小型クイック接続型(アリ溝付き)垂直移動ステージ、移動量14 mm、クロスローラーベアリング
![](https://www.thorlabs.co.jp/Images/GuideImages/15693_XRVerticalStage_1.jpg)
- 14 mm Vertical Travel Stage
- Integrated 3" Dovetails for Multi-Axis Construction
- Steel Crossed-Roller Bearings for High Load Capacity, Low Angular Deviation, and 10 μm Precision
XRV1
Vertical Translation Stage
Application Idea
XRV1 Stage Mounted on 3" Dovetail Rail for Coarse Linear Positioning
FrontBack![](../../images/loading-red.gif)
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Specifications | |
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Bearing Type | Crossed-Roller Bearings |
Drive Mechanism | Worm-Gear-Driven Lift Screw |
Travel Range | 14.0 mm (0.55") |
Working Height Range | 65.0 mm to 79.0 mm (2.56" to 3.11") |
Adjustment per Knob Revolution | 0.25 mm (0.01") |
Maximum Drive Resolution | 10 µm (0.0004") |
Horizontal Load Capacitya | 44.5 N (10.0 lbs) |
Inverted Load Capacitya | 8.9 N (2.0 lbs) |
Angular Deviation | < 150 µrad |
Straightness | < 10 µm |
Backlash | < 5 µm |
Spring Preload at 0 mm Travelb | 10.5 N (2.36 lbs) |
Spring Preload at 14 mm Travelb | 23.7 N (5.33 lbs) |
Dimensions (Including Base Plate) | 110.0 mm x 76.0 mm x 65.0 mmc (4.33" x 2.99" x 2.56"c) |
Weight | 1.03 kg (2.27 lbs) |
Material | Black-Anodized Aluminum |
![](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/XR_Vertical_Stage_Features_Features_A2-200.jpg)
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垂直移動ステージXRN1/Mの主な特徴。上側の画像はステージを最も低くした状態、下側の画像はステージを最も高くした状態です。
特長
- 14 mmの垂直移動
- 10 µmの位置分解能
- 上部、底部および前面には、XRシリーズのステージや幅75.7 mmのアリ溝式レールシステムに対応する幅75.7 mmのアリ溝付き
- クロスローラーベアリングにより、高耐荷重と小さな角度偏差を実現
- 上部プレートと前面プレートにはM6およびM4タップ穴
- ステージの高さを示すmm単位の目盛
- 幅75.7 mmのアリ溝を使用してステージやアクセサリを素早く接続
- コンポーネントの一覧については「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。
垂直移動ステージXRV1/Mは、高さ65.0 mm~79.0 mmの範囲(調整幅:14.0 mm)で高さ調整ができます。調整ノブ(取り外して2 mm六角レンチで調整することも可能)の1回転につき、高さが0.25 mm変化します。作業時に手が光路にかからないように、ノブはステージ背面のベース近くに配置されています。ステージの位置(高さ)は、側面にある固定ネジを2 mm六角レンチまたはボール(六角)ドライバで締めてロックします。スチール製クロスローラーベアリングにより精密移動と高耐荷重を実現しています。本体は、内部応力を最小化して安定性を向上させるために、アルミニウム鋳造材(Cast Tool and Jig Aluminum)から加工しています。
ステージの上部プレートには7個のM6 x 1.0取付穴、さらに前面の垂直面には9個のM6 x 1.0取付穴があります。 また、上部と側面にはM4 x 0.7タップ穴がそれぞれ4個ずつ付いており、それらによりクランプアームのPM3/MやPM4/M(どちらも別売り、下記参照)をご利用いただけます。ベースプレートには、M6キャップスクリュ用の取付スロットが4つあります。ベースを取り外すとユニット底部のØ25 mm(Ø1インチ)取付ボスが露出し、それによりステージをベースプレートBA2F/Mまたは回転アダプタ、あるいはØ25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)ポスト用ホルダに取り付けることができます。
ステージの上部と底部には幅75.7 mmのアリ溝が付いているため、当社のXRシリーズのクイック接続型の回転ステージや25 mmまたは50 mmの直線移動ステージと接続できます。 それにより複数のステージを接続して多軸システムを容易に構築することができます。 当社ではさらに機能を追加できるように、幅75.7 mmの様々なアリ溝式レールコンポーネント(レール、レールキャリア、回転アダプタ、幅75.7 mmのアリ溝式コンポーネントへの取付用アダプタなど)を取り揃えております。当社のクイック接続型ステージに関連するコンポーネントについては「クイック接続型ステージ」タブをご覧ください。
当社の幅50.7 mmのアリ溝式部品は、下記掲載の取付アダプタXRN-A1またはXRN-A2を用いて上面および前面に取り付けることができます。
注:固定ネジが締め付けられている状態では、ステージの高さ調整は行わないでください。ステージが損傷したり、仕様を満たさなくなったりする可能性があります。
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クイック接続用アリ溝
![Quick Connect Translation Stages](https://www.thorlabs.co.jp/images/tabimages/Quick_connect_Translation_Stage_A2-250.jpg)
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ステージ底部のメス型アリ溝は他のステージのオス型アリ溝と結合できます。
XR & XRNシリーズのアリ溝付きステージおよびアクセサリ
当社のXRシリーズステージにはクイック接続型のアリ溝が付いており、取付けハードウェアを追加することなく多軸システムを構築できます。1つの固定用クランプの付いた共通のアリ溝機構を有することで、部品の取付け・取外しが素早く簡単にできるだけでなく、それらの直交性も維持されます。
当社の主なクイック接続型アリ溝付き製品は以下の通りです。
- 直線移動ステージ
- 積み重ね可能な1軸ステージ
- 組立て済みの2軸および3軸ステージ
- 回転ステージ
- 360°フラット回転型
- あおり調整(チップ&チルト)可能なゴニオステージ
- アダプタ
- Z軸アセンブリーキット
- 幅50.7 mmおよび幅75.7 mmのアリ溝同士の平行取付けおよび直交取付け用アダプタ
- レールアクセサリ
- 固定型取付けプラットフォーム
- レールコンポーネント用ポジショナ
- ベースプレートおよびレール
ほとんどの製品はコンパクト型(幅50.7 mmアリ溝)とフルサイズ型(幅75.7 mmアリ溝)の両方をご用意しています。この2つのサイズを接続するためのアダプタもございます。ご提供可能な製品については下の表をご覧ください。
Linear Translation Stages | |||||
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Items | Compact 25 mm Stages | Compact 9 mm Vertical Stage | Full-Size 25 mm Stages | Full-Size 50 mm Stages | 14 mm Vertical Stage |
Motion | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | Z (Vertical) | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | Z (Vertical) |
Quick-Connect Dovetail | 2" Dovetail | 3" Dovetail | |||
Additional Features | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() | ![]() |
Rotation and Goniometric Stages | |||
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Items | Compact Rotation Stage | Compact Goniometric Stages | Full-Size Rotation Stage |
Motion | 360° Rotation | ±8° Tip/Tilt About Fixed Point Above Stage | 360° Rotation |
Quick-Connect Dovetail | 2" Dovetail | 3" Dovetail | |
Additional Features | ![]() | ![]() | ![]() |
Stage Adapters | ||
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Z-Axis Assembly Kits | ![]() | ![]() |
Compact Z-Axis Assembly Kits, 2" Dovetails | Full-Size Z-Axis Assembly Kits, 3" Dovetails | |
Parallel Mounting Adapters | ![]() | ![]() |
Parallel Mounting Adapter, Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail | Parallel Mounting Adapter, Male 3" Dovetail to Female 3" Dovetail | |
Perpendicular Mounting Adapter | ![]() | |
Perpendicular Mounting Adapter Male 2" Dovetail to Female 3" Dovetail |
Dovetail Accessories | ||
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Mounting Platforms | ![]() | ![]() |
2" Mounting Platforms | 3" Mounting Platforms | |
Rail Positioners | ![]() | ![]() |
2" Rail Positioners | 3" Rail Positioners |
Dovetail Bases | |||
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Base Plates | ![]() | ![]() | |
2" Dovetail Base Plate | 3" Dovetail Base Plate with Rotational Adjustment | ||
Rails / Extended Bases | ![]() | ![]() | |
2" Dovetail Rails | 3" Dovetail Rails |
手動リニアステージ
手動の移動ステージとして、最大移動量が6 mm以下から50 mmまでのステージをご用意しています。ステージの多くはXY軸やXYZ軸などの多軸構成での注文が可能です。ファイバ結合用としては、多軸ステージのページをご覧ください。標準の手動ステージを用いるよりも精密な調整が可能です。直線移動ステージのほかにも、回転ステージ、ピッチ&ヨープラットフォームおよびゴニオメータもご用意しております。また、DCサーボモータ、ステッピングモータ、またはダイレクトドライブ技術を用いた電動移動ステージもご用意しています。
クロスローラーベアリングステージ
こちらの直線移動ステージの移動機構には、精密移動、高耐荷重、小角度偏差といった特性を有するクロスローラーベアリングが用いられています。LNRシリーズステージの本体はスチール製、LX、XRNおよびXRシリーズステージの本体はアルミニウム製です。当社ではクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージもご用意しております(下記参照)。
Crossed-Roller Bearing Stages | ||||||
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Product Family | LNR Series 25 mm Stages | LX Series 25 mm Stages | XRN Series 25 mm Stages | XR Series 25 mm Stages | XR Series 50 mm Stages | LNR Series 50.8 mm Stages |
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Travel | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 25 mm (0.98") | 50 mm (1.97") | 50.8 mm (2") |
Drive Type | Multiple | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Micrometer | Multiple |
Platform Size | 2.34" x 2.36" (59.4 mm x 60.0 mm) | 2.56" x 2.56" (65.0 mm x 65.0 mm) | 2.00" x 3.35" (50.7 mm x 85.0 mm) | 2.98" x 4.33" (75.7 mm x 110.0 mm) | 2.98" x 5.51" (75.7 mm x 140.0 mm) | 3.94" x 3.94" (100.0 mm x 100.0 mm) |
Possible Axis Configurations | X, XZ, XY, XYZ | X, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, Y, Z, XY, XZ, YZ, XYZ | X, XY, XYZ |
Additional Details |
ボールベアリングステージ
こちらの移動ステージでは、精密移動と長寿命を実現するために、硬化スチール製リニアベアリングが用いられています。様々なアクチュエータが付いた製品や、1軸ステージや予め多軸ステージとして構築された製品をご用意しております。
Ball Bearing Stages | |||||
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Product Family | MS Series 1/4" Stages | T12 Series 1/2" Stages | MT Series 1/2" Stages | PT Series 1" Stages | LT Series 2" Stages |
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Travel | 1/4" (6.4 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25.4 mm) | 2" (50 mm) |
Drive Type | Multiple | Thumbscrew | Multiple | Multiple | Differential Micrometer |
Platform Size | 1.17" x 1.17" (29.7 mm x 29.7 mm) | 0.76" x 0.81" (19.3 mm x 20.6 mm) | 2.40" x 2.41" (61.0 mm x 61.2 mm) | 3.00" x 4.00" (76.2 mm x 101.6 mm) | 3.75" x 3.75" (95.3 mm x 95.3 mm) |
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
Additional Details |
アリ溝式ステージ
これらの小型ステージの移動機構にはアリ溝と送りネジが組み込まれています。一般的な移動制御用に適したステージです。
Dovetail Stages | |||
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Product Family | DT Series 1/2" Stages | DTS Series 1" Stages (Vacuum-Compatible Version Available) | DTS Series 2" Stage |
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Travel | 1/2" (12.7 mm) | 1" (25 mm) | 2" (50 mm) |
Drive Type | Thumbscrew | Thumbscrew | Thumbscrew |
Platform Size | 1.00" x 1.00" (25.4 mm x 25.4 mm) | 2.68" x 2.95" (68.0 mm 75.0 mm) | 2.68" x 3.74" (68.0 mm x 95.0 mm) |
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZa | X, XY, XYZ |
Additional Details |
フレクシャーステージ
移動ステージNanoflex™には摩擦の無いフレクシャー機構が用いられており、ベアリングを用いた同様のステージと比較して位置決め性能と分解能が向上しています。ステージの移動は、取付けプラットフォームに取り付けられた連結部の弾性変形(たわみ)によって実現されています。多くのモデルには、微細な位置調整用にピエゾアクチュエータも付属します。
Flexure Stages | ||||
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Product Family | Nanoflex™ 1.5 mm Stage | Nanoflex™ 5 mm Stages | ||
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Travel | 1.5 mm (0.06") + 25 µm Piezo | 5 mm (0.20") | 5 mm (0.20") + 20 µm Piezo | |
Drive Type | Thumbscrew and Piezo Actuator | Differential Micrometer | Differential Micrometer and Open-Loop Piezo Actuator | Differential Micrometer and Closed-Loop Piezo Actuator |
Platform Size | 1.18" x 1.18" (30.0 mm x 30.0 mm) | 2.95" x 2.95" (75.0 mm x 75.0 mm) | ||
Possible Axis Configurations | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ | X, XY, XYZ |
Additional Details |
垂直移動ステージ
当社では精密移動用のクロスローラーベアリングを用いた垂直移動ステージや、高荷重用の長距離垂直移動ステージもご用意しております。
Vertical Stages | ||||||
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Product Family | XRN Series 9 mm Vertical Stage | XR Series 14 mm Vertical Stage | MVS Series 1/2" Vertical Stage | MVS Series 1" Vertical Stage | VAP Series 4" Vertical Stage | VAP Series 10" Vertical Stage |
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Travel | 9.0 mm (0.35") | 14.0 mm (0.55") | 1/2" (13.0 mm) | 1" (25.0 mm) | 4" (101.6 mm) | 10" (254 mm) |
Drive Type | Worm-Gear Driven Lift Screw | Micrometer | Adjuster Knob and Coarse Manual Positioning | |||
Platform Size | 2.00" x 2.00" (50.7 mm x 50.7 mm) | 2.98" x 2.98" (75.7 mm x 75.7 mm) | 2.36" x 2.36" (60.0 mm x 60.0 mm) | 3.00" x 6.00" (76.2 mm 152.4 mm) | ||
Additional Details |
![Back to Top Back to Top](https://www.thorlabs.co.jp/images/arrow_Vert.gif)
- 取付面には16個のM6 x 1.0タップ穴と8個のM4 x 0.7タップ穴
- スチール製のクロスローラーベアリングが10 µmの精度で高耐荷重をサポート
- 他のXRシリーズステージと組み合わせて多軸システムを構築可能
- 幅75.7 mmのアリ溝付きアクセサリに対応
- Ø25 mmの取付ボスにより、さまざまな方法で取り付けが可能
こちらのステージはz軸移動が可能で、当社のXRシリーズのクイック接続式回転ステージや25 mmまたは50 mmの直線ステージに対応します。ステージの上部プレートと底部プレートには幅75.7 mmのアリ溝があり、それらを用いて他のステージや当社の75.7 mm光学レールと直接接続できるため、多軸システムを容易に構成できます。さらに、前面に付いている幅75.7 mmのアリ溝を利用して、クイック接続型レールプラットフォームを取り付けることもできます。
ベースプレートを取り外すと、ステージXRV1/Mの底部にあるØ25 mm取付ボスがあらわれます(右の写真参照)。これを用いて、ステージをベースプレートBA2F/Mに取り付けて設置面積を小さくしたり、Ø25 mm~Ø25.4 mm(Ø1インチ)ポスト用ホルダに取り付けて取付面の上に配置したりすることができます。また、ステージを回転アダプタXR25-RB/Mに取り付けて、XRシリーズアセンブリの角度を粗調整することもできます(右写真参照)。
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![](https://www.thorlabs.co.jp/images/TabImages/XRV1_ClampingArm_A1-250.jpg)
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クランプアームPM4/Mを使用して、キューブ型光学素子をステージXRV1/Mの上部中央に固定できます。
- ステージの取付面にプリズムやキューブ型光学素子を固定
- ポストの上部と下部にM4 x 0.7ネジ付き
- 小型クランプアームPM3/M
- クランプ下のスペース:最大24.6 mm
- エクステンションポストPM3SP/Mの使用によりアームの高さが31.4 mm追加されます。
- 大型クランプアームPM4/M
- クランプ下のスペース:最大40.9 mm
- クランプネジはXRV1/Mの取付面の中心にきます。
- エクステンションポストPM4SP/Mの使用によりアームの高さが50.8 mm追加されます。
当社のクランプアームPM3/MとPM4/Mには、先端がナイロン製の2.0 mm六角止めネジ(セットスクリュ)が付いており、これを用いてプリズムやキューブ型光学素子を上記の垂直移動ステージの取付面に固定できます。PM3/MおよびPM4/Mのクランプアームの下には、それぞれ最大で24.6 mmおよび40.9 mmのスペース(高さ)を確保できます。 アーム下のスペースは、エクステンションポストPM3SP/MやPM4SP/Mを使用してさらに高くすることができます。これらのエクステンションポストは、クランプアームのセットに含まれているポストと同じものです。
なお、PM4/Mではポストとナイロンチップ付き止めネジの中心間距離が29.3 mmであるため、これを用いた場合だけ止めネジをXRV1/Mの取付面の中心に一致させることができます。 PM3/Mの場合は、ポストとナイロンチップ付き止めネジの中心間距離は17.5 mmです。
すべてのクランプアームはフレクシャ機構でポストに保持されますが、これらは2 mmのボール(六角)ドライバや六角レンチを使って固定できます。ポストには貫通穴が付いており、この穴はポストを締め付けるときにトルクを加えるのに利用できます。その他の情報は上の図をご覧ください。
![Back to Top Back to Top](https://www.thorlabs.co.jp/images/arrow_Vert.gif)
Mounting Adapter Compatibility | |||
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Item # | Orientation | Top Component | Bottom Component |
XRN-A1 | Perpendicular | XRN25 Series XRNV1 Series XRNR1 Series XRNG1 Series | XR25 Series XR50 Series XRV1 Seriesa XRR1 Series |
XRN-A2 | Parallel |
- アダプタXRN-A1:幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に直交方向に取り付けられるようにします。
- アダプタXRN-A2:幅50.7 mmのアリ溝付きコンポーネントを、幅75.7 mmのアリ溝付きコンポーネントの上側に平行に取り付けられるようにします。
- アダプタによりコンポーネントの位置が7.0 mm高くなります。
こちらのアダプタを用いると、幅50.7 mmのメス型アリ溝の付いたクイック接続型のクロスローラーベアリングステージやアクセサリを、幅75.7 mmのオス型アリ溝の付いたコンポーネントに取り付けることができます。アダプタXRN-A1では直交方向に、アダプタXRN-A2では平行方向に取り付けられます。
組み立てるときは、まず上側に載せるステージやアクセサリの端にあるアリ溝の固定ネジを緩めます。次に、下側のステージやレールの上にアダプタを取り付け、そのアダプタに対して上側のコンポーネントの位置を合わせます。最後に、上側のステージやアクセサリの端にあるアリ溝固定ネジを、アセンブリ全体が固定されるまで締め付けます(最大トルク:1.69 N・m)。なお、アダプタ側面の奥深くに付いているネジは、お客様ご自身で調整するネジではありませんのでご注意ください。