4.5 mm垂直移動ステージ(リニアステージ)ORIC®、ピエゾ慣性アクチュエーター付き


  • 4.5 mm Vertical Travel Stage with Open- or Closed-Loop Positioning
  • Versatile Design for Easy Configuration with Other Setups
  • 1 kg Vertical Load Capacity

PDXZ1

4.5 mm Vertical Travel
Piezo Inertia Stage
with Optical Encoder

Application Idea

PD1D 20 mm Travel XY Stage and
PDXZ1 Vertical Stage in XYZ Configuration

 

U.S. Patent 11,606,045

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ORIC® Piezo Inertia Stage Selection Guide
4.5 mm Vertical Translation Stage
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Vacuum-Compatible Stages

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回転ステージPDR1(/M)を垂直移動ステージPDXZ1(/M)に取り付けて構築されたAZ + R移動ステージ
ORIC Webinar

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ステージPDXZ1/Mの高さを最小にしたときの側面

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ステージPDXZ1/Mの高さを最大にしたときの側面

特長

  • ピエゾ慣性アクチュエータが付いた小型のステンレススチール製ステージ
  • 高分解能での相対位置決めを求められる組み込み用(OEM用)や位置保持用などに適した製品
  • 下記のアクセサリを別売りでご用意
    • ステージ取付け時にフラットな面を提供する汎用の取付けアダプタ
    • 異なる取付け穴パターンを付加するためのアダプタープレート
    • ピエゾ慣性ステージ用コントローラ(必須)

ピエゾ慣性アクチュエータ付きステージ(U.S. Patent 11,606,045)のORIC® PDXZ1/Mは、コンパクトなパッケージながら、ピエゾ制御により高速で安定した垂直移動をバックラッシュなしで行うことができます。ステージPDXZ1/Mには光学式エンコーダが内蔵されており、開ループでも閉ループでも動作可能です。このピエゾ慣性アクチュエータは、ステージが静止してピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、ナノメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。このステージは、1kgの負荷を搭載し、1 mm/sの典型的なステップ速度で、長時間の連続的なステップモードや周期的位置決めモードで駆動することができます。また保持モードで使用することもでき、そのときのクランプ/保持力は20Nです。

負荷の取付け
ステージへの負荷の取り付けは、上部プラットフォームの様々なネジ穴(M2 x 0.4、M4 x 0.7、M6 x 1.0)を用いて行います。ステージPDXZ1/Mには#4-40タップ穴とM3 x 0.5タップ穴の両方があり、それらも取付けに利用できます(詳細は「仕様」タブをご覧ください)。PDXZ1/Mの底部プレートには、ステージ本体を取り付けて固定するためのM2ザグリ穴とM2 x 0.4タップ穴がそれぞれ4つずつあります。そのほか、ステージの上部プレートにアダプタープレートのPD1T/MPD1U/M(どちらも別売り)を取り付けて、異なる取付け穴パターンを利用することもできます。Ø2 mm位置決めピン用に配列された穴(深さ1.5 mm)は、負荷を取り付ける際のアライメントにも利用可能です。当社では交換用の位置決めピン(20本セット)もご用意しております(下記参照)。なお、位置決めピンを穴に取り付けるときは、穴の最大挿入深さを超えないようにご注意ください。ピンが穴から突き出ているとステージが損傷する場合があります。詳細は「仕様」タブをご覧になるか、下の赤いアイコン()をクリックして資料をご覧ください。

ステージの取付け
ステージ取付け用のザグリ穴は、可動プレートを可動範囲の末端まで移動させるとアクセスできるようになります。ステージは2本のM2 x 0.4ネジ(付属しています)でコーナーを固定することで取り付けられます。その際の推奨トルクは0.35 N·mです。当社では、特定のトルクで締め付けるためのトルクドライバTD75をご用意しております。

ステージは平らな面(平面度≤5 μmを推奨)に取り付ける必要があります。このステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージの速度変動やピッチ・ロールに関する仕様を満たすためには取付けトルクを緩める必要が生じる場合があります。テーブル面に取り付ける際、必要であれば精度の高い平面度を有する取付けアダプタPD1B3/Mを使用することで、ステージが歪曲するのを防止できます。

ステージPDXZ1/MにアダプタPD1B3/Mを取り付けると、そのアダプタを用いてPDXZ1/Mを25 mm移動ステージLX10/Mや30 mm電動XY移動ステージM30XY/Mなど、他の手動型電動型のステージに取り付けられるようになります。

他のORICステージとの組合せ
ステージPDXZ1/MをORICシリーズ回転ステージと組み合わせて、垂直移動と回転が必要なアプリケーションに利用できます。右にその構成例を示します。さらにステージ上部の取付け穴を使用して、ステージにPD1/MPD1D/MPDX1/Mを始めとする当社の様々なORIC直線移動ステージ(リニアステージ)を取付けることができます。こちらのステージと組み合わせてご利用いただけるORICステージや製品については「仕様」タブをご覧ください。

専用コントローラ
こちらのステージを駆動するには当社のピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラPDXCまたはPDXC2が必要です。一般的なピエゾコントローラでは、ピエゾ慣性アクチュエータを駆動することはできませんのでご注意ください。

Inertia Motor Operation
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ピエゾ慣性アクチュエータの動作の概略図
Inertia Motor Operation
「スティック-スリップ」のサイクルは、ピエゾが緩やかに伸びるプロセスと、急速に縮むプロセスから構成されています。

ピエゾ慣性「スティック-スリップ」モータ

ピエゾ慣性モータは、フレクシャ機構と結合したピエゾアクチュエータ、摩擦要素、およびスライダ(可動プラットフォーム)の3つの主要パーツから構成されています。「スティック」の期間では、ピエゾはランプ関数の電圧波形に従って緩やかに伸び、摩擦要素とスライダを同時に前方に押します。「スリップ」の期間では、駆動電圧が急速に低下するのに合わせて、ピエゾ素子は摩擦要素を後方に「スリップ」させながら最初の長さに戻ります。この時、スライダの慣性が十分大きく、一方で摩擦要素とスライダ底部の間の動摩擦係数が十分小さいため、スライダは動きません。右のグラフは「スティック-スリップ」の1サイクルにおけるピエゾ駆動電圧を示しています。

このサイクルを繰り返すことにより、スライダは連続的に前方に移動します。逆方向へ移動させるには、ピエゾが急速に伸びて緩やかに縮む(すなわち「スリップ-スティック」)ための、逆の電圧パターンが必要です。動作中のステージではハイピッチのノイズが発生し、またある程度の熱が発生する場合があります。これはデバイスの正常な動作状態であり、故障ではありません。

使用条件やピエゾ素子のヒステリシス、コンポーネントのバラツキ、軸方向の負荷などの様々な要因によってステップサイズは変化し、また再現性もありません。この変化を解消するには、外部フィードバックシステムが必要になります。


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上部プレートPDXZ1(/M)の取付け機能 ミリ規格製品の寸法は括弧内に記載されています。
PDXZ1(/M) Stage Specifications
Driving ControllerPDXC or PDXC2 Benchtop Controller
Stage TypeVertical Translation stage with
Open- and Closed-Loop Piezo Inertia Drive
Travel4.5 mm (0.18")
Minimum Incremental Motiona100 nm
Step Size AdjustabilitybMinimum: 0.00001 mm
Maximum: 2.25 mm
Settling Time (Typical)400 ms
Maximum Step Frequency20 kHz
Speed
(Typical, Continuous Stepping)a
1 mm/s
Average Speed Variation
Over Travel Rangea
±2%
Optical Encoder Resolution12.5 nm
Bidirectional Repeatability±0.75 µm
Absolute Accuracy±2.5 µm
Vertical Load Capacityc1 kg (2.2 lbs)
Clamping / Holding Force20 N
Pitch / Roll Over Travel Range200 µrad
Lifetimed≥1.25 km
Piezo Specifications
Max Operating Voltage60 V
Piezo Capacitance170 nF
Physical Specifications
Operating Temperature10 to 40 °C
Cable Lengthe1.5 m (59") Cable Included
Connector Type15-Pin D-SUB Female
Dimensions (L x W x H)45.0 mm x 42.2 mm x 28.0 mm
(1.77" x 1.66" x 1.10")
End Range Dimensions (L x W)45.0 mm x 58.5 mm (1.77" x 2.30")
Weight (Including Cable)310 g (10.94 oz)
  • この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
  • このパラメータはコントローラによって設定されるため、ステージ固有の性能仕様ではありません。
  • 軸方向/移動方向のプッシュ/プル力(10 N)に相当します。
  • 垂直移動量は1.25 kmです(水平移動量では25 kmに相当します)。
  • 長さ3 mの延長ケーブルPDXCEを使用すると、ケーブルの全長は4.5 mになります。ケーブルの静電容量により、ケーブルの全長は4.5 mを超えないようにご注意ください。
  • ステージは相対湿度40%未満の室温で保管してください。
Products Compatible with PDXZ1(/M) Mounting Holes
Hole DefinitionCompatible Product Item #
4-40, 2.9 mm (0.16") DeepPDR1(/M), PDR1V(/M), ER-Series Cage Rods
2-56 (M2 x 0.4), 0.10" (2.5 mm) DeepPD1(/M), PD1D(/M), PDX1(/M), PDR1C(/M), PD1V(/M), PD1T(/M), PD1U(/M), PD1Z(/M)
8-32 (M4 x 0.7), 0.14" (3.5 mm) DeepPD1(/M), PD1V(/M), PDX1(/M), PD1B(/M)
M3 x 0.5, 0.14" (3.5 mm) DeepMMP1(/M), AMA011(/M), RB13P1(/M)
1/4"-20 (M6 x 1.0) 0.16" (4.0 mm) Deep-
Ø2 mm Dowel Pin Holes, 1.5 mm (0.06") DeepPD1(/M), PDX1(/M), PD1D(/M), PD1V(/M), PD1P1

ステージPDXZ1/M

D-Sub 15ピン メス型

D-SUB 15

D-Sub 15ピンのピン割り当て

Pin(s)Voltage RangeNameDescription
1-7.5 to +12.5 VEncoder_B_NEncoder B-
2-7.5 to +12.5 VEncoder_B_PEncoder B+
30 VGNDDigital Ground
4-7.5 to +12.5 VEncoder_A_NEncoder A-
5-7.5 to +12.5 VEncoder_A_PEncoder A+
6--Reserved
7--Reserved
8+5 V+5 V5 V Power
9-7.5 to +12.5 VEncoder_Z_NEncoder Z-
10-7.5 to +12.5 VEncoder_Z_PEncoder Z+
11--Reserved
120 VPGNDPower Ground
13-10 to +50 VSigOut1Piezo Output
145 V TTLEEPROM1-Wire EEPROM
15--Reserved

注:このソフトウェアは、コントローラPDXCのみに対応します。コントローラPDXC2、KIM001およびKIM101にはご使用いただけません。

ソフトウェア

PDXCバージョン2.0.0

ソフトウェアパッケージPDXCには、GUI、ドライバ、およびサードパーティ開発用のLabVIEW™/C++/Python SDKが含まれています。

Software Download

当社では、ピエゾステージ用コントローラPDXCを制御するためのPDXCソフトウェアパッケージをご用意しています。このコントローラは下記のピエゾ慣性アクチュエータ付きステージの駆動用に設計されています。

  • 光学式エンコーダ付き4.5 mm垂直移動ステージPDXZ1/M
  • 5 mm直線移動ステージPD2/M
  • 光学式エンコーダ付き5 mm直線移動ステージPDX2/M
  • 20 mm直線移動ステージPD1/M
  • 真空対応20 mm直線移動ステージPD1V/M
  • 20 mm XY移動モノリシックステージPD1D/M
  • 光学式エンコーダ付き20 mm直線移動ステージPDX1/M
  • 50 mm直線移動ステージPD3/M
  • 回転ステージPDR1C/M
  • 光学式エンコーダ付き回転ステージPDXR1/M

このソフトウェアパッケージには2つの使い方があります。1つはGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを用いる方法で、コントローラの直接的な操作や制御をすぐに行なうことができます。もう1つはサードパーティ開発用の一連のプログラミングインターフェイス(LabVIEW™/C++/Python SDK)を用いる方法で、カスタム仕様の位置決めやアライメント用のプログラムをご希望の開発言語で簡単に作成することができます。

注:このソフトウェアはコントローラPDXC2、KIM001およびKIM101に対応しています。コントローラPDXCの操作にはご使用いただけません。コントローラPDXC2はKinesis®ソフトウェアのみに対応しており、APT™ソフトウェアパッケージはご使用いただけません。

当社では幅広い種類のモーションコントローラを駆動できるよう、Kinesis® ソフトウェアパッケージと従来のAPT™(Advanced Positioning Technology)ソフトウェアパッケージの2種類のプラットフォームをご用意しております。どちらのパッケージも小型で低出力のシングルチャンネルドライバ(K-Cube™やT-Cube™など)から高出力でマルチチャンネルのモジュール式19インチラックナノポジショニングシステム(APTラックシステム)まで幅広い種類のモーションコントローラをカバーするKinesisシリーズのデバイスを制御できます。

Kinesisソフトウェアには、最新のC#、Visual Basic、LabVIEW™またはその他の.NETに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、.NETコントロールが付属しています。また、.NETフレームワークを使用しない用途向けに低級言語用のDLLライブラリも付いています。センターシーケンスマネージャが、当社の全てのモーションコントロールハードウェアの統合と同期をサポートします。

Kinesis Software
KinesisのGUIスクリーン
APT Software
APTのGUIスクリーン

当社従来のAPTシステムソフトウェアプラットフォームは、C#、Visual Basic、LabVIEWまたはその他のActive-Xに対応する言語を使用してカスタムプログラムを作成するサードパーティの開発者向けに、ActiveXをベースとしたコントロールが付属しています。また、ハードウェア無しでカスタムプログラムの開発を行うためのシミュレーターモードも付いています。

これらの共通のソフトウェアプラットフォームにより、あらゆるKinesisとAPTコントローラをシングルアプリケーションに簡単に組み込むことができます。ソフトウェアツールは1セット習得するだけで共通した操作が可能です。シングルチャンネルシステムからマルチチャンネルシステムまで、あらゆるコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが実現可能です。

このソフトウェアパッケージを使用するには2つの手段があります。GUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティを使用したコントローラとの直接対話ならびに「out of the box」コントロール、またはご選択の開発言語でカスタム統合の位置決めやアライメントソリューションを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

APTシステムソフトウェアをよりご理解いただけるために様々なチュートリアルビデオもご用意しております。ビデオではソフトウェアの概要とAPT Configユーティリティをご説明しています。また、ソフトウェアのシミュレーターモードを利用すると、コントローラを接続しないでソフトウェアを試すことができます。その方法を説明したビデオもあります。これらのビデオは「APTチュートリアル」タブ内のリンクからご覧いただけます。

ソフトウェア

Kinesis バージョン 1.14.47

このKinesisソフトウェアパッケージには、当社のKinesisならびにAPT™システムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

ソフトウェア

APT バージョン 3.21.6

このAPTソフトウェアパッケージには、当社のAPT™およびKinesisシステムコントローラを制御するためのGUIが含まれています。

下記もご用意しております:

  • 通信プロトコル
Software Download

Kinesis®ソフトウェアでは新しい.NETコントロールが使用でき、最新の最新のC#, Visual Basic, LabVIEW™、ほかの.NET対応言語を使用する開発者がカスタムにプログラムを作成することもできます。

C#
このプログラミング言語はマルチプログラミングパラダイムやマルチプログラミング言語が使用可能となるよう設計されているため、複雑な問題が簡単かつ効率的に解決できます。型付け、命令型、宣言型、関数型、ジェネリック、オブジェクト指向、そしてコンポーネント指向が含まれます。 この共通のソフトウェアプラットフォームにより、1セットのソフトウェアツールを習得するだけで、あらゆるKinesisコントローラを簡単に組み合わせることができます。このようにして1軸システムのコントローラから多軸システムのコントローラまで、様々なコントローラを組み合わせ、全てを1台のPCのソフトウェアインターフェイスから制御することが可能となりました。

Kinesisシステムソフトウェアを使用するには2つの手段があります。コントローラを直接つないで制御を行なう付属のGUI(グラフィカルユーザーインターフェイス)ユーティリティ、またはご希望の開発言語でカスタム仕様の位置決めやアライメントを簡単にプログラムできる一連のプログラミングインターフェイスです。

Kinesisモーションコントロールライブラリの構築の参考となる実行可能なプロジェクト機能拡張例については下のリンクをクリックしてください。なお、Quick Startのプロジェクト例の実行には別の統合開発環境(IDE)(Microsoft Visual Studioなど)が必要です。C#のプロジェクト例はKinesisソフトウェアパッケージに付属する.NETコントロールで実行可能です(詳細は「Kinesisソフトウェア」タブをご覧ください)。

C Sharp IconClick Here for the Kinesis with C# Quick Start Guide
Click Here for C# Example Projects
Click Here for Quick Start Device Control Examples
C Sharp Icon

LabVIEW
LabVIEWは、.Netコントロールを介してKinesisまたはAPTベースのコントローラとの通信に使用できます。LabVIEWでは、ツールとオブジェクトでフロントパネルとして知られるユーザーインターフェイスを構築した後、グラフィカル表記の関数を使ってコードを追加し、フロントパネルのオブジェクトを制御します。下記のLabVIEWチュートリアルでは.Netコントロールを使用してLabVIEW内KinesisまたはAPT駆動デバイス用の制御GUIを作成するための情報をご提供しています。 LabVIEWでコントローラを制御する基本的な方法や、LabVIEW GUIを用いてデバイスを操作する前に行うべき設定の手順についても解説しています。

Labview IconClick Here to View the LabVIEW Guide
Click Here to View the Kinesis with LabVIEW Overview Page
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仕様の性能を得るために

このアプリケーションノートでは、K-Cube™コントローラKIM001またはKIM101を用いて開ループ方式のORIC®直線移動ステージPD1/MとPD1D/M、および回転ステージPDR1/Mを使用するときに、仕様に示された速度とステップサイズを実現する方法をご説明いたします。下記ではKinesis®ソフトウェアのコントロールおよびK-Cubeの前面パネルの制御装置を用いた例をご紹介しています。開ループシステムを使用するには様々な制限があり、このアプリケーションノートは速度とステップサイズの変動を最小限に抑えるうえでお役に立てるように作成しました。初期設定時のほか、速度やステップサイズに変動が生じる場合には、こちらのアプリケーションノートをご利用いただくことをお勧めいたします。設定の変更方法の詳細については、各ステージやコントローラのマニュアルをご覧ください。



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図2:ステージPD(R)シリーズには推奨されるチャンネル設定があります。設定はDevice Settings -> Current Device Settings-> Channel 1で変更できます。

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図1:ORICステージを制御する時には、ステージタイプをPD(R)に変更する必要があります。これはKinesis Softwareの Device Settings -> Startupで変更できます。

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図4:黒線で丸く囲まれているJogモードはContinuousに設定する必要があります。これはDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更が可能です。

図3:黒線で囲まれた部分はデバイスGUIにあるジョグボタンです。

K-CubeコントローラとKinesisソフトウェアのコントロール

Kinesisソフトウェアのステージタイプの初期設定はPIAになっており、ORICステージには適用できません。そのため、初期設定を変更する必要があります。初期設定は、まずデバイスのGUIパネルのDevice Settingsにアクセスし、Startupタブをクリックします。ConfigurationタブでステージタイプをPD(R)に変更し、右下のPersist Settings to the Deviceのボックスにチェックを入れ、左下のSaveボタンをクリックします。それらの選択は図1に丸で示しています。これらの設定により、KinesisソフトウェアはPD(R)のステージタイプ用として使用できます。他のデバイスやチャンネルの設定も、このStartupで変更可能です。 

ステージタイプPD(R)を用いて仕様の速度、速度変化、力を得るためには、特定のチャンネル設定を行うことを推奨します。これらの設定は図2に示すようにDevice SettingsのChannel 1のタブで変更できます。設定は黒線で囲まれたDriveボックス、および青線で囲まれたJogボックスで行います。

Driveボックスでは、Maximum Voltageを85 V、Rateを2000 steps/s、Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。Jogボックスでは、Forward Sizeを250 Steps、Reverse Sizeを250 Steps、ModeをContinuous、Step Rateを2000 Steps/s、Step Accelerationを10000 Steps/s2に設定することを推奨します。仕様性能を実現するには、ステージを平坦な面、当社が推奨する取付けプレート、または対応するアダプタープレートなどに適切に取り付けることが重要です。

1000 steps/sのStep Rateよりも速い連続ジョグは、図3の黒線で囲まれたデバイスGUIのJogボタンを使用したときにのみ可能です。K-CubeコントローラKIM101のジョイスティックまたはKIM001のホイールを使用したときの連続ジョグ動作は、1000 step/s以下に制限されます。ジョイスティックまたはホイールを使用するとき、シングルステップ動作あるいはカウントによる動作を行う場合は1000 step/sの制限はありません。 

KinesisソフトウェアのJogモードをContinuousまたはSingleに変更したとき、図3の黒線で囲まれたKinesis GUIのJogボタンにのみ影響を与えます。コントローラKIM001またはKIM101の前面パネルのJoystickのモードは変更しません。KinesisソフトウェアのJogモード設定は、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス -> Mode(図4参照)で行います。詳細については下記の前面パネルの制御装置のセクションでもご覧いただけます。






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図6:KinesisソフトウェアデバイスGUIのDevice SettingsにおけるDeviceタブ。Maximum Step Rate設定は青線で囲まれています。連続Jogモードでジョイスティックを使用する場合、設定は1000 steps/s未満でなければなりません。KinesisのJoystickモードは黒線で囲まれたドロップダウンメニューから選択できます。

図5:K-CubeコントローラKIM101の前面パネルに表示されるオプション5のJoystickモード

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図8:KinesisソフトウェアのStep Size変更画面。Forward SizeおよびReverse Sizeの設定を変更します。またMode設定はGUIのJogボタンのコントロールにのみ影響し、Joystickモードには影響しません。

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図7:駆動速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Current -> Channel 1で変更できます。これは前面パネルにおけるメニューオプション3のSet Velocityに相当します。

KIMx01の前面パネルの制御装置とそれに関連する設定

前面パネルの制御メニューには10個のオプションがあります。K-CubeコントローラKIM101の2つのボタンとジョイスティック、またはK-CubeコントローラKIM001のボタンとホイールでアクセスできます。

オプション5のJoystickモード(図5参照)にはJog to Count、 Jogging in Steps、Velocity Controlの3つのモードがあります。KinesisソフトウェアのJoystickモードは前面パネルのオプション5、Joystickモードに関連しています。KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードには、Step Rate、Jog、Goto Positionの3つのオプションがあります。この設定は図6に黒線で囲んで示されています。

Jog to Countモードでは、ステージをターゲットとするカウント(初期設定は0)の位置まで、前面パネルのオプション3のSet Velocityで設定された速度で移動させます。オプション3のSet Velocityでは、ステージがオプション5のJog to Countモードおよびオプション1のGoto Pos Countにおいて移動する速度を設定します。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Driveボックス -> Rateに相当する設定があります。これは図7でご覧いただけます。

Jogging in Stepsモードでは、オプション3のSet Velocityによってステージの速度は変わりません。このモードでの速度はKinesisソフトウェアで変更する必要があります。その設定はDevice Settings -> Channel 1-> Jogボックス ->Step Rateで変更できます。ステージの速度を上げようとするときに、Step Rateを変更する代わりにStep Sizeを変更することもできます。Step Sizeは、KIMコントローラの前面パネルでは、オプション4のJog Step Sizeで変更できます。Kinesisソフトウェアでは、Device Settings -> Channel 1 -> Jogボックス -> Forward SizeおよびReverse Sizeで変更できます(図8参照)。

オプション5のVelocity Controlモードではジョイスティックを使用して連続ジョグができますが、速度は1000 step/s未満でなければなりません。この速度は前面パネルのオプション3では変更できません。この速度はKinesisソフトウェアのDevice Settings -> Device -> Maximum Step Rateでのみ変更可能です(図6参照)。初期設定で10000という数値が表示される場合がありますが、この値はソフトウェアでは許容されません。数値を1~1000の間に変更する必要があります。

KinesisソフトウェアにおけるJoystickモードのStep Rateは、前面パネルのVelocity Controlモードに関連しており、Maximum Step Rateの設定にご使用いただけます。Direction Senseはジョイスティックまたはホイールを使用するときの移動方向の変更に使用できます。 


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電動リニアステージ

電動の直線移動ステージとしては、ピエゾ駆動の20 µm移動ステージからダイレクトドライブ方式の600 mm移動ステージまで、様々な最大移動量の製品をご用意しております。ステージの多くは、それらを用いてXY軸やXYZ軸などの多軸ステージを構築することができます。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の電動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかに、電動の回転ステージおよびゴニオステージもご用意しております。また手動移動ステージもございます。

ピエゾステージ

これらのステージでは、様々な駆動機構にピエゾ素子が組み込まれています。ステージORIC®シリーズでは、「スティック-スリップ」と呼ばれる摩擦特性を利用したピエゾ慣性アクチュエータが用いられており、それにより長い移動距離が得られています。移動ステージNanoflex™シリーズは、手動アクチュエータに加えて標準的なピエゾアクチュエータが用いられています。ステージElliptec®シリーズでは共振ピエゾモータが用いられており、共振に伴うモータ先端の楕円形の動きで可動プラットフォームを押したり引いたりします。Z軸ステージLPS710E/Mにはピエゾ移動に対する機械的な増幅機構が組み込まれており、またそれに適したコントローラが付属しています。

Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PDXZ1 Closed-Loop
4.5 mm Vertical Stage
ORIC®
PD2 Open-Loop
5 mm Stage
ORIC®
PDX2 Closed-Loop
5 mm Stage
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Travel4.5 mm5 mm
Speed1 mm/s (Typ.)a10 mm/s (Typ. Max)b8 mm/s (Typ.)c
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
45.0 mm x 42.0 mm13 mm x 13 mm
Additional Details
  • この仕様値は周波数20 kHzの閉ループモードで駆動したときの値です。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
Piezoelectric Stages
Product FamilyORIC®
PD1 Open-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD1D Open-Loop
20 mm Monolithic XY Stage
ORIC®
PDX1 Closed-Loop
20 mm Stage
ORIC®
PD3 Open-Loop
50 mm Stage
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Travel20 mm50 mm
Speed3 mm/s (Typ. Max)a20 mm/s (Typ. Max)b10 mm/sc
Drive TypePiezoelectric Inertia Drive
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXY, XYZX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
30 mm x 30 mm80 mm x 30 mm
Additional Details
  • コントローラK-Cube KIM101使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時
  • ベンチトップ型コントローラPDXCおよびPDXC2使用時。コントローラK-Cube KIM001またはKIM101で制御したときの性能については、移動ステージPD2/MまたはPD3/Mの「仕様」タブをご覧ください。
Piezoelectric Stages
Product FamilyNanoflex™
20 µm Stage
with 5 mm Actuator
Nanoflex™
25 µm Stage
with 1.5 mm Actuator
Elliptec® 28 mm Stage Elliptec® 60 mm StageLPS710E 1.1 mm Vertical Stage
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Travel20 µm + 5 mm Manual25 µm + 1.5 mm Manual28 mm60.0 mm1.1 mm
Maximum Velocity-180 mm/s90 mm/s-
Drive TypePiezo with Manual ActuatorResonant Piezoelectric MotorAmplified Piezo
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZXZ
Mounting Surface Size75 mm x 75 mm30 mm x 30 mm15 mm x 15 mm21 mm x 21 mm
Additional Details

ステッピングモーターステージ

こちらの移動ステージは脱着型あるいは内蔵型のステッピングモータを用いており、また300 mmまでの長い移動量が可能です。ステージの多くは多軸構成(PLSXY)や、多軸ステージ(PLSX、LNRシリーズ、NRTシリーズ、LTSシリーズ)への組み込みが可能です。ステージMLJ150/Mは高荷重にも対応する垂直移動ステージです。

Stepper Motor Stages
Product FamilyPLSX with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
PLSXY with and without PLST(/M) Top Plate
1" Stage
LNR Series
25 mm Stage
LNR Series
50 mm Stage
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Travel1"25 mm50 mm
Maximum Velocity7.0 mm/s2.0 mm/s50 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XYX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
3" x 3"60 mm x 60 mm100 mm x 100 mm
Additional Details

Stepper Motor Stages
Product FamilyNRT Series
100 mm Stage
NRT Series
150 mm Stage
LTS Series
150 mm Stage
LTS Series
300 mm Stage
MLJ250
50 mm Vertical Stage
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Travel100 mm150 mm150 mm300 mm50 mm
Maximum Velocity30 mm/s50 mm/s3.0 mm/s
Possible Axis
Configurations
X, XY, XYZX, XY, XYZZ
Mounting
Surface Size
84 mm x 84 mm100 mm x 90 mm148 mm x 131 mm
Additional Details

DCサーボモーターステージ

脱着型あるいは内蔵型のDCサーボモータを用いた直線移動ステージをご用意しております。これらのステージは薄型で、多軸ステージの構築が可能です。

DC Servo Motor Stages
Product FamilyMT Series
12 mm Stages
PT Series
25 mm Stages
MTS Series
25 mm Stage
MTS Series
50 mm Stage
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Travel12 mm25 mm25 mm50 mm
Maximum Velocity2.6 mm/s2.4 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XY, XYZX, XY, XYZ
Mounting
Surface Size
61 mm x 61 mm101.6 mm x 76.2 mm43 mm x 43 mm
Additional Details
DC Servo Motor Stages
Product FamilyM30 Series
30 mm Stage
M30 Series
30 mm Monolithic
XY Stage
M150 Series
150 mm XY Stage
KVS30
30 mm Vertical Stage
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Travel30 mm150 mm30 mm
Maximum Velocity2.4 mm/sX-Axis: 170 mm/s
Y-Axis: 230 mm/s
8.0 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, ZXY, XZXYZ
Mounting
Surface Size
115 mm x 115 mm272.4 mm x 272.4 mm 116.2 mm x 116.2 mm
Additional Details

ダイレクトドライブステージ

こちらの薄型ステージにはブラシレスDCサーボモータが内蔵されており、バックラッシュの無い高速移動が可能です。電源が入ってないときは、ステージのプラットフォームにはほとんど慣性が無く、実質的にフリーラン状態になります。そのため電源が入ってないときにステージのプラットフォームが定位置に留まる必要のある用途には適していません。これらのステージを垂直方向に取付けることは推奨しません。

Direct Drive Stages
Product FamilyDDS Series
50 mm Stage
DDS Series
100 mm Stage
DDS Series
220 mm Stage
DDS Series
300 mm Stage
DDS Series
600 mm Stage
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Travel50 mm100 mm220 mm300 mm600 mm
Maximum Velocity500 mm/s300 mm/s400 mm/s400 mm/s
Possible Axis ConfigurationsX, XYX, XYXX
Mounting Surface Size60 mm x 52 mm88 mm x 88 mm120 mm x 120 mm
Additional Details
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4.5 mm垂直移動ステージ、ピエゾ慣性アクチュエーターおよび光学式エンコーダー付き


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PDXZ1(/M)の上部プレートの取付け機能。ミリ規格製品の寸法は括弧内に記載されています。インチとミリの寸法が別記されていない場合は、両方の製品で共通する寸法になります。
  • 開ループおよび閉ループでの動作が可能
  • 光学式エンコーダによる分解能:12.5 nm
  • 連続的なステップ動作速度:1 mm/s(典型値)
  • D-Sub15ピンのメス型コネクタが付いた1.5 mのケーブル付き
  • ピエゾ慣性アクチュエータ用コントローラPDXCまたはPDXC2が別途必要(下記参照)

この光学式エンコーダが内蔵されたピエゾ慣性アクチュエータ付きORIC垂直移動ステージは、開ループおよび閉ループのどちらのモードでも使用することができます。垂直方向の最大許容負荷は1 kgで、その動作の正確さは±2.5 µmです。 このピエゾ慣性アクチュエータは、ステージの停止時やピエゾ素子に電源が供給されていない時には自動的にロックされるため、マイクロメートルレベルの分解能とアライメントの長期保持を共に要求される用途に適しています。仕様の詳細は「仕様」タブをご参照ください。

各ステージは、製造後にステージのピッチとロールの試験を行っています。これにより個々のステージが全移動範囲において仕様値を満たすことを保証しています。試験結果の概要は各ステージに添付される個別のデータシートに記載されています。サンプルデータシートはこちらからご覧いただけます。

ステージは平面度≤5 µmの面に設置してください。取付けアダプタPD1B3/M(下記参照)は精密な平面度の取付け面を有し、ステージを光学テーブルやブレッドボードに取付けるときに使用すると、ステージが湾曲するのを防ぐことができます。上部プレート用アダプタもご用意しており、下記の製品紹介からご購入いただけます。

各ステージには、コントローラPDXCまたはPDXC2に直接接続できるD-Sub15ピンコネクタの付いた、長さ1.5 mのケーブルが付いています。このケーブルを延長したい場合には、長さ3 mの延長ケーブルPDXCE(別売り、下記参照)をご使用いただけます。ステージとコントローラPDXCまたはPDXC2を接続するとき、ケーブルの静電容量により全長が4.5 mを超えるケーブルは使用できませんのでご注意ください。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXZ1 Support Documentation
PDXZ1NEW!4.5 mm垂直移動ステージORIC 、ピエゾ慣性アクチュエータおよび光学式エンコーダ付き(インチ規格)
¥342,500
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXZ1/M Support Documentation
PDXZ1/MNEW!4.5 mm垂直移動ステージ ORIC、ピエゾ慣性アクチュエータおよび光学式エンコーダ付き(ミリ規格)
¥342,500
7-10 Days
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汎用取付けアダプタ、ORICシリーズステージ用


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アダプタープレートPD1B3(/M)の外形図。各取付け穴(A~H)の説明は左表をご覧ください。 ミリ規格のアダプタープレートの寸法は括弧内に記載されています。

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アダプタPD1B3(/M)に取り付けられたステージPDXZ1(/M)
  • ORICシリーズステージの取付けに必要なフラットな面を提供
  • 不動態化処理されたステンレススチール製
  • テーブルやブレッドボードへの取付け時のステージの歪みを抑制
  • 寸法(L x W x H): 65.0 mm x 65.0 mm x 10.0 mm

汎用アダプタープレートPD1B3/Mは、ORICシリーズのピエゾ慣性ステージに対して、取り付ける際に必要なフラットな面(平面度≤5 µm)を提供します。右の外形図の取付け穴(A~H)の詳細は下の表に示します。4つの#4-40ネジ穴を用いて30 mmケージシステムに取り付けることができ、またブレッドボードに取り付けるための2本のM6ネジが付属しています。

ステージを平面度が5 µmよりも大きな面に取り付けた場合(多くのブレッドボードや光学テーブルに当てはまります)、ステージが歪曲することでステージの速度変動やピッチ・ヨーの性能に影響が現れることがあります。平面度が十分でないテーブルやブレッドボードに取り付けるときには、ステージをこれらの取付けアダプタに取り付けることで、そのような歪曲を大幅に低減することができます。

LabelaHoles/Slots PatternbSpacingb (Stage Compatibility)Threading DepthPlaces
A1/4"-20 (M6) 1" x 2" (25 x 50 mm)Through6
BØ2 mm Dowel Pin Holes16 x 16 mm1.5 mm4
C#4-4030 x 30 mm (Item # PDR1(/M), PDR1V(/M))3.5 mm4
D1/4"-20 (M6) C-Slot1" to 2" (25 to 50 mm)N/A4
E#00-90 (M1.2)10 x 10 mm (Item # PD2(/M), PDX2(/M))3 mm4
F#8-32 (M4) C-Slot1.25" (31.25 mm)N/A1
G#2-56 (M2)27.0 x 23.4 mm (Item # PDXZ1(/M), PD1(/M), PDX1(/M), PD1D(/M), PD1V(/M), PDR1C(/M)) / 40.8 x 30 mm7 mm8
H#8-32 (M4)2" (50 mm) (Item # PD3(/M)) / 2" x 2" (50 x 50 mm) (Item # PDXR1(/M))7.8 mm4
  • 詳細は外形図をご覧ください。
  • ミリ規格のアダプタープレートの穴や寸法は括弧内に記載されています。
+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD1B3 Support Documentation
PD1B3汎用取付けアダプタ、ORICピエゾ慣性ステージ用(インチ規格)
¥31,162
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD1B3/M Support Documentation
PD1B3/M汎用取付けアダプタ、ORICピエゾ慣性ステージ用(ミリ規格)
¥31,162
7-10 Days
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アダプタープレート


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アダプタープレートPD1TとPD1T/Mの外形図

アダプタープレートPD1U(/M)(左)と取付け用アダプタPD1B(/M)(右)の外形図

  • 異なる取付け穴のパターンと取付け機能を提供
  • ステージPDXZ1/Mへの取付け穴
    • PD1T/M、PD1U/M: M2ザグリ穴が2つ
    • PD1B/M: M4ザグリ穴スロット
  • 付属する取付け用部品
    • PD1T/M、PD1U/M: M2ネジ2本とØ2 mm位置決めピン2本
    • PD1B/M: M4ネジ2本とM4用ワッシャ2個

こちらのアダプタープレートを垂直移動ステージPDXZ1/Mの上部プレートに直接取り付けることで、取付け機能を変えることができます。各プレートの設置面積は30 mm x 30 mmで、当社の移動量20 mmのピエゾ慣性アクチュエータ付きステージと同じです。

アダプタープレートPD1T/Mには、中央にM4タップ穴が1個、その周囲に取付け用のM2タップ穴が10個とM3タップ穴が4個、および16 mmケージシステムに対応する#4-40タップ穴が4個あります。

アダプタープレートPD1U/Mには8個のM4タップ穴が十字型に配置されています。また、底面には5個のM4用ザグリ穴と、アライメントのためのØ2 mm位置決めピン用の穴があります。詳細は右の図をご覧ください。

アダプタPD1B/MにはM4用の取付けスロットがあり、それを使ってステージPDXZ1/Mの上面に取り付けられます。このアダプタには、M2の取付け用タップ穴を使用して、移動量20 mmのピエゾ慣性アクチュエータ付きステージなどのコンポーネントを取り付けることができます。

+1 数量 資料 型番 - インチ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD1T Support Documentation
PD1Tアダプタープレート、厚さ3.0 mm、ピエゾ慣性アクチュエータ付き20 mm直線移動ステージ用(インチ規格)
¥8,423
7-10 Days
PD1U Support Documentation
PD1Uアダプタープレート、厚さ8.5 mm、ピエゾ慣性アクチュエータ付き20 mm直線移動ステージ用(インチ規格)
¥8,423
7-10 Days
PD1B Support Documentation
PD1B取付けアダプタ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き20 mm直線移動ステージ用、#8用取付スロット(インチ規格)
¥10,091
7-10 Days
+1 数量 資料 型番 - ミリ規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD1T/M Support Documentation
PD1T/Mアダプタープレート、厚さ3.0 mm、ピエゾ慣性アクチュエータ付き20 mm直線移動ステージ用(ミリ規格)
¥8,423
Today
PD1U/M Support Documentation
PD1U/Mアダプタープレート、厚さ8.5 mm、ピエゾ慣性アクチュエータ付き20 mm直線移動ステージ用(ミリ規格)
¥8,423
Today
PD1B/M Support Documentation
PD1B/M取付けアダプタ、ピエゾ慣性アクチュエータ付き20 mm直線移動ステージ用、M4用取付スロット(ミリ規格)
¥10,091
Today
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ピエゾ慣性ステージ用コントローラ、ORIC®シリーズ

Key Specificationsa
SMC PortNumber of PortsTwo
Voltage0 to 40 V
Frequency20 kHz Max
D-Sub PortNumber of PortsOne
Voltage-10 to 50 V
Frequency20 kHz Max
Max Current Limit10 A
Front USBType A, USB Host 2.0
Back USBType B, USB Device 2.0
Voltage of Analog In/Out-10 to 10 V, ±2%
Voltage of Trigger In/Out0 to 5 V, TTL
Input Power100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz
  • 詳細な仕様については下の赤いアイコン()をクリックしてマニュアルをご覧ください。
  • PDシリーズピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MPDXR1/M用コントローラ
  • 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
  • SMCおよび15ピンDサブポートが使用可能

こちらのコントローラは、当社のピエゾ慣性アクチュエータ付きの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、そして回転ステージPDR1C/Mの制御用として設計されています。開ループステージ制御用のSMC出力端子が2チャンネル、開ループまたは閉ループステージ制御用の15ピンDサブ出力ポートが1チャンネル付いています。Dサブコネクタ付きのORICシリーズステージを使用するうえで延長ケーブルが必要な場合には、PDXCEをご使用いただけます(別売り、下記参照)。

組込まれたソフトウェアにより、フロントパネルのボタン、LCDディスプレイ、およびノブを使用して、このユニットをフル制御できます。また、組込みの外部トリガーモードはシングルチャンネル動作をサポートしています。複数のコントローラを接続することで、Dサブモードでラスタ走査のようなマルチチャンネル動作が可能です。ユーザは、PCに接続しなくても、出力ポートの選択、開ループ/閉ループのモード切り替え、ホーミングやエンコーダの校正などを行うことができます。ユニット上での制御のほかに、USB接続を利用してソフトウェアのプラットフォームで簡単にPC制御を行うこともできます。

ユニットには日本国内用の電源コードが付属します。すべての用途において、お手持ちの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。

詳細については、製品紹介ページをご参照ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXC Support Documentation
PDXCピエゾ慣性ステージ用コントローラ、マルチステージ用、ORIC®シリーズ
¥381,703
Today
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ピエゾ慣性ステージ用小型コントローラ、ORIC®シリーズ

Key Specificationsa
Performance Specificationsa
D-sub PortNumber of PortsOne
Voltage0 to 56 V
Frequency20 kHz Max
Max Current Limit10 A
Front USBType A, USB HID Host
Back USBType B, USB Device 2.0
I/O PortVoltage of Analog In/Out-10 to 10 V, ±2%
Voltage of Trigger In/Out0 to 5 V, TTL
Ethernet PC CommunicationOne RJ-45 Port
Dimensions (L x W x H)115.2 mm x 150.0 mm x 48.5 mm
(4.54” x 5.91” x 1.91”)
Weight0.53 kg
Input Power12 V, 3 A DAC
  • 詳細な仕様は下の赤いアイコン()をクリックしてマニュアルをご覧ください。
  • ORICシリーズのピエゾ慣性アクチュエータ付き直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、および回転ステージPDR1C/MPDXR1/M用コントローラ
  • コンパクトな設計、ソフトウェアKinesis®による制御
  • 開ループおよび閉ループの両動作をサポート
  • エネルギー効率の高いスイッチングアンプ回路によりピーク出力電流10 Aを実現
  • 設定可能な高速通信インターフェイス:USB 2.0、ギガビットイーサネット、デジタルI/0、アナログI/0
  • パルスレートの範囲:800 Hz~20 kHz

小型コントローラPDXC2 は、当社のピエゾ慣性アクチュエータで動作するORICシリーズの直線移動ステージ、垂直移動ステージPDXZ1/M、回転ステージPDR1/MおよびPDXR1/Mの制御用として設計されています。1チャンネルの開ループまたは閉ループのステージを制御できるポート(15ピンDサブ)が付いています。Dサブ-SMCアダプターケーブルPDXC2AD(下記参照)を使用すると、SMCコネクタを有するステージに接続して開ループ動作での操作ができます。 

コントローラPDXC2は、背面パネルのUSBポートまたはイーサネットポートからPCに接続できます。開ループと閉ループのモード切替え、ホーミング動作の実行、パラメータの最適化等の動作パラメータとシステム操作のすべては、Kinesis®ソフトウェア(上の「モーションコントロールソフトウェア」タブからダウンロードできます)を搭載したPCで制御できます。トリガーモードや移動パラメータなどを設定することで、ラスター走査といった動作を構成することができます。ORICシリーズの特定のエンコーダ付きステージ(型番PDX1/MPDXR1/Mのみ)はモーションコントロールソフトウェアページ内のPDXC2 Calibration Toolを用いて校正できます。詳細はマニュアルをご覧ください。コマンドライン制御もUSBとRS-232のポートを用いて実行できます。

PDXC2は付属の12 VDC電源DS12 (入力電圧100~240 VAC、国内用AC電源ケーブル付属)で電源供給されます。 すべての用途において、お使いの電源ソケットに適したプラグの付いた、IEC320準拠の電源コードをご使用ください。また、背面パネルに記載された定格電源電圧が、日本国内の電源に合致していることをご確認ください。

詳細は製品紹介ページをご参照ください。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXC2 Support Documentation
PDXC2Customer Inspired! ピエゾ慣性1軸ステージ用小型コントローラ、ORIC®シリーズ
¥237,558
Today
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ピエゾ慣性ステージ PDXCまたはPCXC2用延長ケーブル


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DB15オス-DB15メス
  • ピエゾステージPDXZ1/MPD2/MPDX2/MPDX1/MPD3/MまたはPDXR1/Mのオス型Dサブコネクタとピエゾ慣性ステージ用コントローラPDXCまたはPDXC2の接続
  • 長さ3 mの延長用ケーブル

延長ケーブルPDXCEは、ピエゾ慣性ステージ用コントローラPDXCまたはPDXC2と、ピエゾ慣性垂直移動ステージPDXZ1/M(移動慮4,5 mm)、直線移動ステージPD2/M(移動量5 mm)、 PDX2/M(移動量5 mm)、PDX1/M(移動量20 mm)、PD3/M(移動量50 mm)、または回転ステージPDXR1/Mとの接続にご利用いただけます。このケーブルを使用することでケーブルを3 m延長することができます。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PDXCE Support Documentation
PDXCE延長ケーブル、D-Subコネクタ付きORIC®シリーズピエゾステージ用、3.0 m、DB15オス-DB15メス
¥9,782
7-10 Days
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硬質位置決めピン


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上のステージPD1の写真に示すように、位置決めピンPD1P1はほとんどのORIC®ステージの取付け穴に適合します。
  • Ø2 mm、長さ3 mmの位置決めピン
  • 耐食性のあるステンレススチール製
  • 20個セットでご用意

位置決めピンPD1P1の寸法は、直径2 mm、長さ3 mmです。この製品は、当社のORIC®ステージ(4.5 mm垂直移動ステージ20 mmおよび50 mm直線移動ステージ、回転ステージ真空対応ステージ)に付属する位置決めピンの交換用としてご使用いただけます。ステンレススチール製で耐食性があります。

20個セットでご用意しております。

+1 数量 資料 型番 - ユニバーサル規格 定価(税抜) 出荷予定日
PD1P1 Support Documentation
PD1P1Customer Inspired! 硬質位置決めピン、Ø2 x 3 mm、20個セット
¥5,031
7-10 Days