap Screws
Side Taps for Vertical Mounting	-	-	One 4-40 (M3)	One 8-32 (M4)	Three 8-32 (M4)	-
Cage System Compatibility	N/A

Rotation Drive Mechanism and Adjustment Range	Manual: 360° Continuous; Fine: Adjuster Screw, ±5°	Manual: 360° Continuous; Fine: Adjuster Screw, ±5°	Manual: 360° Continuous; Fine: Micrometer, ±5°	Worm Gear, 360° Continuous	Manual, 360° Continuous with 1/2" (13 mm) Linear Travel Along X and Y Axes with Micrometer
Mounting Platform
Diameter	Ø2.21" (Ø56.0 mm)	Ø3.19" (Ø81.0 mm)	Ø2.70" (Ø68.6 mm)	Ø1.70" (Ø43.2 mm)	Ø4.18" (Ø106.0 mm)	Ø4.04" (Ø102.5 mm)
Height	On Breadboard: 0.91" (23.0 mm)^a Dovetail Stacked: 0.83" (21.0 mm)	On Breadboard: 0.91" (23.0 mm)^a Dovetail Stacked: 0.83" (21.1 mm)	1.00" (25.3 mm)	1.00" (25.4 mm)	1.00" (25.4 mm)	1.65" (41.8 mm)
Taps	Thirteen 1/4"-20 (M6) Four 8-32 (M4) Four 6-32 (M4)	Thirteen 1/4"-20 (M6) Four 8-32 (M4) Four 6-32 (M4)	Four 4-40 (M3) Ten 6-32 (M4) Six 1/4"-20 (M6)	Four 4-40 (M3) Eight 6-32 (M4) Four 8-32 (M4)	Eight 4-40 (M3) Twelve 8-32 (M4) Sixteen 1/4"-20 (M6)	-^b
Additional Holes	-	-	Ø0.94" (Ø23.9 mm) Clear Aperture with SM1 Threading	-	Ø0.90" (Ø22.9 mm) Clear Aperture with SM1 Threading	-^b
Platform Adapter Plate(s)	-	-	PR01A(/M) CRA30(/M)	CR1A(/M)	XYR1A	-^b
Base
Dimensions	3.35" x 2.52" (85.0 mm x 63.9 mm)	4.33" x 3.58" (110.0 mm x 91.0 mm)	2.75" x 3.50" (69.9 x 88.9 mm)	2.76" x 2.10" (70.1 x 53.4 mm)	5.50" x 4.42" (139.7 x 112.3 mm) (Not Including Micrometers)
Mounting Holes	Four Mounting Slots for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Four Mounting Slots for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Four Mounting Slots for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Two Mounting Slots for 1/4"-20 (M6) Cap Screws	Four Mounting Slots for 1/4"-20 (M6) Cap Screws
Side Taps for Vertical Mounting	-	-	Two 1/4"-20 (M6)	-	-
Cage System Compatibility	-	N/A	Four 4-40 Taps on Top Surface for 30 mm Cage System	N/A	Four 4-40 Taps on Top Surface for 30 mm Cage System Four 4-40 Taps on Top Surface for 60 mm Cage System Four 4-40 Taps on Bottom Surface for 60 mm Cage System	-^b

Motor Type	Brushless DC Servo	Piezo Inertia Drive
Rotation Adjustment Range	360° Continuous
Rotating Platform/Carriage
Diameter	1.14" (29.0 mm)	1.10" (28.0 mm)	1.34" (34.0 mm)	1.96" (49.7 mm)
Height	1.12" (28.5 mm)	0.71" (18.0 mm)		0.91" (23.0 mm)
Threaded Mounting Holes	Four 4-40 with 16 mm Spacing	Four 8-32 (M4 x 0.7), Four 4-40 with 16 mm Spacing	Four 8-32 (M4 x 0.7)	Four 8-32 (M4 x 0.7), Four 4-40 with 30 mm Spacing Four 2-56 (M2 x 0.4)
Center Aperture	SM05 Internal Threads, 1.2" (28.5 mm) Deep	Ø4.9 mm Clear Aperture with 1/4"-20 (M6 x 1.0) Internal Threads, Thru	Ø9.0 mm Clear Aperture with SM05 Internal Threads, 2.5 mm Deep	Ø9.0 mm Clear Aperture with SM05 Internal Threads, 3.5 mm Deep
Speed (Max)	1800°/s	100°/s	20°/s	30°/s
Base
Dimensions	2.19" x 2.19" (55.6 mm x 55.6 mm)	1.18" x 1.18" (30 mm x 30 mm)	1.57" x 1.57" (40.0 mm x 40.0 mm)	2.20" x 2.20" (56.0 mm x 56.0 mm)
Bottom Surface Mounting Features	-	Two #2 (M2) Slots	Two 8-32 (M4 x 0.7) Holes	Two #8 (M4) Counterbores Two 8-32 (M4 x 0.7) Holes
Side Holes for Vertical Mounting	Four 8-32 (M4 x 0.7) Eight 4-40	Three 8-32 (M4 x 0.7)	One 8-32 (M4 x 0.7), Two Sides	One 8-32 (M4 x 0.7)
Cage System Compatibility	Four 4-40 Holes on Back Side with 16 mm Spacing, Four 4-40 Taps on Front Side with 30 mm Spacing	-	Ø6 mm Holes for ER Cage Rods with 30 mm Spacing	Four 4-40 Taps on Rotating Platform with 30 mm Spacing

Motor Type	2 Phase Stepper Motor with Worm Gear	DC Servo	Brushless DC Servo	Piezo Resonant Motor	2 Phase Stepper Motor with Worm Gear
Rotation Adjustment Range	360° Continuous
Rotating Platform/Carriage
Diameter	1.81" (46.0 mm)	1.97" (50.0 mm)	4.37" (111.0 mm)	-	3.86" (98.0 mm)
Height	0.84" (21.5 mm)	0.91" (23.0 mm)	1.57" (39.9 mm)	0.59" (15.1 mm)	1.73" (44.0 mm)
Threaded Mounting Holes	Six 4-40 (M3)	Four 6-32 (M4), Four 8-32 (M4), Four 4-40 with 30 mm Spacing	Eight 8-32 (M4), Four 1/4"-20 (M6), Four 4-40 with 16 mm Spacing, Four 4-40 with 30 mm Spacing	-	Four 8-32 (M4)
Center Aperture	SM1 Internal Threads, 0.84" (21.5 mm) Deep	SM1 Internal Threads, 0.91" (23.0 mm) Deep	SM1 Internal Threads, 0.82" (21.0 mm) Deep	SM1 Internal Threads, 0.58" (14.7 mm) Deep	Ø50.0 mm Clear Aperture with SM1 Internal Threads, 6.9 mm Deep
Speed (Max)	10°/s	25°/s	1080°/s	430°/s	50°/s
Platform Adapter Plate(s)	K10CR1A2(/M)	PRM1SP1(/M)	NR360SP9(/M) NR360SP4(/M)	-	NR360SP9(/M) NR360SP8 NR360SP4(/M)
Base
Dimensions	4.21" x 2.60" (107.0 mm x 66.0 mm)	5.18" x 3.26" (131.5 mm x 82.8 mm)	4.53" x 4.53" (115 mm x 115 mm)	2.60" x 3.25" (66.0 mm x 82.5 mm)	7.46" x 4.55" (189.4 mm x 115.5 mm)
Stage Adapter Plates	K10CR1A1 K10CR1A3	PRM1SP2 PRM1SP3	-	-	NR360SP2(/M) NR360SP5(/M)
Bottom Surface Mounting Holes	-	Two 1/4" (M6) Counterbores	Four 1/4" (M6) Clearance Holes	-	Four 1/4" (M6) Counterbores
Side Holes for Vertical Mounting	Three 8-32 (M4)	Four 8-32 (M4)	Eight 1/4"-20 (M6)	-	Six 1/4"-20 (M6)
Cage System Compatibility	Four 4-40 Holes on Each Side with 30 mm Spacing	-	Four 4-40 Holes on Back Side with 30 mm Spacing	60 mm Cage using Four Ø0.12" (3.0 mm) Holes for 4-40 Screws, 30 mm Cage using SR025 Cage Rods to Adapt to ER Cage Rods	-