ブラシレスDCモーター駆動XYステージ


  • 150 mm (5.91") of Travel Along X- and Y-Axes
  • Integrated Brushless DC Servo Motors
  • 10 kg (22.0 lbs) Horizontal Load Capacity

M150XY

Brushless DC Motor Driven XY Stage
150 mm X- and Y-Axis Travel

MJC2

2-Axis Microscopy Joystick

BBD302

2-Channel Brushless
DC Servo Controller

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M150XY(/M) Key Specificationsa
Travel Range150 mm (5.91")
SpeedX-Axis170 mm/s
Y-Axis230 mm/s
Acceleration (Max)b1000 mm/s2
Bidirectional Repeatability±0.25 μm
Straightness / Flatness±2.5 μm
Horizontal Load Capacityc10 kg (22.0 lbs)
Min Incremental Movement100 nm
Absolute On-Axis Accuracy±10 μm
Actuator TypeBrushless DC Linear Motor
Dimensions (L x W X H)272.4 mm x 272.4 mm x 70.1 mm
(10.72" x 10.72" x 2.76")
  • 詳しい仕様は「仕様」タブをご参照ください。
  • 達成可能な最大加速度は負荷によって決まります。記載の最大加速度は2 kgの負荷に対するものです。
  • コントローラのPIDパラメータは2 kgの荷重用に初期設定されているため、より大きい荷重には調整が必要な場合があります。 ソフトウェア上で設定する加速度は、負荷が大きくなると増加させる必要があります。加速度はモータ力によって制限されます。
M150XY stage with both axes at their maximum travel ranges in one direction.
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ステージM150XYの両軸を中立位置から正の最大移動量である+75.0 mmまで動かした様子

特長

  • XおよびY軸移動範囲:150 mm
  • ブラシレスDCサーボモータ内蔵
  • 高剛性かつ高精度のリニアベアリングおよびリニア光学式エンコーダ
  • 水平耐荷重10 kg
  • 軸上確度±10 µmにおける加速度 1000 mm/s2
  • M6 x 1.0 mmタップ穴付き取付プラットフォーム

当社のブラシレスDCモータ駆動XYステージは、XY両軸方向に150 mmの移動が可能で、最大速度はX軸方向で170 mm/s、Y軸方向で230 mm/sとなっています。この自動ステージは、自動アライメント、表面検査、マッピング、プロービングをはじめとする高速および正確な位置決めが必要な用途に適しています。

ブラシレスリニアDCモータを内蔵した薄型設計を採用したことで、移動プラットフォームにアクセスする際の妨げの原因となる外部筐体を取り除きました。ブラシレスリニアDCモータのダイレクトドライブ技術は送りネジを必要としないのでバックラッシュがなくなります。精密溝付きの2つのリニアベアリングにより、優れた剛性と軸上精度(±10 µm)の高い線形性が得られます。バックラッシュのない動作と、高分解能の光学式フィードバックにより、±0.25μmの最小限の双方向再現性を実現しています。

上部プレートには、光学サブアセンブリを取り付けるためのM6 x 1.0 mmタップ穴が25.0 mm間隔で117個あります。各ユニットのベースにはM6ネジに対応した4つの貫通スロットがあり、これによりステージをブレッドボードやワークステーションに取り付けられます。ステージM150XY/Mには制御ケーブルが2セット内蔵されており、ステージの移動中にケーブルの引っ掛かりを最小限に抑えながら各軸を独立して制御できます。コネクタの詳細は「ピン配列」タブをご参照ください。

注:このステージは垂直方向(Z軸)の移動には適していません。

推奨コントローラ
ステージM150XY/Mには当社のすべてのBBD30xシリーズのブラシレスDC モーターコントローラをご使用いただけますが、コンパクトな設置面積で両軸を制御可能な2チャンネルブラシレスDCモーターコントローラBBD302をお勧めします。BBD30xシリーズのコントローラは、当社のKinesisソフトウェアを使うことで、製品を入手後すぐにお使いいただけます。2チャンネルコントローラBBD302および3チャンネルコントローラBBD303*は、ステージの両方の軸を同期させて制御することができます。両軸を独立して同時に制御するには、1軸コントローラBBD301が2つ必要になりますのでご注意ください。このコントローラはS字および台形加減速を自由に設定できるので、振動や衝撃を与えることなく、高速で滑らかな位置決めが実現できます。詳細は下記をご覧ください。

*3チャンネルコントローラBBD303を使用してステージM150XY/Mを駆動する場合は、最良の性能を得るために3番目の軸を同時に接続することは避けてください。

モーションコントロールソフトウェア
ステージは当社のKinesis®ソフトウェアを使用する設計となっており、デフォルトのパラメータが予め設定されています。詳細は「モーションコントロールソフトウェアタブおよびM150XY/Mのマニュアルをご覧ください。

ジョイスティック
MJC2を用いると、遠隔での正確な位置決め制御が可能になります。詳細は下記をご覧ください。

M150XY(/M) Stage
Axis Travel DirectionX-AxisY-Axis
Travel Range150 mm (5.91")
Maximum Speed170 mm/s230 mm/s
Maximum Accelerationa1000 mm/s2
Bidirectional Repeatability±0.25 μm
BacklashbN/A (No Lead Screw)
Encoder Resolution50 nm
Minimum Incremental Motion100 nm
Horizontal Load Capacityc10 kg (22.2 lbs)
Absolute On-Axis Accuracy±10 μm
Straightness / Flatness±2.5 μm
Pitch±80 μm±40 μm
Yaw±65 μm±65 μm
Continuous Motor Force10.0 N10.0 N
Peak Motor Force (2 Second)20.0 N20.0 N
Cable Length2970 mm (116.92")2700 mm (106.29")
General
Bearing TypeHigh-Rigidity Recirculating Precision Linear Bearing
Limit SwitchesMagnetic Sensor at Each End of Stage
Operating Temperature Ranged5 to 40 °C (41 to 104 °F)
Motor TypeBrushless DC Linear Motor
Dimensions (Mid Travel) L x W x H10.72" x 10.72" x 2.76"
(272.4 mm x 272.4 mm x 70.1 mm)
Weight (Excluding Cables)8.9 kg (19.6 lbs)
  • 達成可能な最大加速度は負荷によって決まります。記載の最大加速度は2 kgの負荷に対するものです。
  • このステージはダイレクトドライブタイプで送りネジがないためバックラッシュはありません。
  • コントローラのPIDパラメータは2 kgの荷重用に初期設定されているため、より大きい荷重には調整が必要な場合があります。ソフトウェア上で設定する加速度は、負荷が大きくなると増加させる必要があります。加速度はモータ力によって制限されます。
  • 動作温度範囲外の温度では、PIDパラメータの最適化が必要な場合があります。
M150XY/M)Mechanical Drawing
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M150XY/Mの機械的特長
M150XY Mechanical Drawing
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M150XYの機械的特長

M150XY(/M)のステップ

M150XY X-axis Incremental Motion with 50 nm Step
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上のグラフはステージM150XY(/M)のX軸における最小ステップを示しています。最小ステップは50 nmです。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。
M150XY Y-axis Incremental Motion with 50 nm Step
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上のグラフはステージM150XY/MのY軸における最小ステップを示しています。最小ステップは50 nmです。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。
M150XY X-axis Incremental Motion with 100 nm Step
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上のグラフはステージM150XY/MのX軸における100 nmステップの移動を示しています。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。
M150XY Y-axis Incremental Motion with 100 nm StepClick to Enlarge
上のグラフはステージM150XY/MのY軸における100 nmステップの移動を示しています。表示されている位置は、各動作後の2秒の滞在時間にわたる平均値として取得されています。
M150XY(/M) Components
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ステージM150XY/Mと付属するアクセサリ

M150XY(/M)には以下のアクセサリが付属します。

  • ブラシレスDCモータ駆動XYステージ
  • T字型移動用ハンドル 2個
  • 運搬用ブラケット 2個
  • M6 x 1.0 mm皿頭六角ソケットネジ(運搬用ブラケットをステージに取り付けるために使用) 2個
  • マニュアルおよびソフトウェアダウンロード用カード
  • 開梱ガイド

ステージM150XY/Mを運搬する際は、必ず付属のT字型ハンドルと運搬用ブラケットをご使用ください。運搬用ブラケットの取付位置は、ミリ規格ステージM150XY/Mとインチ規格ステージM150XYでは異なります(下記参照)。T字型ハンドルまたは運搬用ブラケットを取り付ける際はネジを締め付けすぎないようにしてください。

ステージM150XY/Mを運搬する際は、運搬用ブラケットとT字型ハンドルを使用し、ステージは水平(XY軸)方向に保持してください。 ステージは垂直(Z軸)方向への移動や取付け用には設計されていません。

Top view of the M150XY(/M) stage with tranport brackets and T-shaped handles installed.
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ステージM150XY/Mを上から見た図。運搬用ブラケットとT字型ハンドルが取り付けられています。
M150XY(/M) stage transport handle.
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ステージM150XY上の運搬用ブラケットとT字型ハンドル。赤い点線は、運搬用ブラケットにT字型ハンドルを挿入してステージ上部に固定するための穴を示しています。穴の位置はミリ規格インチ規格ステージともに同じで、どちらもM6 x 1.0 mmのネジを使用します。
M150XY stage transport bracket.
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付属の運搬用ブラケットを取り付けたステージM150XYを上から見た図。1/4"-20皿頭六角ソケットネジをステージ上部の対応する1/4"-20タップ穴に使用して、運搬用ブラケットの位置を固定しています。
M150XY/M stage transport bracket.
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付属の運搬用ブラケットを取り付けたステージM150XY/Mを上から見た図。M6 x 1.0 mm皿頭六角ソケットネジをステージ上部の対応するM6 x 1.0 mmタップ穴に使用して、運搬用ブラケットの位置を固定しています。

各軸には、BBD30xシリーズコントローラを接続するための15ピンD型コネクタと8ピンDIN型コネクタが付いています。X軸ケーブルの長さは2970.0 mm、Y軸ケーブルの長さは2700.0 mmとなっています。これは、ステージの動作中にワイヤが巻き込まれる可能性を最小限に抑えるためにステージ内部で使用されているダクトによるものです。

15-Pin DB-Type Feedback Connector Diagram.
15ピンD型(オス)
エンコーダーフィードバックコネクタ
PinDescriptionPinDescription
1Not Connected9Ground
2Ground10Limit Switch +
3Not Connected11Limit Switch -
4Enc Index -12Enc Index +
5QB -13QB +
6QA -14QA +
7a5 V15Not Connected
8a5 V 
  • 7と8は内部短絡
8-Pin DIN Type Connector
8ピンDIN型(オス)
モータードライブコネクタ
PinDescriptionPinDescription
1Motor Phase B5Stage ID
2GND6Enable
3aUnused (Motor Phase D)7Motor Phase C
4Motor Phase A8a+5 V
  • 3と8の信号はブラシレスコントローラでは使用されていません。

Note: The M150XY(/M) brushless DC motor driven XY stage is designed to be operated using a BBD30x series controller, which can be controlled by a PC running Thorlabs' Kinesis software. Alternatively, Thorlabs' legacy APT software package may be used if desired.


ソフトウェア

Kinesisバージョン1.14.50

このKinesisソフトウェアパッケージには、当社のKinesisシステムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております。

  • 通信プロトコル
Software Download
Kinesis Software
KinesisソフトウェアのGUI画面

当社のKinesis®ソフトウェアパッケージを用いて、当社の様々なモーションコントローラを駆動することができます。このソフトウェアは小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-Cubes™など)から、高出力でマルチチャンネルのベンチトップ型ユニットやモジュール型の19インチラックナノポジショニングシステム(ラックシステムMMR60x)まで、当社Kinesisシリーズの様々なモーションコントローラの制御用にご使用いただけます。

Kinesisソフトウェアでは.NETコントロールを使用できるため、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™、あるいはその他の.NET対応言語を使用してカスタムプログラムを作成することができます。.NETフレームワークの使用を想定していないアプリケーションのために、ローレベルのDLLライブラリも含まれています。また、APIは各インストールに含まれています。中央シーケンスマネージャ(Central Sequence Manager)は、当社のすべてのモーションコントロール用ハードウェアの統合と同期の機能をサポートしています。

この共通のソフトウェアプラットフォームにより、ユーザは単一のソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるモーションコントロールデバイスを1つのアプリケーション内で組み合わせて使用することができます。このように1軸システム用から多軸システム用までのあらゆるコントローラを組み合わせ、それら全てを1台のPCの統合されたソフトウェアインターフェイスから制御できます。

このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、コントローラの到着後すぐに直接的な操作と制御を行なうことができます。もう1つは一連のプログラミングインターフェイスを用いる方法で、ご希望の開発言語によりカスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムを簡単に作成することができます。

APTソフトウェア
一部の製品はAPT™ソフトウェアパッケージでも操作が可能です。ソフトウェアに関する情報は、赤いアイコン(Docs Icon)内の資料に記載されています。APTソフトウェアの詳細については、こちらを参照してください。

Kinesis®ソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。

C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。

Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。

C Sharp IconClick Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide
Click Here for C# Example Projects
Click Here for Quick Start Device Control Examples
C Sharp Icon

LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisまたはAPTベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内KinesisまたはAPT駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。

Labview IconClick Here to View the LabVIEW Guide
Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page
Labview Icon

Posted Comments:
Manuel V.  (posted 2024-10-03 08:06:53.72)
Can each axis be controlled with KBD101 K-Cube Brushless DC Servo Motor Controllers? I'm asking this since we have already some of those controllers and we would like to improve our current setup with the XY configuration. Thanks
do'neill  (posted 2024-10-08 10:01:22.0)
Thank you for reaching out. The M150XY(/M) can not be controlled by the KBD101, it requires either the BBD30X benchtop controller, RBD201 Rack mounted controller, or MMR60X and MBD602 rack system to control this stage. I will email you directly to discuss your application.
user  (posted 2023-10-06 16:41:09.463)
We like to use it to mount a cryostat, but there are metal hose connections to it. May I know what is the maximum drag force (from the hoses to our cryostat) can the stage withstands?
do'neill  (posted 2023-10-30 06:27:42.0)
Response from Daniel at Thorlabs. I will reach out to you directly to discuss your application as this will depend on exactly what you are trying to do, for example, which axis you will be looking at, the speed you are driving it, etc.
user  (posted 2023-09-11 08:21:27.41)
2" or 3" versions, ideally vacuum compatible, would be very useful in confined spaces. Keeping total system cost under $10k would make it easier for some groups to purchase (stage + controller + joystick).

電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PDXZ1 Closed-Loop
4.5 mm Vertical Stage
ORIC®
PD2 Open-Loop
5 mm Stage
ORIC®
PDX2 Closed-Loop
5 mm Stage
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Travel4.5 mm5 mm
Speed1 mm/s (Typ.)a10 mm/s (Typ. Max)b8 mm/s (Typ.)c
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
45.0 mm x 42.0 mm13 mm x 13 mm
Additional Details
  • この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PD1 Open-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD1D Open-Loop
20 mm Monolithic XY Stage
ORIC®
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD3 Open-Loop
50 mm Stage
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Travel20 mm50 mm
Speed3 mm/s (Typ. Max)a20 mm/s (Typ. Max)b10 mm/sc
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
30 mm x 30 mm80 mm x 30 mm
Additional Details
  • コントローラK-Cube KIM101使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™
20 µm Stage
with 5 mm Actuator
Nanoflex™
25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator
Elliptec® 28 mm Stage Elliptec® 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity-180 mm/s90 mm/s-
Drive TypePiezo with Manual ActuatorResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXZ
Mounting Surface Size75 mm x 75 mm30 mm x 30 mm15 mm x 15 mm21 mm x 21 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product FamilyPLSX with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
LNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
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Travel1"25 mm50 mm
Maximum Velocity7.0 mm/s2.0 mm/s50 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XYX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
3" x 3"60 mm x 60 mm100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product FamilyNRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ250
50 mm Vertical Stage
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Travel100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZZ
Mounting
Surface Size
84 mm x 84 mm100 mm x 90 mm148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages
PT Series
25 mm Stages
MTS Series
25 mm Stage
MTS Series
50 mm Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm50 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.4 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
61 mm x 61 mm101.6 mm x 76.2 mm43 mm x 43 mm
Additional Details
DC Servo Motor Stages
Product FamilyM30 Series
30 mm Stage
M30 Series
30 mm Monolithic
XY Stage
M150 Series
150 mm XY Stage
KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel30 mm150 mm30 mm
Maximum Velocity2.4 mm/sX-Axis: 170 mm/s
Y-Axis: 230 mm/s
8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, ZXY, XZXYZ
Mounting
Surface Size
115 mm x 115 mm272.4 mm x 272.4 mm 116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage
DDS Series
100 mm Stage
DDS Series
220 mm Stage
DDS Series
300 mm Stage
DDS Series
600 mm Stage
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Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Mounting Surface Size60 mm x 52 mm88 mm x 88 mm120 mm x 120 mm
Additional Details
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ブラシレスDCモータ駆動XYステージ

M150XY stage with MAX601D Mounted On Top
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型番数量Description
M150XY1150 mmブラシレスDCモータ駆動XY移動ステージ(インチ規格)
MAX601D1NanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向(インチ規格)
SH25S07511/4"-20ステンレススチール製キャップスクリュ、長さ3/4インチ、25個入り(インチ規格)
W25S05011/4インチワッシャ、M6対応、ステンレススチール製、100個入り
View Metric Product List
型番数量Description
M150XY/M1150 mmブラシレスDCモータ駆動XY移動ステージ(ミリ規格)
MAX601D/M1NanoMax 6軸ステージ、差動アジャスタ付き、右手方向(ミリ規格)
SH6MS201M6 x 1.0ステンレススチール製キャップスクリュ、長さ20 mm、25個入り(ミリ規格)
W25S05011/4インチワッシャ、M6対応、ステンレススチール製、100個入り
精密なファイバーアライメント用に6軸ステージNanoMax MAX601Dを取り付けたステージM150XY(/M)
  • XY軸両方向に150 mmの移動が可能
  • 最大移動速度:
    • X軸: 170 mm/s
    • Y軸: 230 mm/s
  • 最小ステップは100 nmです。
  • 双方向再現性:±0.25 µm
  • Kinesisソフトウェアパッケージを使用した制御

当社のブラシレスDCモータ駆動XYステージM150XY/Mは、XおよびY軸両方向に最大150 mmで精密かつ安定に移動し、高い再現性を実現します。大型の272.4 mm x 272.4 mmステージには、117個のM6 x 1.0 mmタップ穴が250 mm x 250 mmの格子位置に25.0 mm間隔で開いています。ステージM150XY/Mは、最大10 kgまでの荷重を搭載可能で、X軸方向に最大170 mm/s、Y軸方向に最大230 mm/sで移動できます。XYステージM150XY/Mは、2つの1軸ステージに分解することはできません。

2セットの15ピンD型および8ピンDINコネクターケーブルがあるため、BBD30xシリーズコントローラに接続して、ステージM150XY/Mの各軸を独立に制御できます。ステージをBBD30xシリーズコントローラに接続すると、8ピンDIN型コネクタのEEPROM内に保存されている初期設定が、スタートアップ時にコントローラにロードされます。ステージM150XY/Mには当社のすべてのBBD30xシリーズのブラシレスDC モーターコントローラをご使用いただけますが、コンパクトな設置面積で両軸を制御可能な2チャンネルコントローラBBD302をお勧めします。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
M150XY Support Documentation
M150XY150 mmブラシレスDCモータ駆動XY移動ステージ(インチ規格)
¥1,285,608
Lead Time
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
M150XY/M Support Documentation
M150XY/M150 mmブラシレスDCモータ駆動XY移動ステージ(ミリ規格)
¥1,285,608
Lead Time
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ブラシレスDCモーターコントローラおよびジョイスティック

  • BBD302:ステージM150XY/M用として推奨される2チャンネルコントローラ
  • MJC2: 2軸遠隔制御用ジョイスティック

ステージM150XY/Mの駆動用として、2チャンネルブラシレスDCサーボコントローラBBD302を推奨しています。こちらのコントローラは、2軸を同時に制御でき、自由に設定可能なS字加減速により、振動や衝撃の無い高速でスムーズな位置決めが可能です。また、高速(数百mm/s)で高いエンコーダ分解能が求められる動作の制御にも適しています。当社のKinesis®ソフトウェアーインターフェイスを使用してコントローラを操作し、自動モーションコントロール用途に簡単に組み込むことができます。柔軟性をより高くするため、PCとの通信にはコントローラのUSBまたはRS232インターフェイスをご使用いいただけます。

コントローラにはソフトウェア開発キット(SDK)が付属し、他の顕微鏡自動制御アクセサリとステージ操作を連動させたい場合に役に立ちます。SDKは、Windowsの主な開発環境(LabVIEW、C++、MATLAB等)をサポートし、標準的なDynamic Link Library(DLL)で提供されます。ブラシレスDCモーターコントローラBBD30xの詳細は、こちらでご覧いただけます。

ジョイスティックMJC2は、ステージM150XY/MのXY両軸の位置を、手動で正確にリモート制御する必要がある用途にご使用いただけます。ほとんどの用途では、BBDシリーズコントローラにデフォルト値として保存されたパラメータの設定が利用できるので、ユーザ自身による設定が不要です。これによりホストPCに接続する必要がない真のリモート操作が実現できます。ジョイスティックMJC2は当社のベンチトップ型ブラシレスコントローララックマウント型ブラシレスコントローラステッピングモータ用コントローラに対応しています。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
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